【技术实现步骤摘要】
一种静电卡盘的制造方法
[0001]本专利技术涉及静电卡盘
，特别涉及一种静电卡盘的制造方法。
技术介绍
[0002]静电卡盘，也称之为基座，是用于在半导体器件生产制造过程中支撑各种各样基片，例如，晶片，晶片受到外部电极和嵌入在电介质吸盘主体中的电极之间所产生的静电力而固定在吸盘的表面。
[0003]静电卡盘的陶瓷板通常采用烧制而成，采用烧制的方式使得陶瓷板发生弯曲，让陶瓷板表面不平整，进而影响到整个静电卡盘的性能。
[0004]但是，现有技术中，由于静电卡盘的陶瓷板采用烧制而成，影响到静电卡盘陶瓷板的表面平整度，因此，需要一种静电卡盘的制造方法。
技术实现思路
[0005]本专利技术要解决的技术问题是提供一种静电卡盘的制造方法，能够对提高静电卡盘陶瓷板表面的平整度。
[0006]为了解决上述技术问题，本专利技术的技术方案为：
[0007]一种静电卡盘的制造方法，包括以下步骤：
[0008]制造所述静电卡盘的主体部和基座，其中制造所述主体部包括以下步骤：
...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种静电卡盘的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：制造所述静电卡盘的主体部和基座，其中制造所述主体部包括以下步骤：步骤一：形成陶瓷基板及薄膜电极，所述薄膜电极设置在所述陶瓷基板上；步骤二：在所述陶瓷基板上形成介电层，所述介电层覆盖整个所述陶瓷基板的上表面，所述薄膜电极设置在所述陶瓷基板与所述介电层之间；步骤三：图形化所述介电层上表面；步骤四：在图形化后的所述介电层上表面形成保护层以形成所述静电卡盘的主体部；将所述主体部与所述基座粘连为一体以形成所述静电卡盘。2.根据权利要求1所述的一种静电卡盘的制造方法，其特征在于：所述陶瓷基板为含有氧化铝的陶瓷制成。3.根据权利要求1所述的一种静电卡盘的制造方法，其特征在于：所述基座为金属...
【专利技术属性】
技术研发人员：李君，石锗元，陈茂雄，肖伟，
申请(专利权)人：君原电子科技海宁有限公司，
类型：发明
国别省市：
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