【技术实现步骤摘要】
一种静电卡盘细孔堵塞检测装置及检测方法
[0001]本专利技术涉及静电卡盘
，特别涉及一种静电卡盘细孔堵塞检测装置及检测方法。
技术介绍
[0002]静电吸盘上设有若干轴线方向上的通孔，由于通孔的孔径小，且通孔的长度相对较长，因此，不容易直接用眼睛观察出来该通孔是否被堵塞，若该通孔堵塞则会影响静电吸盘的使用，因此需要一种静电卡盘细孔堵塞检测装置及检测方法，来判断静电吸盘上的通孔是否被堵塞，以便于进行下一步的工作。
技术实现思路
[0003]本专利技术要解决的技术问题是提供一种静电卡盘细孔堵塞检测装置及检测方法，能够对静电卡盘是否堵塞进行检测。
[0004]为了解决上述技术问题，本专利技术的技术方案为：
[0005]一方面，本专利技术提供一种静电卡盘细孔堵塞检测装置，包括机架，所述机架上设有静电卡盘放置组件，所述静电卡盘放置组件包括支撑盘，所述支撑盘上设有第一通孔，所述支撑盘的下侧壁上设有供热组件，所述供热组件与所述第一通孔连通，所述支撑盘的上方设有检测组件，所述检测组件与所述支撑盘通过支...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种静电卡盘细孔堵塞检测装置，其特征在于：包括机架，所述机架上设有静电卡盘放置组件，所述静电卡盘放置组件包括支撑盘，所述支撑盘上设有第一通孔，所述支撑盘的下侧壁上设有供热组件，所述供热组件与所述第一通孔连通，所述支撑盘的上方设有检测组件，所述检测组件与所述支撑盘通过支撑架连接，所述支撑架与所述机架铰接。2.根据权利要求1所述的一种静电卡盘细孔堵塞检测装置，其特征在于：所述供热组件包括与所述第一通孔连通的供热管，所述供热管的一端与所述第一通孔连通，所述供热管的另一端与供热件连通。3.根据权利要求2所述的一种静电卡盘细孔堵塞检测装置，其特征在于：所述供热件包括盛水容器，所述盛水容器与所述供热管连通，所述盛水容器中设有加热件。4.根据权利要求3所述的一种静电卡盘细孔堵塞检测装置，其特征在于：所述供热管上设有加水...
【专利技术属性】
技术研发人员：石锗元，陈茂雄，李君，肖伟，
申请(专利权)人：君原电子科技海宁有限公司，
类型：发明
国别省市：
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