一种静电卡盘细孔堵塞检测装置及检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种静电卡盘细孔堵塞检测装置及检测方法，属于静电卡盘技术领域，包括机架，所述机架上设有静电卡盘放置组件，所述静电卡盘放置组件包括支撑盘，所述支撑盘上设有第一通孔，所述支撑盘的下侧壁上设有供热组件，所述供热组件与所述第一通孔连通，所述支撑盘的上方设有检测组件，所述检测组件与所述支撑盘通过支撑架连接，所述支撑架与所述机架铰接。铰接。铰接。

【技术实现步骤摘要】
一种静电卡盘细孔堵塞检测装置及检测方法


[0001]本专利技术涉及静电卡盘
，特别涉及一种静电卡盘细孔堵塞检测装置及检测方法。

技术介绍

[0002]静电吸盘上设有若干轴线方向上的通孔，由于通孔的孔径小，且通孔的长度相对较长，因此，不容易直接用眼睛观察出来该通孔是否被堵塞，若该通孔堵塞则会影响静电吸盘的使用，因此需要一种静电卡盘细孔堵塞检测装置及检测方法，来判断静电吸盘上的通孔是否被堵塞，以便于进行下一步的工作。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的技术问题是提供一种静电卡盘细孔堵塞检测装置及检测方法，能够对静电卡盘是否堵塞进行检测。
[0004]为了解决上述技术问题，本专利技术的技术方案为：
[0005]一方面，本专利技术提供一种静电卡盘细孔堵塞检测装置，包括机架，所述机架上设有静电卡盘放置组件，所述静电卡盘放置组件包括支撑盘，所述支撑盘上设有第一通孔，所述支撑盘的下侧壁上设有供热组件，所述供热组件与所述第一通孔连通，所述支撑盘的上方设有检测组件，所述检测组件与所述支撑盘通过支撑架连接，所述支撑架与所述机架铰接。
[0006]优选的，所述供热组件包括与所述第一通孔连通的供热管，所述供热管的一端与所述第一通孔连通，所述供热管的另一端与供热件连通。
[0007]优选的，所述供热件包括盛水容器，所述盛水容器与所述供热管连通，所述盛水容器中设有加热件。
[0008]优选的，所述供热管上设有加水管，所述加水管上设有阀门。
[0009]优选的，所述检测组件包括中空的冷却管，所述支撑架上设有第二通孔，所述冷却管与所述第二通孔连通。
[0010]优选的，所述冷却管的外侧壁上设有冷却剂放置管，所述冷却管套设在所述冷却剂放置管中。
[0011]另一方面，本专利技术提供一种检测方法，所述方法包括以下步骤：
[0012]静电卡盘平放在所述支撑盘上，找到静电卡盘细孔所在的位置，将所述静电卡盘细孔的下端与所述第一通孔相对；
[0013]供热组件开始工作，为所述静电卡盘细孔的下方提供热的水蒸气，水蒸气通过所述第一通孔进入到所述静电卡盘细孔中；
[0014]通过观察所述冷却管中是否有白雾来判断所述静电卡盘的细管是否堵塞。
[0015]采用上述技术方案，由于设有静电卡盘放置组件，使得可以放置静电卡盘，以便于对静电卡盘进行细孔堵塞的检测，由于设有供热组件，使得可以为检测提供水蒸气用于堵塞检测，由于设有检测组件，使得可以判断出静电卡盘细孔是否堵塞。
附图说明
[0016]图1为本专利技术一种静电卡盘细孔堵塞检测装置的部分剖视结构示意图；
[0017]图2为本专利技术为图1中A的放大结构示意图。
具体实施方式
[0018]下面结合附图对本专利技术的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本专利技术，但并不构成对本专利技术的限定。此外，下面所描述的本专利技术各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
[0019]如图1和图2所示，图1为本专利技术一种静电卡盘细孔堵塞检测装置的部分剖视结构示意图，图2为本专利技术为图1中A的放大结构示意图，为一种静电卡盘细孔堵塞检测装置的结构示意图，本专利技术提供一种静电卡盘细孔堵塞检测装置，包括机架1，机架1上设有静电卡盘放置组件，静电卡盘放置组件与机架1通过连接杆3进行连接，静电卡盘放置组件包括支撑盘2，支撑盘2上设有第一通孔10，支撑盘2的下侧壁上设有供热组件，供热组件用于为检测提供水蒸气，供热组件与第一通孔10连通，支撑盘2的上方设有检测组件，检测组件用于检测静电卡盘是否堵塞，检测组件与支撑盘2通过支撑架4连接，支撑架4与机架1铰接，打开后可以将静电卡盘放到位，然后再合上支撑架4，使得检测组件位于待检测静电卡盘细孔的上方；
[0020]通过供热组件提供热的水蒸气，水蒸气通过第一通孔10进入到静电卡盘的细孔中，再通过静电卡盘的细孔中，若静电卡盘的细孔中发生了堵塞，则热是水蒸气无法进入静电卡盘的细孔中，则检测组件的冷却管12中不会凝结成水珠，肉眼无法观察到白气，若静电卡盘细孔中没有发生堵塞，则热的水蒸气通过第一通孔10进入到静电卡盘细孔中，通过静电卡盘细孔后进入冷却管12，由于冷却管12的温度较底，因此水蒸气凝结成水珠，能在冷却管12中看到白气，即能看到凝结的水珠，通过此来检测静电卡盘是否堵塞，结构简单，检测容易；
[0021]供热组件包括与第一通孔10连通的供热管5，供热管5的一端与第一通孔10连通，供热管5的另一端与供热件连通，通过供热件提供水蒸气，通过供热管5进入到静电卡盘的细孔中；
[0022]供热件包括盛水容器8，盛水容器8与供热管5连通，盛水容器8中设有加热件9，加热件9可以是加热棒，加热棒的线可以在盛水容器8的侧壁打孔伸出，打孔处可以设置橡胶圈进行密封，通过加热件9对盛水容器8中的水进行加热，使盛水容器8中的水气化进入到静电卡盘细孔中；
[0023]供热管5上设有加水管6，加水管6上设有阀门7，加入管斜向上设置，便于往盛水容器8中加入冷水，不使用的时候可以将阀门7关闭，避免杂物进入到盛水容器8中，杂质进入到盛水容器8后加热，杂质可能随着水蒸气进入到静电卡盘细孔中，进而堵塞静电卡盘细孔，往加水管6加水时，则打开阀门7，盛水容器8中加热时，也打开阀门7，便于多余是水蒸汽能够正常排出；
[0024]检测组件包括中空的冷却管12，支撑架4上设有第二通孔11，冷却管12与第二通孔11连通，使得供热组件产生的水蒸汽能够正常的进入到静电卡盘细孔中；
[0025]冷却管12的外侧壁上设有冷却剂放置管13，冷却管12套设在冷却剂放置管13中，
冷却剂放置管13可以比冷却管12短，使用时，可以在冷却剂放置管13中放入冰块或者冷水对冷却管12进行冷却，以便于能够看到液化的水蒸气，以此判断静电卡盘细管是否堵塞；
[0026]本专利技术同时提供一种静电卡盘细孔堵塞检测方法，检测方法包括以下步骤：
[0027]静电卡盘平放在支撑盘2上，找到静电卡盘细孔所在的位置，将静电卡盘细孔的下端与第一通孔10相对，使得供热组件产生的水蒸气能够正常进入到静电卡盘细孔中，以便于检测静电卡盘细孔是否堵塞；
[0028]供热组件开始工作，为静电卡盘细孔的下方提供热的水蒸气，水蒸气通过第一通孔10进入到静电卡盘细孔中；
[0029]通过观察冷却管12中是否有白雾来判断静电卡盘的细管是否堵塞，若是观察到冷却管12中有白雾，则静电卡盘细孔没有堵塞，若冷却管12中看不到白雾，则静电卡盘细孔已经堵塞，需要安排疏通。
[0030]由于设有静电卡盘放置组件，使得可以放置静电卡盘，以便于对静电卡盘进行细孔堵塞的检测，由于设有供热组件，使得可以为检测提供水蒸气用于堵塞检测，由于设有检测组件，使得可以判断出静电卡盘细孔是否堵塞。
[0031]以上结合附图对本专利技术的实施方式作了详细说明，但本专利技术不限于所描述的实施方式。对于本领域的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种静电卡盘细孔堵塞检测装置，其特征在于：包括机架，所述机架上设有静电卡盘放置组件，所述静电卡盘放置组件包括支撑盘，所述支撑盘上设有第一通孔，所述支撑盘的下侧壁上设有供热组件，所述供热组件与所述第一通孔连通，所述支撑盘的上方设有检测组件，所述检测组件与所述支撑盘通过支撑架连接，所述支撑架与所述机架铰接。2.根据权利要求1所述的一种静电卡盘细孔堵塞检测装置，其特征在于：所述供热组件包括与所述第一通孔连通的供热管，所述供热管的一端与所述第一通孔连通，所述供热管的另一端与供热件连通。3.根据权利要求2所述的一种静电卡盘细孔堵塞检测装置，其特征在于：所述供热件包括盛水容器，所述盛水容器与所述供热管连通，所述盛水容器中设有加热件。4.根据权利要求3所述的一种静电卡盘细孔堵塞检测装置，其特征在于：所述供热管上设有加水...

【专利技术属性】
技术研发人员：石锗元，陈茂雄，李君，肖伟，
申请(专利权)人：君原电子科技海宁有限公司，
类型：发明
国别省市：