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本发明公开了一种用于静电卡盘陶瓷板的辅助加工装置及加工方法，属于静电卡盘技术领域，用于静电卡盘陶瓷板的辅助加工装置包括中空且具有开口的器皿，所述器皿中设有下支撑陶瓷板和上支撑陶瓷板，所述下支撑陶瓷板设置在所述上支撑陶瓷板的下方，所述上支撑陶...
该专利属于君原电子科技（海宁）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过君原电子科技（海宁）有限公司授权不得商用。

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