本发明提供了一种用于带电粒子束装置的改进物镜。该物镜包括一个磁透镜，用于产生一个第一磁场将带电粒子束聚焦在样品上。而且，通过提供至少一个附加线圈配置，一个偏转装置被集成到磁透镜中，产生一个第二磁场用于使带电粒子束偏转。因此，第二磁场通过...

一种用于检查样品（１４）的带电粒子束设备的小型化光学柱。该柱包括一个带电粒子源（２），用于提供一个带电粒子束（１０）；一个透镜系统，用于引导带电粒子束（１０）自源（２）到样品（１４）上；及一个外罩（４０），在运行期间该外罩被置为束流加强...

提供一种用于离子源的发射器，尤其用于液态金属合金离子源（ＬＭＡＩＳ）。该发射器包括二元合金ＰｒＳｉ作为源材料。

本发明提供了一种用于液态金属离子源的发射器（１００），所述发射器包括导线（１００），所述导线包括：基本弯曲的部分（１１５）和表面（１２０）；其中，导线表面（１２０）至少一部分（１２５）在所述基本弯曲的部分（１１５）处变尖以形成发射器尖端...