一种静电卡盘用拆分装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种静电卡盘用拆分装置，属于静电卡盘技术领域，包括机架，所述机架上设有静电卡盘固定组件、拆分组件和加热组件，所述拆分组件包括拆分刀片和配重件，所述拆分刀片的一端与所述机架活动连接，所述拆分刀片的另一端与所述配重件连接，所述加热组件与所述拆分刀片连接。拆分刀片连接。拆分刀片连接。

【技术实现步骤摘要】
一种静电卡盘用拆分装置


[0001]本专利技术涉及静电卡盘
，特别涉及一种静电卡盘用拆分装置。

技术介绍

[0002]静电卡盘一般包括陶瓷板和基板，陶瓷板中设有电极，陶瓷板和基板间采用粘接的方式进行连接，若是陶瓷板与基板装配完成后出现了错误，或者在陶瓷板与基板粘接完成后，基板出现损坏，则需要将陶瓷板分离出来，现有的静电卡盘拆分装置在使用时，首先需要对静电卡盘进行加热，以软化陶瓷板与基板之间的胶水层，然后采用拆分装置进行拆分，现有拆分装置一般包括一个薄的刀片，对其进行切分时，对刀片的平整度要求高，且对操作人员的要求也高，同时拆分的速度慢。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的技术问题是提供一种静电卡盘用拆分装置，方便拆分静电卡盘的陶瓷板与基板。
[0004]为了解决上述技术问题，本专利技术的技术方案为：
[0005]一种静电卡盘用拆分装置，包括机架，所述机架上设有静电卡盘固定组件、拆分组件和加热组件，所述拆分组件包括拆分刀片和配重件，所述拆分刀片的一端与所述机架活动连接，所述拆分刀片的另一端与所述配重件连接，所述加热组件与所述拆分刀片连接。
[0006]优选的，所述静电卡盘固定组件包括支撑组件和驱动件，所述支撑组件与所述机架通过支撑件连接，所述驱动件与所述支撑组件连接。
[0007]优选的，所述支撑组件包括支撑盘，所述支撑盘上设有若干安装孔，所述支撑盘套设在支撑轴上，所述支撑轴的轴线与地面平行，所述支撑轴设置在轴承座上，所述轴承座与所述支撑件连接。
[0008]优选的，所述驱动件包括电机，所述电机的动力输出端与所述支撑轴连接。
[0009]优选的，所述拆分刀片为导热的柔性金属丝。
[0010]优选的，所述柔性金属丝与所述配重件连接的一端设有第一挂钩，所述配重件上设有与所述第一挂钩配合的第二挂钩。
[0011]优选的，所述柔性金属丝通过冷却组件与所述机架连接，所述冷却组件包括设置在所述机架上的冷却槽和设置在所述冷却槽中的定位钩。
[0012]优选的，所述加热组件包括加热丝，所述加热丝与所述柔性金属丝接触。
[0013]优选的，所述静电卡盘用拆分装置还包括陶瓷板支撑件，所述陶瓷板支撑件与所述机架滑动连接。
[0014]优选的，所述陶瓷板支撑件包括圆弧形支撑板，所述圆弧形支撑板与所述机架间通过滑动支撑杆连接。
[0015]采用上述技术方案，由于设有静电卡盘固定组件，使得可以对静电卡盘进行位置的固定，以便于对静电卡盘的陶瓷板和基板进行分离，由于设有拆分组件，使得可以对静电
卡盘的陶瓷板和基板进行拆分，分离出还可以使用的陶瓷板，由于设有加热组件，使得可以为拆分组件提供热源，通过加热组件提供的热量，能够融化静电卡盘陶瓷板与基板件的粘接胶水层，使得可以在不损伤静电卡盘陶瓷的前提下分离静电卡盘的陶瓷板与基板，提高分离静电卡盘陶瓷板与基板的效率，降低损伤陶瓷板的概率。
附图说明
[0016]图1为本专利技术一种静电卡盘用拆分装置的结构示意图；
[0017]图2为本专利技术拆分组件与机架、配重件连接的结构示意图。
具体实施方式
[0018]下面结合附图对本专利技术的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本专利技术，但并不构成对本专利技术的限定。此外，下面所描述的本专利技术各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
[0019]如图1、图2所示，图1为本专利技术一种静电卡盘用拆分装置的结构示意图，图2为本专利技术拆分组件与机架、配重件连接的结构示意图，包括机架1，机架1上设有静电卡盘固定组件、拆分组件和加热组件，拆分组件包括拆分刀片8和配重件12，拆分刀片8的一端与机架1活动连接，拆分刀片8的另一端与配重件12连接，加热组件与拆分刀片8连接；
[0020]机架1用于支撑静电卡盘固定组件、拆分组件和加热组件，静电卡盘固定组件用于固定静电卡盘，以便于对静电卡盘进行分离，拆分组件用于拆分静电卡盘的陶瓷板8和基板3，由于静电卡盘的陶瓷板8的成本远高于基板3，若基板3出现损坏或者静电卡盘的陶瓷板8与基板3间的装配出现问题，则需要将静电卡盘的陶瓷板8和基板3进行分离，加入组件为拆分组件提供热源，通过加热组件提供的热量，可以化掉静电卡盘陶瓷板8与基板3之间粘接的胶水层，最后完成静电卡盘的陶瓷板8与基板3的分离；
[0021]静电卡盘固定组件包括支撑组件和驱动件，支撑组件与机架1通过支撑件6连接，驱动件与支撑组件连接，支撑组件用于支撑静电卡盘，驱动件用于驱动支撑组件；
[0022]支撑组件包括支撑盘2，支撑盘2上设有若干安装孔，静电卡盘的基板3上设有固定孔，安装孔可以设置多个，且距离支撑盘2中心轴的距离不相等，每一种距离的安装孔可以设置两个，通过两个安装孔完成与基板3的安装，通过设置多对距离支撑盘2中心轴不同的安装孔，实现对几种不同大小的静电卡盘的固定，支撑盘2套设在支撑轴5上，支撑轴5的轴线与地面平行，支撑轴5设置在轴承座4上，轴承座4与支撑件6连接，通过设置可以转动的支撑盘2，使得安装在支撑盘2上的静电卡盘也可以转动，以便于对静电卡盘的多个方向进行分割，可以提高静电卡盘基板3与陶瓷板8的分离效率；
[0023]驱动件包括电机7，电机7的动力输出端与支撑轴5连接，电机7可以是步进电机7，通过控制电机7的转动来控制静电卡盘的转动；
[0024]拆分刀片9为导热的柔性金属丝，拆分刀片9可以是钢丝，钢丝可以导热，同时是柔性的，可以满足使用的需求，且材料不难获取；
[0025]柔性金属丝与配重件12连接的一端设有第一挂钩16，配重件12上设有与第一挂钩16配合的第二挂钩15，配重件12可以是多种重量的铁块，通过使用配重件12的重力，来拉扯柔性金属丝，为柔性金属丝的切割提供动力，使用时，柔性金属丝搭在静电卡盘陶瓷板8与
基板3连接处，通过加热组件为柔性金属丝提供热量，使得柔性金属丝可以融化静电卡盘陶瓷板8与基板3间的胶水层，进而分离静电卡盘陶瓷板8与基板3；
[0026]柔性金属丝通过冷却组件与机架1连接，冷却组件包括设置在机架1上的冷却槽10和设置在冷却槽10中的定位钩11，为了避免加热组件将热量传递至机架1上，通过冷却组件连接机架1，冷却槽10在使用时可以加入冷水，定位钩11与柔性金属丝连接，通过设置冷却组件，使得加热组件产生的热量往柔性金属丝远离机架1的一端连接传递；
[0027]加热组件包括加热丝17，加热丝17与柔性金属丝接触，加热丝17可以是电加热丝，加热丝17发出热量后，通过与柔性金属丝接触而将热量传递到柔性金属丝上，进而融化静电卡盘基板3与陶瓷板8间的胶水，完成静电卡盘的分离；
[0028]静电卡盘用拆分装置还包括陶瓷板8支撑件，陶瓷板8支撑件与机架1滑动连接，陶瓷板8与基板3分离完成后需要接住陶瓷板8，避免陶瓷板8损坏，陶瓷板8支撑件与机架1滑动连接，可以调整陶瓷支撑件与机架1间的相对位置，以便于适本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种静电卡盘用拆分装置，其特征在于：包括机架，所述机架上设有静电卡盘固定组件、拆分组件和加热组件，所述拆分组件包括拆分刀片和配重件，所述拆分刀片的一端与所述机架活动连接，所述拆分刀片的另一端与所述配重件连接，所述加热组件与所述拆分刀片连接。2.根据权利要求1所述的一种静电卡盘用拆分装置，其特征在于：所述静电卡盘固定组件包括支撑组件和驱动件，所述支撑组件与所述机架通过支撑件连接，所述驱动件与所述支撑组件连接。3.根据权利要求2所述的一种静电卡盘用拆分装置，其特征在于：所述支撑组件包括支撑盘，所述支撑盘上设有若干安装孔，所述支撑盘套设在支撑轴上，所述支撑轴的轴线与地面平行，所述支撑轴设置在轴承座上，所述轴承座与所述支撑件连接。4.根据权利要求3所述的一种静电卡盘用拆分装置，其特征在于：所述驱动件包括电机，所述电机的动力输出端与所述支撑轴连接。5.根据权利要求1所述的一种静电卡盘用拆...

【专利技术属性】
技术研发人员：李君，石锗元，陈茂雄，肖伟，
申请(专利权)人：君原电子科技海宁有限公司，
类型：发明
国别省市：