一种静电卡盘用陶瓷板及其加工方法技术

本发明专利技术公开了一种静电卡盘用陶瓷板及其加工方法，属于静电卡盘技术领域，所述陶瓷板包括底陶瓷层、顶陶瓷层，所述底陶瓷层和所述顶陶瓷层间设有电极层，所述底陶瓷层设有第一电极组件和第二电极组件，所述第一电极组件与所述电极层的正极连通，所述第二电极组件与所述电极层的负极连通。述电极层的负极连通。述电极层的负极连通。

【技术实现步骤摘要】
一种静电卡盘用陶瓷板及其加工方法


[0001]本专利技术涉及静电卡盘
，特别涉及一种静电卡盘用陶瓷板及其加工方法。

技术介绍

[0002]静电卡盘陶瓷板中设有电极层，通过给陶瓷板中的电极层通电来让静电卡盘产生吸附的功能，接通电极层的顶针直接与电极层接触接通电源，电极层的厚度较小，长时间使用容易损坏电极层。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的技术问题是提供一种静电卡盘用陶瓷板及其加工方法，能够提高静电卡盘陶瓷板中电极层的使用寿命。
[0004]为了解决上述技术问题，本专利技术的技术方案为：
[0005]一种静电卡盘用陶瓷板，所述陶瓷板包括底陶瓷层、顶陶瓷层，所述底陶瓷层和所述顶陶瓷层间设有电极层，所述底陶瓷层设有第一电极组件和第二电极组件，所述第一电极组件与所述电极层的正极连通，所述第二电极组件与所述电极层的负极连通。
[0006]优选的，所述第一电极组件包括与所述电极层的正极连通的第一电极件，所述第一电极件上设有第一凹槽。
[0007]优选的，所述二电极组件包括与所述电极层的负极连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种静电卡盘用陶瓷板，其特征在于，所述陶瓷板包括底陶瓷层、顶陶瓷层，所述底陶瓷层和所述顶陶瓷层间设有电极层，所述底陶瓷层设有第一电极组件和第二电极组件，所述第一电极组件与所述电极层的正极连通，所述第二电极组件与所述电极层的负极连通。2.根据权利要求1所述的一种静电卡盘用陶瓷板，其特征在于：所述第一电极组件包括与所述电极层的正极连通的第一电极件，所述第一电极件上设有第一凹槽。3.根据权利要求2所述的一种静电卡盘用陶瓷板，其特征在于：所述二电极组件包括与所述电极层的负极连通的第二电极件，所述第二电极件上设有第二凹槽。4.根据权利要求3所述的一种静电卡盘用陶瓷板，其特征在于：所述第一电极件为金属材料制成，所述第二电极件为金属材料制成。5.根据权利要求4所述的一种静电卡盘用陶瓷板，其特征在于：所述金属材料为紫铜、黄铜、钨合金中的任意...

【专利技术属性】
技术研发人员：李君，石锗元，陈茂雄，肖伟，
申请(专利权)人：君原电子科技海宁有限公司，
类型：发明
国别省市：