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本发明公开了一种静电卡盘用陶瓷板及其加工方法，属于静电卡盘技术领域，所述陶瓷板包括底陶瓷层、顶陶瓷层，所述底陶瓷层和所述顶陶瓷层间设有电极层，所述底陶瓷层设有第一电极组件和第二电极组件，所述第一电极组件与所述电极层的正极连通，所述第二电极组...
该专利属于君原电子科技（海宁）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过君原电子科技（海宁）有限公司授权不得商用。

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