【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及陶瓷制备，特别涉及一种静电卡盘用多孔陶瓷的制备方法。
技术介绍
1、在静电卡盘领域中，多孔陶瓷用在静电吸盘气路中，用于气体传输以及防止气路放电现象的发生。制备多采用挤压成型或在制备多孔陶瓷的浆料中填入小尺寸陶瓷颗粒的方式。有采用陶瓷板和多孔陶瓷一体成型，也有使用分开成型再粘合的方式。但是此类方法会带来一定的问题：
2、首先气孔尺寸比较难以控制，并且尺寸不一，气路不通畅；
3、此外多孔陶瓷的尺寸有限制，难以进一步做小；
4、最后，多孔陶瓷的支撑度不够，容易变形破裂。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题是提供一种静电卡盘用多孔陶瓷的制备方法，能够解决上述
技术介绍
提出的问题。
2、为了解决上述技术问题，本专利技术的技术方案为：
3、一种静电卡盘用多孔陶瓷的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：
4、步骤一：将纤维丝聚集在一起，形成一捆纤维丝；
5、步骤二：往一捆纤维丝上均匀涂覆氧化物；
6、步骤三：将多捆表面涂覆有氧化物的纤维丝捆放入到模具中，密封模具，然后放到等静压机中压制，多捆纤维丝压制在一起后得到压制的纤维丝捆；
7、步骤四：将上述压制的纤维丝捆放入到浆料中，取出后烘干，然后放入到圆形模具中再一次使用静压机压制，得到圆柱形内含纤维丝的陶瓷生坯；
8、步骤五：对上述陶瓷生坯进行烧结，其中的纤维丝会随着烧结的温度不断升高而分解，纤维丝分解后其所占
9、步骤六：根据使用的需要将上述陶瓷板切割成相应的形状。
10、优选的，所述步骤一中的纤维丝为聚酰胺或聚酯、聚酰胺、聚丙烯三者的组合。
11、优选的，所述步骤一中纤维丝的直径为1～100μm。
12、优选的，所述步骤一中一捆纤维丝为200～600根纤维丝。
13、优选的，所述步骤二中氧化物为是si的氧化物、mg的氧化物、ca的氧化物中的任意一种或者任意两者的混合或者三者的混合。
14、优选的，所述步骤二中的氧化物为al2o3，所述al2o3的粒径为2～10μm。
15、优选的，所述步骤二中往所述一捆纤维丝上涂覆氧化物的方法如下：
16、将氧化物调配成浆料形式，可按照流延法制备浆料的方式来制备，采用溶剂、分散剂、有机溶剂与氧化物混合成混合浆料，将氧化物制备成粘度合适的混合浆料；
17、再将一捆纤维丝浸入到上述混合浆料中，静置一段时间，将沾有混合浆料的一捆纤维丝取出后烘干，烘干后即可。
18、优选的，所述混合浆料中，氧化物的质量占比为80％～99％。
19、优选的，所述步骤三中等静压机压制时加压的大小为5～70mpa。
20、优选的，所述步骤三中压制后的纤维丝捆的横截面中，纤维丝所占的面积占整个压制后纤维丝捆横截面面积的40％～60％。
21、采用上述技术方案，具有以下有益效果：
22、采用上述方法制备的多孔陶瓷，由于纤维丝的大小相同，烧结时分解掉的纤维丝留下的孔的大小也相同，因此，烧结后的多孔陶瓷的孔路尺寸一致，孔路不会弯曲；
23、采用上述方法制备多孔陶瓷，能够根据需要将多孔陶瓷做得很小，解决传统方法制备多孔陶瓷不能进一步做小的问题；
24、采用上述方法制备多孔陶瓷，通过两次在纤维丝表面涂覆浆料，通过两次静压机压制，可以获得较稳定的结构，多孔陶瓷支撑度足够，不容易出现变形，解决多孔陶瓷强度不够，使用寿命短的问题。
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1.一种静电卡盘用多孔陶瓷的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种静电卡盘用多孔陶瓷的制备方法，其特征在于：所述步骤一中的纤维丝为聚酰胺或聚酯、聚酰胺、聚丙烯三者的组合。
3.根据权利要求1所述的一种静电卡盘用多孔陶瓷的制备方法，其特征在于：所述步骤一中纤维丝的直径为1～100μm。
4.根据权利要求1所述的一种静电卡盘用多孔陶瓷的制备方法，其特征在于：所述步骤一中一捆纤维丝为200～600根纤维丝。
5.根据权利要求1所述的一种静电卡盘用多孔陶瓷的制备方法，其特征在于：所述步骤二中氧化物为是Si的氧化物、Mg的氧化物、Ca的氧化物中的任意一种或者任意两者的混合或者三者的混合。
6.根据权利要求5所述的一种静电卡盘用多孔陶瓷的制备方法，其特征在于：所述步骤二中的氧化物为AL2O3，所述AL2O3的粒直径为2～10μm。
7.根据权利要求1所述的一种静电卡盘用多孔陶瓷的制备方法，其特征在于：所述步骤二中往所述一捆纤维丝上涂覆氧化物的方法如下：
8.根据权利要求
9.根据权利要求1所述的一种静电卡盘用多孔陶瓷的制备方法，其特征在于：所述步骤三中等静压机压制时加压的大小为5～70Mpa。
10.根据权利要求1所述的一种静电卡盘用多孔陶瓷的制备方法，其特征在于：所述步骤三中压制后的纤维丝捆的横截面中，纤维丝所占的面积占整个压制后纤维丝捆横截面面积的40％～60％。。
...【技术特征摘要】
1.一种静电卡盘用多孔陶瓷的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种静电卡盘用多孔陶瓷的制备方法，其特征在于：所述步骤一中的纤维丝为聚酰胺或聚酯、聚酰胺、聚丙烯三者的组合。
3.根据权利要求1所述的一种静电卡盘用多孔陶瓷的制备方法，其特征在于：所述步骤一中纤维丝的直径为1～100μm。
4.根据权利要求1所述的一种静电卡盘用多孔陶瓷的制备方法，其特征在于：所述步骤一中一捆纤维丝为200～600根纤维丝。
5.根据权利要求1所述的一种静电卡盘用多孔陶瓷的制备方法，其特征在于：所述步骤二中氧化物为是si的氧化物、mg的氧化物、ca的氧化物中的任意一种或者任意两者的混合或者三者的混合。
6.根据权利要求5所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈振宁，石锗元，李君，肖伟，
申请(专利权)人：君原电子科技海宁有限公司，
类型：发明
国别省市：
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