提供一种确定通过聚焦透镜(120)朝向带电粒子束系统(100)中的样本(10)聚焦的带电粒子束(11)的束汇聚度的方法。所述方法包括：(a)当样本布置在与带电粒子束的相应射束焦点相距一个或多个散焦距离处时，获取样本的一个或多个图像；(b...

提供了一种用于影响沿光轴传播的带电粒子束的磁多极器件。所述磁多极器件包括：第一磁偏转器，用于用多个第一鞍形线圈使所述带电粒子束在x方向上偏转；以及第二磁偏转器，用于用多个第二鞍形线圈使所述带电粒子束在垂直于x方向的y方向上偏转。所述第一...

提供一种像差校正器(101)，具有：多个磁极(210,211)，包含第一磁极(210)和进一步的磁极(211)；环(240)，将该多个磁极彼此磁性连接，该环与至少该第一磁极具有恒定间距；多个磁场调制器(220,221)，包含第一磁场调制...

描述了一种确定在带电粒子束系统中由具有给定数值孔径(NA)的聚焦透镜(120)聚焦到样品(10)的带电粒子束(11)的像差的方法。所述方法包括：(a.)至少基于给定数值孔径(NA)，针对一组束像差系数(C

描述了一种用于影响沿着光轴(A)传播的带电粒子束(11)的方法。所述方法包括：引导带电粒子束(11)穿过多极装置(100、200)的至少一个开口(102)，多极装置包括布置在同一剖面中的具有四个或更多个第一电极(111、211)的第一多...

提供了用于测量带电粒子束装置的初级带电粒子束(123)的电流的电流测量模块(100)，电流测量模块(100)包括检测单元(160)，所述检测单元(160)经配置为用于检测在初级带电粒子束(123)撞击在带电粒子束装置的射束收集器(140...

描述成像和/或检查样品140的带电粒子束装置10。带电粒子束装置包括：发射一次带电粒子束105的束发射器150，带电粒子束装置适于沿光轴101将一次带电粒子束引导至样品以释放信号粒子；在撞击样品前阻滞一次带电粒子束的阻滞场装置100，阻...

描述了用于成像和/或检查样品140的带电粒子束装置10。带电粒子束装置包括：束发射器150，用于发射一次带电粒子束105；阻滞场装置100，用于在撞击样品之前阻滞一次束，阻滞场装置100包括物镜110和代理电极130；以及第一检测器12...

描述一种操作带电粒子枪(102)的方法。所述方法包括：在所述带电粒子枪内设置处于第一发射极电位的发射极(122)，并且在所述带电粒子枪内设置处于第一电极电位的捕获电极(142)，其中所述第一发射极电位和所述第一电极电位被设置以在所述发射...

描述了一种用于用多个子束检查样本的带电粒子束设备。所述带电粒子束设备包括：带电粒子束发射器(105)，所述带电粒子束发射器用于产生沿光轴(A)传播的带电粒子束(11)；以及多子束产生和校正组件(120)，所述多子束产生和校正组件包括：第...

提供了一种用于多个带电粒子子束的带电粒子束操纵设备，该带电粒子束操纵设备包括具有主光轴的透镜，该透镜至少包括第一多极阵列62，第一多极阵列62中的每个多极被配置成补偿对多个带电粒子子束16中的相应带电粒子子束的透镜偏转力，该透镜偏转力是...

提供了一种用于多子束带电粒子束设备的束消隐装置。束消隐装置包括第一消隐单元、第二消隐单元、和第三消隐单元。第一消隐单元包括第一消隐电极和第一孔。第二消隐单元包括第二消隐电极和第二孔。第三消隐单元包括第三消隐电极和第三孔。束消隐装置包括公...

一种次级带电粒子成像系统，包含：背向散射电子检测器模块，其中背向散射电子检测器模块可以环绕轴线而在第一角位置(5452)与第二角位置(5454)之间旋转。角位置(5454)之间旋转。角位置(5454)之间旋转。

带电粒子束装置(100)包括带电粒子源(105)和子束形成多孔板(110)。所述装置还包括：预补偿器(120)，所述预补偿器(120)用于减小子束在目标处的像差；扫描器，所述扫描器用于扫描子束中的每个子束；物镜(109)，所述物镜(10...

描述了一种用于作用在带电粒子束设备中的带电粒子束上的电极布置。所述电极布置包括：第一电极(110)，所述第一电极具有用于带电粒子束的第一开口(111)；第一间隔件元件(140)，所述第一间隔件元件定位在设于第一电极中的第一电极侧上的第一...

公开了一种操作带电粒子束装置的方法，所述方法包括使多个细束中的每个细束依序通过偏转器(6)和扫描仪(12)。用物镜将细束中的每个细束聚焦在样本上以形成多个焦斑，从而形成阵列。第一细束(4A)聚焦在第一光斑(40A)上，并且第二细束(4D...

公开了一种用于从带电粒子源产生多个带电粒子射束的分束器。分束器包括多个射束偏转器，各个射束偏转器沿着光学轴通过射束。各个射束偏转器包括低阶元件及相对应的高阶元件。各个低阶元件具有比各个相对应的高阶元件要少的电极；且各个低阶元件为多个低阶...

公开了一种操作带电粒子束装置的方法，包括：用物镜组件将带电粒子束聚焦到样品上；使反射光束穿过物镜组件的孔到达干涉仪；以及用干涉仪干涉地确定样品的z位置。公开了一种带电粒子束装置，包括具有带电粒子源的带电粒子束发生器。用于带电粒子束的带电...

本发明描述一种带电粒子束设备(100)，所述带电粒子束设备(100)包括：束源(105)，经配置以产生沿着光轴(A)传播的的带电粒子束(101)；具有多个孔隙的孔隙设备(110)，所述孔隙经配置以从带电粒子束产生多个细束(102)；场曲...

本发明提供一种改进的用于带电粒子束装置的圆柱腔体。这个腔体包括偏向器，该偏向器用于在样本表面扫描粒子束、相对于物镜调准粒子束、补偿由物镜所引起的像差。因此，用于偏向器并且可独立控制的电极配置和／或线圈配置的数目是８个或更少。