根据一个实施例，描述了一种校正带电粒子束的像散和调整数值孔径的方法。使用双消像散器来校正像散并调整数值孔径。所述双消像散器具有第一消像散器和第二消像散器。所述方法包括使用双消像散器的第二消像散器校正带电粒子束的像散；并且使用双消像散器的...

这里描述了带电粒子束装置的设备。所述带电粒子束装置包括：具有线圈载体的磁透镜；至少一个极靴；以及电绝缘体，所述电绝缘体旨在将线圈载体和至少一个极靴电气绝缘。

描述了配置用于带电粒子束装置的透镜。所述透镜包括配置为充电至第一电位的第一电极，以及与所述第一电极连接的衬垫管，所述衬垫管包括至少第一导电部分；所述第一导电部分上游的陶瓷部分；以及一或多个涂层，这些涂层设置于所述陶瓷部分上并与所述第一导...

本文描述了一种电子束装置（100），所述电子束装置包括被配置成产生沿光轴（A）传播的一次电子束的电子源（105）、被配置成支撑样品的样品台（108）、被配置成将一次电子束聚焦在样品上以引起信号电子束的发射的物镜（120）以及用于影响信号...

描述了一种用于带电粒子多束装置的多束发生器的多孔透镜板。所述多孔透镜板包括孔透镜板主体，所述孔透镜板主体包括：N个小束开口的阵列，N个小束开口的所述阵列具有小束开口，N个小束开口的所述阵列被配置为产生N个初级带电粒子小束，其中N是＞＝2...

提供了一种用于电子束装置的信号电子束偏转器。信号电子束偏转器包括以弯曲方式延伸的第一电极和以弯曲方式延伸并且具有至少一个电子透明部分的第二电极，所述电子透明部分被配置用于使信号电子束经过至少一个电子透明部分。第一电极和第二电极彼此相邻布...

描述了一种用于带电粒子束设备的偏转器。所述偏转器具有轴并且被配置为使带电粒子束在垂直于轴的方向上偏转，偏转器包括多个扁线圈，所述多个扁线圈包括两对扁线圈，其中两对扁线圈绕着偏转器的轴布置在相对侧上。

描述了一种用于影响沿着光轴(A)传播的带电粒子束(11)的方法。所述方法包括：引导带电粒子束(11)穿过多极装置(100、200)的至少一个开口(102)，多极装置包括布置在同一剖面中的具有四个或更多个第一电极(111、211)的第一多...

一种表征具有初级带电粒子束的带电粒子束系统中的检测路径的方法，包括：将具有弯曲等势面的带电粒子镜定位在带电粒子束系统的样品台上；通过使带电粒子镜的相对镜位置变化来使初级带电粒子束在弯曲等势面处的反射角变化，弯曲等势面与带电粒子镜的表面相...

描述了一种操作带电粒子束装置的方法。所述方法包括：引导初级带电粒子束通过轴上检测器的开口、通过中间透镜、通过物镜并到达样本上，其中中间透镜设置在轴上检测器与物镜之间；用物镜将初级带电粒子束聚焦到样本上；在第一操作模式中，提供对中间透镜的...

描述了一种用于检测电子束装置(100)中的信号电子的检测器设备(10)。所述检测器设备(10)包括电子检测器(120)，所述电子检测器具有用于初级电子束(105)通过的中心开口(23)并具有至少部分地包围所述中心开口的一个或多个径向内部...

提供了一种用于带电粒子束设备的接近电极，所述接近电极包括主体，所述主体具有在所述主体内的孔，并且所述主体具有径向悬伸到孔中的多个突出部，并且孔和突出部具有n重旋转对称性，其中n为整数。

一种确定在带电粒子束系统(100)中由聚焦透镜(120)朝向样品(10)聚焦的带电粒子束(11)的束会聚度的方法，所述方法包括：(a)当所述样品布置在距所述带电粒子束的相应的束焦点的一个或多个散焦距离(z<subgt;1…N<...

像差校正器和带电粒子束装置。所述像差校正器包括第一多个磁性元件，每个磁性元件包含磁极和用于向所述磁极提供磁场的对应磁棒。第一多个磁性元件包括至少第一磁性元件，所述第一磁性元件包括第一磁极；第一磁棒，具有与第一磁极相邻的近端和与近端相对的...

描述了一种在带电粒子束成像装置中确定由聚焦透镜(120)朝向样品平面(p<subgt;S</subgt;)聚焦的带电粒子束(11)的能谱或能宽的方法。所述方法包括(a)引入带电粒子束(11)的能量相关偏转，所述能量相关偏转导...

描述了用于带电粒子束装置的带电粒子光学器件，该带电粒子束装置具有带电粒子束以及带电粒子束装置的射束传播方向。带电粒子光学器件包括聚焦透镜。聚焦透镜包括：具有第一孔径的第一电极；具有第二孔径的第二电极，该第二电极至少在垂直于射束传播方向的...

描述了一种电子显微镜(100)。电子显微镜包括用于产生电子束的电子源(110)、用于准直电子源下游的电子束的聚光透镜(130)和用于将电子束聚焦到样本(16)上的物镜(140)。电子源包括：冷场发射器，具有发射尖端(112)；提取电极(...

描述了一种用于带电粒子束装置的透镜，该透镜具有透镜部件。该透镜包括：第一磁透镜，具有上极片和中间极片；第二磁透镜，具有中间极片和下极片；第一线圈，布置在第一磁透镜内，并且用于在上极片与中间极片之间提供第一磁场；第二线圈，布置在第二磁透镜...

描述了一种用于校正带电粒子束装置中的带电粒子束的像差的校正器。校正器包括被配置为在垂直于束轴的平面中的多个接线。接线形成两个或更多个开口，用于穿过两个或更多个开口传递带电粒子束。多个接线至少包括第一接线和第二接线，所述第一接线具有被配置...

描述了一种确定带电粒子束系统中由聚焦透镜(120)朝向样本(10)聚焦的带电粒子束(11)的像差的方法。方法包括：(a)以一个或多个散焦设置拍摄样本的一个或多个图像以提供一个或多个拍摄图像(h<subgt;1…N</subg...