【技术实现步骤摘要】
一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置
[0001]本专利技术涉及静电卡盘
，特别涉及一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置。
技术介绍
[0002]静电卡盘上设有若干轴线方向上的通孔，由于通孔的孔径小，且通孔的长度相对较长，因此，不容易直接用眼睛观察出来该通孔是否被堵塞，若该通孔堵塞则会影响静电卡盘的使用，因此需要一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置，来判断静电卡盘上的通孔是否被堵塞。
技术实现思路
[0003]本专利技术要解决的技术问题是提供一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置，能够对静电卡盘上的细孔进行堵塞检测。
[0004]为了解决上述技术问题，本专利技术的技术方案为：
[0005]一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置，包括机架，所述机架上设有静电卡盘支撑架和第一支撑杆，所述第一支撑杆上设有检测组件，所述检测组件包括空气泵、流量计、第一夹板和第二夹板，所述第一夹板与第一支撑杆通过第一连杆连接，所述第一连杆与所述第一支撑杆滑动连接，所述第二夹板与所述第一支撑杆通过第二连杆连接，所述第二连杆与所述第一支撑杆滑动连接，...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置，其特征在于：包括机架，所述机架上设有静电卡盘支撑架和第一支撑杆，所述第一支撑杆上设有检测组件，所述检测组件包括空气泵、流量计、第一夹板和第二夹板，所述第一夹板与第一支撑杆通过第一连杆连接，所述第一连杆与所述第一支撑杆滑动连接，所述第二夹板与所述第一支撑杆通过第二连杆连接，所述第二连杆与所述第一支撑杆滑动连接，所述第一夹板上设有第一通孔，所诉第一通孔与所述流量计连通，所述第二夹板上设有第二通孔，所述第二通孔与所述空气泵连通。2.根据权利要求1所述的一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置，其特征在于：所述第一夹板设置在所述第二夹板的上方，所述流量计设置在所述第一夹板的上方，所述空气泵设置在所述第二夹板的下方。3.根据权利要求2所述的一种静电卡盘细孔的堵塞检测装置，其特征在于：所述第一支撑杆上设有固定板，所述固定板与所述第一支撑杆固定连接，所述固定板位于所述第一夹板和第二夹板之间，所述固定板上设有第一固定孔和第二固定孔，所述第一连杆上设有与所述第一固定孔的轴线重合的第一安装孔，所述第二连杆上设有与所述第二固定...
【专利技术属性】
技术研发人员：李君，陈茂雄，石锗元，肖伟，
申请(专利权)人：君原电子科技海宁有限公司，
类型：发明
国别省市：
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