本发明公开了一种静电卡盘用陶瓷板的加工方法，属于静电卡盘技术领域，包括以下步骤：加工第一陶瓷成型体和第二陶瓷成型体，在成型模具中倒入陶瓷料浆，凝固后进行脱模，得到第一陶瓷成型体，重复上述操作，加工得到第二陶瓷成型体；印刷电极层，将静电电...

本发明公开了一种去除静电卡盘陶瓷板中铁离子金属杂质的方法，属于陶瓷烧结技术领域，所述方法包括以下步骤：步骤一：将排完胶的生坯放入热压炉中以后，抽真空并升温。步骤二：热压炉中升到一定温度时，往热压炉中通入氯气，并打开抽气泵将热压炉中的空气...

本技术公开了一种静电卡盘，属于半导体技术领域，包括静电卡盘基板和静电卡盘陶瓷板，所述静电卡盘基板与所述静电卡盘陶瓷板粘接，所述静电卡盘陶瓷板包括上陶瓷板和下陶瓷板，所述上陶瓷板和下陶瓷板之间设有电极层，所述电极层与电极端子连通，所述下陶...

本发明公开了一种静电卡盘用多孔陶瓷的制备方法，属于陶瓷制备技术领域，所述制备方法包括以下步骤：将纤维丝聚集在一起，形成一捆纤维丝；往一捆纤维丝上均匀涂覆氧化物；将多捆表面涂覆有氧化物的纤维丝捆放入到模具中，密封模具，然后放到等静压机中压...

本技术公开了一种静电卡盘吸附力测量装置，属于静电卡盘技术领域，包括机架，所述机架上设有安装板，所述安装板的上方安装有静电卡盘，所述静电卡盘上设有测试晶圆，所述测试晶圆的下方设有限位环，所述限位环与测量组件通过若干柔性绳索连接。

本技术公开了一种静电卡盘清洗装置，属于静电卡盘领域，包括板体和圆柱体，板体上设置有流体口，在板体内以及圆柱体内设置有连通的通道，流体口穿入板体与所述通道连通，从板体的板面延伸出来，所述圆柱体的侧壁上设有安装清洗刷，所述圆柱体的侧壁上分布...

本发明公开了一种静电卡盘，属于半导体技术领域，包括陶瓷板和底座，所述陶瓷板与所述底座通过粘接层连接，所述底座上设有用于冷却气体流入的第一通孔和第一多孔件，所述第一多孔件设置在所述第一通孔与所述粘接层之间，所述陶瓷板中设有多孔组件和第二通...

本技术公开了一种静电卡盘基板与陶瓷板辅助粘接装置，属于静电卡盘技术领域，包括机架，所述机架上设有支撑板，所述支撑板的下方设有定位组件，所述支撑板上设有陶瓷板支撑组件，所述机架上还设有基板支撑组件，使用所述静电卡盘基板与陶瓷板辅助粘接装置...

本发明公开了一种静电卡盘陶瓷板与静电卡盘基板防堵孔贴合方法，属于静电卡盘技术领域，包括以下步骤：步骤一：准备静电卡盘基板和静电卡盘陶瓷板；步骤二：在第一通气孔中放入堵塞定位件，在基板上放置套筒组件，套筒组件位于第一通气孔的上方；步骤三：...

本实用新型公开了一种刀片推进装置，属于推进装置技术领域，包括机架，所述机架上设有刀片支架和刀片驱动组件，所述刀片支架与所述机架滑动连接，所述刀片驱动组件与所述刀片支架连接，所述刀片支架上设有刀片，所述刀片驱动组件包括支撑件、驱动件和调节...

本实用新型公开了一种便于分离的静电卡盘，属于静电卡盘技术领域，包括卡盘本体、卡盘基座、匀热板和连接组件，所述卡盘本体设置在所述卡盘基座上，所述匀热板设置在所述卡盘基座和所述卡盘本体间，所述连接组件包括连接件和设置在所述连接件上的紧固件，...

本实用新型公开了一种分离装置用刀片紧固装置，属于紧固装置技术领域，包括刀片安装架，所述刀片安装架上设有刀片，所述刀片安装架包括左支撑块和右支撑块，所述左支撑块和所述右支撑块通过连接块连接，所述刀片设置在所述左支撑块和所述右支撑块之间，所...

本实用新型公开了一种静电卡盘装置，属于半导体技术领域，包括绝缘层、金属基座和设置在所述绝缘层与所述金属基座间的加热层，所述绝缘层与所述加热层间设有第一粘胶层，所述金属基座与所述加热层间设有第二粘胶层，还包括用于在侧壁上遮挡第一粘胶层和第...

本发明公开了一种静电卡盘基板冷却孔漏气检测装置，属于静电卡盘技术领域，包括机架，所述机架上设有第一夹持组件和第二夹持组件，所述第一夹持组件包括第一夹持件，所述第一夹持件上设有通孔，所述通孔与充气组件连通，所述第二夹持组件设置在所述第一夹...

本发明公开了一种静电卡盘及其制备方法，属于静电卡盘技术领域，所述静电卡盘包括底座和设置在所述底座上的陶瓷板，所述陶瓷板包括圆盘式的上盘体和圆盘式的下盘体，所述上盘体和所述下盘体间设有电极层，所述上盘体的底部设有与所述下盘体的外侧壁配合的...

本实用新型公开了一种静电卡盘，属于半导体技术领域，包括金属基座和陶瓷板，所述陶瓷板设置在所述金属基座上，所述陶瓷板中设有电极层，所述电极层的正极与第一电极组件连接，所述电极层的负极与第二电极组件连接，所述金属基座上设有位于所述第一电极组...

本实用新型公开了一种静电卡盘，属于半导体技术领域，包括圆盘式金属基板和圆盘式陶瓷板，所述圆盘式陶瓷板设置在所述圆盘式金属基板上，所述圆盘式金属基板上设有第一凸起，所述圆盘式陶瓷板上设有第二凸起，所述第二凸起上设有与所述第一凸起配合的第一...

本实用新型公开了一种能够提高电极层寿命的静电卡盘，属于半导体技术领域，包括金属基板，所述金属基板的上侧壁设有第一PI膜层，所述第一PI膜层上设有第二PI膜层，所述第一PI膜层和所述第二PI膜层间设有电极层，所述电极层的正极与第一电极组件...

本实用新型公开了一种静电卡盘用拆分装置，属于静电卡盘技术领域，包括机架，所述机架上设有夹持装置和拆分组件，所述夹持装置包括夹持组件，所述夹持组件位于所述拆分组件的上方，所述拆分组件包括拆分细钢丝，所述拆分细钢丝与加热组件连接，能够提高分...

本实用新型公开了一种静电卡盘短距离运输装置，属于运输装置技术领域，包括机架，所述机架上设有支撑板，所述支撑板的上侧壁边缘上设有第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁，所述第一侧壁和所述第二侧壁平行设置，所述第三侧壁与所述第四侧壁平行设置...