本实用新型公开了一种静电卡盘夹持装置，属于夹持装置技术领域，包括支撑板，所述支撑板的下侧壁上设有第一限位件和第二限位件，所述第二限位件与所述支撑板滑动连接，所述第二限位件与所述支撑板间通过滑动驱动组件连接，能够对静电卡盘进行夹持，降低静...

本发明公开了一种静电卡盘静电吸附力测量装置，属于静电卡盘技术领域，包括真空腔室和与所述真空腔室联通的真空获取装置，所述真空腔室设置在机架上，所述真空腔室中设有静电卡盘和吸附物侧拉装置，所述吸附物侧拉装置包括定位装置和驱动组件，所述定位装...

本发明公开了一种静电卡盘用陶瓷板及其加工方法，属于静电卡盘技术领域，所述陶瓷板包括底陶瓷层、顶陶瓷层，所述底陶瓷层和所述顶陶瓷层间设有电极层，所述底陶瓷层设有第一电极组件和第二电极组件，所述第一电极组件与所述电极层的正极连通，所述第二电...

本发明公开了一种用于静电卡盘陶瓷板的辅助加工装置及加工方法，属于静电卡盘技术领域，用于静电卡盘陶瓷板的辅助加工装置包括中空且具有开口的器皿，所述器皿中设有下支撑陶瓷板和上支撑陶瓷板，所述下支撑陶瓷板设置在所述上支撑陶瓷板的下方，所述上支...

本发明公开了一种静电卡盘用拆分装置，属于静电卡盘技术领域，包括机架，所述机架上设有静电卡盘固定组件、拆分组件和加热组件，所述拆分组件包括拆分刀片和配重件，所述拆分刀片的一端与所述机架活动连接，所述拆分刀片的另一端与所述配重件连接，所述加...

本发明公开了一种静电卡盘，属于半导体技术领域，包括圆盘式的金属基座和圆盘形的陶瓷板，所述陶瓷板设置在所述金属基座的上侧壁上，所述金属基座上设有第一冷却孔，所述陶瓷板上设有第二冷却孔，所述第一冷却孔的中心轴与所述第二冷却孔的中心轴重合，所...

本发明公开了一种静电卡盘贴合辅助装置，属于静电卡盘技术领域，包括机架，所述机架上设有上板定位组件和下板定位组件，所述上板定位组件与所述机架通过伸缩杆连接，所述上板定位组件包括上支撑板，所述上支撑板与所述伸缩杆转动连接，所述上支撑板上设有...

本发明公开了一种静电卡盘的制造方法，属于静电卡盘技术领域，包括以下步骤：制造所述静电卡盘的主体部和基座，其中制造所述主体部包括以下步骤：步骤一：形成陶瓷基板及薄膜电极，所述薄膜电极设置在所述陶瓷基板上；步骤二：在所述陶瓷基板上形成介电层...

本实用新型公开了一种静电吸盘用分离装置，属于静电吸盘技术领域，包括机架，所述机架上设有静电吸盘固定装置和分离组件，所述静电吸盘固定装置包括设置在所述机架上的固定支架和设置在所述固定支架上的固定盘，所述固定盘包括发热板，所述分离组件包括分...

本发明公开了一种静电卡盘封胶装置，属于静电卡盘技术领域，包括机架，机架上设有第一夹持组件、第二夹持组件、第一支撑组件、第二支撑组件和封胶组件，第一夹持组件包括第一轴承座，第一轴承座上设有第一转轴，第一转轴上套设有第一转盘，第二夹持组件包...

本发明公开了一种静电卡盘细孔堵塞检测装置及检测方法，属于静电卡盘技术领域，包括机架，所述机架上设有静电卡盘放置组件，所述静电卡盘放置组件包括支撑盘，所述支撑盘上设有第一通孔，所述支撑盘的下侧壁上设有供热组件，所述供热组件与所述第一通孔连...

本发明公开了一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置，属于静电卡盘技术领域，包括机架，所述机架上设有静电卡盘支撑架和第一支撑杆，所述第一支撑杆上设有检测组件，所述检测组件包括空气泵、流量计、第一夹板和第二夹板，所述第一夹板与第一支撑杆通过第一连杆...

本发明公开了一种静电卡盘分离装置，属于分离装置技术领域，包括机架，所述机架上设有静电卡盘固定组件、静电卡盘分离组件和静电卡盘加热组件，所述静电卡盘固定组件与所述机架转动连接，所述静电卡盘分离组件与所述机架转动连接，静电卡盘加热组件包括第...

本发明公开了一种用于静电吸盘的打磨喷液装置，属于静电吸盘技术领域，包括储液装置、用于调节出液大小的调液装置和出液装置，所述储液装置中设有搅拌装置，所述调液装置与所述储液装置通过第一管件连通，所述出液装置与所述调液装置通过第二管件连通。述...

本发明公开了一种静电吸盘基座的修复方法，属于静电吸盘技术领域，所述修复方法包括以下步骤：根据静电吸盘基座的表面破损处，以表面破损处为基础将表面破损处加工成形状规则的凹槽；测量所述凹槽的尺寸，将所述尺寸记录备用；根据所述凹槽的尺寸，加工制...