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本发明公开了一种静电卡盘的制造方法，属于静电卡盘技术领域，包括以下步骤：制造所述静电卡盘的主体部和基座，其中制造所述主体部包括以下步骤：步骤一：形成陶瓷基板及薄膜电极，所述薄膜电极设置在所述陶瓷基板上；步骤二：在所述陶瓷基板上形成介电层，所...
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