一种用于静电卡盘陶瓷板的辅助加工装置及加工方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于静电卡盘陶瓷板的辅助加工装置及加工方法，属于静电卡盘技术领域，用于静电卡盘陶瓷板的辅助加工装置包括中空且具有开口的器皿，所述器皿中设有下支撑陶瓷板和上支撑陶瓷板，所述下支撑陶瓷板设置在所述上支撑陶瓷板的下方，所述上支撑陶瓷板与所述器皿滑动连接，采用所述的辅助加工装置对静电卡盘陶瓷板加工，所述加工方法包括以下步骤：步骤一，将待加工的静电卡盘用陶瓷板放置在上支撑陶瓷板和下支撑陶瓷板间；步骤二，根据静电卡盘用陶瓷板的大小和厚度，增加第一配重件或者第二配重件；步骤三，静电卡盘用陶瓷板放置完毕后，将整个辅助加工装置放置到陶瓷烧结设备中对静电卡盘陶瓷板进行烧制。烧结设备中对静电卡盘陶瓷板进行烧制。烧结设备中对静电卡盘陶瓷板进行烧制。

【技术实现步骤摘要】
一种用于静电卡盘陶瓷板的辅助加工装置及加工方法


[0001]本专利技术涉及静电卡盘
，特别涉及一种用于静电卡盘陶瓷板的辅助加工装置及加工方法。

技术介绍

[0002]静电卡盘在包括陶瓷板和金属底座，陶瓷板和金属底座贴合在一起形成静电卡盘，其中陶瓷板的上下表面平整度要求高，陶瓷板在烧结的时候，容易出现弯曲的情况，使得静电卡盘陶瓷板不能够正常使用。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的技术问题是提供一种用于静电卡盘陶瓷板的辅助加工装置及加工方法，能够减少静电卡盘陶瓷板烧结时出现弯曲的情况。
[0004]为了解决上述技术问题，本专利技术的技术方案为：
[0005]一方面本专利技术提供一种用于静电卡盘陶瓷板的辅助加工装置，包括中空且具有开口的器皿，所述器皿中设有下支撑陶瓷板和上支撑陶瓷板，所述下支撑陶瓷板设置在所述上支撑陶瓷板的下方，所述上支撑陶瓷板与所述器皿滑动连接。
[0006]优选的，所述下支撑陶瓷板上设有下定位孔，所述器皿内侧的底部设有与所述下定位孔配合的下定位销。/>[0007]优选本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于静电卡盘陶瓷板的辅助加工装置，其特征在于：包括中空且具有开口的器皿，所述器皿中设有下支撑陶瓷板和上支撑陶瓷板，所述下支撑陶瓷板设置在所述上支撑陶瓷板的下方，所述上支撑陶瓷板与所述器皿滑动连接。2.根据权利要求1所述的一种用于静电卡盘陶瓷板的辅助加工装置，其特征在于：所述下支撑陶瓷板上设有下定位孔，所述器皿内侧的底部设有与所述下定位孔配合的下定位销。3.根据权利要求2所述的一种用于静电卡盘陶瓷板的辅助加工装置，其特征在于：所述下支撑陶瓷板的形状为圆盘式，所述下支撑陶瓷板的侧壁与所述器皿的内侧壁互不接触。4.根据权利要求3所述的一种用于静电卡盘陶瓷板的辅助加工装置，其特征在于：所述上支撑陶瓷板的形状为圆盘式，所述上支撑陶瓷板的下侧壁上设有若干限位件，任意一个所述限位件与所述上支撑陶瓷板的中心轴线间的距离相等。5.根据权利要求4所述的一种用于静电卡盘陶瓷板的辅助加工装置，其特征在于：任意一个所述限位件与所述上支撑陶瓷板的中心轴线的最小距离大于所述下支撑陶瓷板的直径。6.根据权利要求5所述的一种用于静电卡盘陶瓷板的辅助加工装置，其特征在于：所述器皿的侧壁上设有限位槽，所述上支撑陶瓷板上设有与所述限位...

【专利技术属性】
技术研发人员：石锗元，陈茂雄，李君，肖伟，
申请(专利权)人：君原电子科技海宁有限公司，
类型：发明
国别省市：