一种用于静电吸盘的打磨喷液装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于静电吸盘的打磨喷液装置，属于静电吸盘技术领域，包括储液装置、用于调节出液大小的调液装置和出液装置，所述储液装置中设有搅拌装置，所述调液装置与所述储液装置通过第一管件连通，所述出液装置与所述调液装置通过第二管件连通。述调液装置通过第二管件连通。述调液装置通过第二管件连通。

【技术实现步骤摘要】
一种用于静电吸盘的打磨喷液装置


[0001]本专利技术涉及静电吸盘
，特别涉及一种用于静电吸盘的打磨喷液装置。

技术介绍

[0002]静电吸盘是半导体制造业等离子腔室中重要的核心部件，其作用除了吸附晶圆片外，同时要实现温度控制和射频控制，并保证其均匀度，而且在真空，高电压，强腐蚀性环境下，耐磨耐蚀，并且不能发生弧光放电。
[0003]静电吸盘直接决定芯片良率，因其具有很高的技术难度和门槛，受到国内外大型芯片厂商的重视，静电吸盘上的陶瓷面板需要进行打磨加工，现有的陶瓷面板打磨设备上没有设置喷液装置，因此，需要一种用于静电吸盘的打磨喷液装置。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的技术问题是提供一种用于静电吸盘的打磨喷液装置，能够对静电吸盘的陶瓷表面进行打磨时进行喷液，减低陶瓷表面发热量。
[0005]为了解决上述技术问题，本专利技术的技术方案为：
[0006]一种用于静电吸盘的打磨喷液装置，包括储液装置、用于调节出液大小的调液装置和出液装置，所述储液装置中设有搅拌装置，所述调液装置与所述储液装置通过第一管件连通，所述出液装置与所述调液装置通过第二管件连通。
[0007]优选的，所述储液装置包括上端开口的储液罐，所述储液罐侧壁上设有加液管，所述加液管与所述储液罐连通，所述加液管的进液端朝上。
[0008]优选的，所述搅拌装置包括搅拌驱动件和设置在所述储液罐中的搅拌组件。
[0009]优选的，所述搅拌组件包括搅拌轴和设置在所述搅拌轴上的搅拌叶片，所述搅拌驱动件为驱动电机，所述驱动电机的动力输出端与所述搅拌轴连接。
[0010]优选的，所述驱动电机设置在支撑架的上端，所述支撑架上设有用于安装搅拌轴的安装孔，所述支撑架设置在所述储液罐上方，所述支撑架与所述储液罐可拆卸连接。
[0011]优选的，所述出液装置包括出液管，所述出液管的一端与所述第二管件连通，所述出液管另一端的外侧壁上设有外螺纹。
[0012]优选的，所述调液装置包括调节支架、调节塑料软管和调节轮，所述调节塑料软管的一端与所述第一管件连接，所述调节塑料软管的另一端与所述第二管件连接，所述调节支架上设有用于安装所述调节塑料软管的凹槽，所述调节轮安装在所述调节支架上，所述调节轮的外圈与所述调节塑料软管的外侧壁贴合，所述调节轮为偏心轮。
[0013]优选的，所述第一管件上设有输液泵，所述出液管远离所述第二管件的一端上安装有喷雾头，所述喷雾头设有与所述外螺纹配合的内螺纹。
[0014]优选的，所述储液装置上设有第一固定装置，所述第一固定装置包括相对于所述储液罐对称的第一安装板和第二安装板，所述第一安装板的上端设有若干第一固定安装孔，所述第二安装板的上端设有若干第二固定安装孔。
[0015]优选的，所述出液装置上设有第二固定装置，所述第二固定装置包括第一弧形卡和第二弧形卡，所述第一弧形卡与所述出液装置铰接，所述第一弧形卡上设有第一固定孔，所述第二弧形卡上设有第二固定孔。
[0016]采用上述技术方案，由于设有储液装置，使得可以对喷淋打磨处的液体进行储存，由于设有调液装置，使得可以对出液装置的出液大小进行调节，由于设有出液装置，使得储液装置中的液体能通过出液装置喷洒到打磨头与陶瓷表面间，由于设有搅拌装置，使得可以对储液装置中的液体进行搅拌。
附图说明
[0017]图1为本专利技术一种用于静电吸盘的打磨喷液装置的结构示意图；
[0018]图2为本专利技术储液装置和搅拌装置连接的放大结构示意图；
[0019]图3为本专利技术第二固定装置的放大的结构示意图；
[0020]图4为本专利技术储液装置的左视放大结构示意图；
[0021]图5为本专利技术储液装置的右视放大结构示意图。
具体实施方式
[0022]下面结合附图对本专利技术的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本专利技术，但并不构成对本专利技术的限定。此外，下面所描述的本专利技术各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
[0023]如图1～图5所示，图1为本专利技术一种用于静电吸盘的打磨喷液装置的结构示意图，图2为本专利技术储液装置和搅拌装置连接的放大结构示意图，图3为本专利技术第二固定装置的放大的结构示意图，图4为本专利技术储液装置的左视放大结构示意图，图5为本专利技术储液装置的右视放大结构示意图，包括储液装置、用于调节出液大小的调液装置和出液装置，储液装置中设有搅拌装置，调液装置与储液装置通过第一管件2连通，出液装置与调液装置通过第二管件3连通，储液装置用于储存切削液，储存的切削液通过第一管件2，经过调液装置，流入到第二管件3中，最后通过出液装置将切削液喷淋在打磨头与静电吸盘用的陶瓷板表面，使用时，储液装置的高度高于调液装置，调液装置的高度高于出液装置的高度，通过重力进行排液；
[0024]储液装置包括上端开口的储液罐1，储液罐1侧壁上设有加液管，通过加液管可以向储液罐1中加入液体，加液管与储液罐1连通，加液管的进液端朝上，便于往储液罐1中加切削液，避免储液罐1中的切削液流出；
[0025]搅拌装置包括搅拌驱动件和设置在储液罐1中的搅拌组件，搅拌组件用于对切削液进行搅拌，搅拌驱动件用于驱动搅拌组件对切削液进行搅拌，为了节约能源，可以控制搅拌驱动件，间歇性的控制搅拌组件进行作业；
[0026]搅拌组件包括搅拌轴8和设置在搅拌轴8上的搅拌叶片9，搅拌驱动件为驱动电机7，驱动电机7的动力输出端与搅拌轴8连接，搅拌装置用于对储液罐1中的切削液进行搅拌，在对静电吸盘生产使用的陶瓷板进行打磨时，需要在切削液中加入陶瓷研磨粉末，若没有对带有陶瓷研磨粉末的切削液进行搅拌，则陶瓷研磨粉末会沉淀在储液罐1的底部，造成切削液中陶瓷研磨粉末的浓度过高，因此需要对切削液进行搅拌，使得切削液中的陶瓷研磨
粉末颗粒分布得更加均匀，使得陶瓷板表面研磨得更加平整，表面粗糙度更小，使得陶瓷板的表面质量符合静电吸盘的制造要求；
[0027]驱动电机7设置在支撑架10的上端，支撑架10上设有用于安装搅拌轴8的安装孔，支撑架10设置在储液罐1上方，支撑架10与储液罐1可拆卸连接；
[0028]静电吸盘用陶瓷板的研磨中使用的切削液的量比较小，驱动电机7也很小，便于安装和固定，支撑架10上端可以设置与驱动电机7配合的槽，驱动电机7安装到槽中，通过胶水将驱动电机7固定在支撑架10上，驱动电机7安装后的动力输出端朝下，驱动电机7的动力输出轴为多边形轴，搅拌轴8上现应的设有与多边形轴配合的多边形槽，搅拌轴8安装在驱动电机7的下方，储液罐1的上端内侧壁上设有内螺纹，支撑架10的下方外侧壁上设有与储液罐1内侧壁的内螺纹配合的外螺纹，通过螺纹连接将支撑架10与储液罐1连接，便于安装和拆卸；
[0029]出液装置包括出液管15，出液管15的一端与第二管件3连通，出液管15另一端的外侧壁上设有外螺纹，通过设有外螺纹，方便安装和更换不同的喷头；
[0030本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于静电吸盘的打磨喷液装置，其特征在于：包括储液装置、用于调节出液大小的调液装置和出液装置，所述储液装置中设有搅拌装置，所述调液装置与所述储液装置通过第一管件连通，所述出液装置与所述调液装置通过第二管件连通。2.根据权利要求1所述的一种用于静电吸盘的打磨喷液装置，其特征在于：所述储液装置包括上端开口的储液罐，所述储液罐侧壁上设有加液管，所述加液管与所述储液罐连通，所述加液管的进液端朝上。3.根据权利要求2所述的一种用于静电吸盘的打磨喷液装置，其特征在于：所述搅拌装置包括搅拌驱动件和设置在所述储液罐中的搅拌组件。4.根据权利要求3所述的一种用于静电吸盘的打磨喷液装置，其特征在于：所述搅拌组件包括搅拌轴和设置在所述搅拌轴上的搅拌叶片，所述搅拌驱动件为驱动电机，所述驱动电机的动力输出端与所述搅拌轴连接。5.根据权利要求4所述的一种用于静电吸盘的打磨喷液装置，其特征在于：所述驱动电机设置在支撑架的上端，所述支撑架上设有用于安装搅拌轴的安装孔，所述支撑架设置在所述储液罐上方，所述支撑架与所述储液罐可拆卸连接。6.根据权利要求5所述的一种用于静电吸盘的打磨喷液装置，其特征在于：所述出液装置包括出液管，所述出液管的一端与所述第二管件连通，所述出液管另一端的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李君，陈茂雄，石锗元，肖伟，
申请(专利权)人：君原电子科技海宁有限公司，
类型：发明
国别省市：