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本发明公开了一种静电卡盘细孔堵塞检测装置及检测方法，属于静电卡盘技术领域，包括机架，所述机架上设有静电卡盘放置组件，所述静电卡盘放置组件包括支撑盘，所述支撑盘上设有第一通孔，所述支撑盘的下侧壁上设有供热组件，所述供热组件与所述第一通孔连通，...
该专利属于君原电子科技（海宁）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过君原电子科技（海宁）有限公司授权不得商用。

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