本发明涉及离子注入机源腔防护技术领域，公开了一种对离子注入机源腔内部进行防护的装置。本发明包括：外箱，所述外箱内安装有隔仓，所述隔仓内滑动安装有滑架，所述外箱内安装有用于盛放纳米复合陶瓷涂料的料桶，所述外箱内安装有两个伸缩机构，两个伸缩...

本实用新型提供了一种高能注入机恒温超纯水装置，属于高能注入机技术领域。该一种高能注入机恒温超纯水装置包括箱体组件、降温组件和恒温组件，使用时，导入箱体内的高温超纯水在输送水管内经过箱体内部的冷却水冷却，温度下降后的超纯水从输送水管出口落...

本实用新型提供了一种刻蚀机的自动门，属于刻蚀机技术领域。该刻蚀机自动门包括刻蚀机本体、开合装置和自动门，所述开合装置包括液压缸和连接杆，所述液压缸转动连接于所述刻蚀机本体上侧，所述液压缸活塞杆顶端转动连接于所述连接杆上端，所述自动门包括...

本专利申请涉及刻蚀加工技术领域，公开了一种电路板刻蚀机的输送装置，包括安装座，安装座上转动安装有若干输送辊，安装座上设置有用于驱动输送辊转动的驱动组件，输送辊包括若干个沿轴线方向依次连接的输送段，每一输送段的两端分别同轴固定连接有用于放...

本实用新型提供了一种半导体生产翻转装置，属于半导体技术领域，该半导体生产翻转装置包括支撑台、水平翻转组件和竖直翻转组件。所述水平翻转组件包括旋转台、驱动电机、第一液压缸、托台和真空吸盘，所述竖直翻转组件包括滑动导杆、滑动座、第二液压缸、...

本实用新型提供了一种半导体生产点锡装置，属于点锡技术领域，该半导体生产点锡装置包括支撑台、角度组件和点锡组件。角度组件包括旋转轴、旋转座、角度盘和第一液压缸，点锡组件包括升降架、升降导轨、升降座、第二液压缸、焊机、焊架、第三液压缸和焊条...

本实用新型提供了一种刻蚀机过滤系统，属于刻蚀机过滤技术领域。该一种刻蚀机过滤系统包括桶体组件、过滤组件和烘干组件，所述烘干组件包括机壳、电热管、第二过滤板和积液盒，使用时，当需要清理第一过滤板时，打开气缸，气缸推动刮板向前运动，刮板滑动...

本实用新型提供了一种扩散炉炉门密封装置，属于扩散炉技术领域。该扩散炉炉门密封装置包括框架、开合装置和炉门，所述框架包括第一框体和第二框体，所述开合装置包括液压缸和连接杆，所述炉门包括外门板、内门板、密封圈、转盘、弹性杆、撑紧块、定位环和...

本实用新型涉及承载架领域，公开了一种扩散炉进气管防脱承载架，其技术方案要点是包括两个支架，支架上滑动连接有滑板，支架上设置有动力部，动力部用以带动同侧的滑板上下滑动，每个滑板顶面均开设有两个滑槽，滑槽内滑动连接有滑块，滑块上固定连接有支...

本实用新型提供了一种高能注入机射频加速装置，属于电子元件技术技术领域。该高能注入机射频加速装置包括加速器本体和连接组件。所述连接组件包括箱体、锁紧件、电容器芯包和风扇，所述锁紧件包括滑杆、弹簧和卡板，所述滑杆滑动贯穿所述箱体，所述卡板固...

本专利申请涉及刻蚀机技术领域，公开了一种刻蚀机托盘结构，包括托盘，托盘上开设有若干用于放置硅片的圆形的凹槽，托盘上方设置有盖板，托盘与盖板可拆卸连接，盖板的边缘形成有环形的定位部，定位部的内侧壁与托盘的外侧壁相接触，托盘上固定连接有定位...

本实用新型提供了一种半导体生产夹取装置，属于半导体夹取技术领域。该半导体生产夹取装置包括输送机和夹取吸附机构。所述夹取吸附机构包括支架箱、电缸、滑动箱、电动推杆、夹板、抽气泵、软管和吸盘，所述支架箱固定连接于所述输送机顶面两侧，所述电缸...

本实用新型提供了一种扩散炉的石英舟抓手，属于石英舟技术领域。该扩散炉的石英舟抓手包括基架箱、导向传动机构和风冷散热机构。所述导向传动机构包括传送杆、导向抓手杆和电动推杆，所述风冷散热机构包括风机、冷水箱组件、盘管和风管嘴，所述风机固定连...

本实用新型提供了一种扩散炉石英舟的升降装置，属于石英舟技术领域。该扩散炉石英舟的升降装置包括支撑机构和升降机构。所述支撑机构包括箱体，升降机构包括电机、螺纹杆、滑动组件、第一密封板、密封筒、第二密封板、圆杆和托板，所述电机连接于所述箱体...

本实用新型提供了一种扩散炉用的石英舟，属于硅片工艺设备技术领域。该扩散炉用的石英舟包括支架机构和调节机构。所述支架机构包括第一支板、第二支板和支撑组件，所述支撑组件两端与所述第一支板和所述第二支板连接，所述调节机构包括第一支撑杆、把手、...

本实用新型提供了一种刻蚀机上料结构，属于硅片加工设备技术领域。该刻蚀机上料结构包括上料组件和驱动组件。所述上料组件包括底座、第一气缸、支撑架和存料盒，所述支撑架为U型架，所述支撑架固定连接于所述第一气缸活动端，所述存料盒设置于所述支撑架...

本实用新型提供了一种刻蚀机的下电极载片台，属于载片台技术领域。该刻蚀机的下电极载片台包括基座箱和升降清扫机构。所述升降清扫机构包括减速电机、垂直丝杆、滑块、支杆、载片台体、电动推杆和刷子，所述减速电机固定连接于所述基座箱内底部一侧，所述...