一种扩散炉用的石英舟制造技术

本实用新型专利技术提供了一种扩散炉用的石英舟，属于硅片工艺设备技术领域。该扩散炉用的石英舟包括支架机构和调节机构。所述支架机构包括第一支板、第二支板和支撑组件，所述支撑组件两端与所述第一支板和所述第二支板连接，所述调节机构包括第一支撑杆、把手、第一齿轮、传动组件、第二齿轮、转杆和第二支撑杆，所述传动组件包括第三齿轮和第四齿轮。本实用新型专利技术通过把手、第一齿轮、第一支撑杆、第三齿轮、第四齿轮、第二齿轮、第二支撑杆、第一凹槽和第二凹槽的作用，从而达到了便于夹持不同大小硅片的目的，可根据硅片的大小，不用更换石英舟即可夹持不同大小的硅片，省时省力，提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散炉用的石英舟
本技术涉及硅片工艺设备领域，具体而言，涉及一种扩散炉用的石英舟。
技术介绍
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，石英舟是晶硅太阳电池扩散工序中用于承载硅片，将硅片置于扩散炉中反应的载具，具有耐高温和化学稳定，而现有的石英舟不便于夹持不同大小的硅片，由于硅片大小不一，夹持不同的硅片时需要更换不同类型的石英舟，费时费力，降低了生产效率。
技术实现思路
为了弥补以上不足，本技术提供了一种扩散炉用的石英舟，旨在改善不便于夹持不同大小硅片的问题。本技术是这样实现的：本技术提供一种扩散炉用的石英舟，包括支架机构和调节机构。所述支架机构包括第一支板、第二支板和支撑组件，所述支撑组件两端与所述第一支板和所述第二支板连接，所述调节机构包括第一支撑杆、把手、第一齿轮、传动组件、第二齿轮、转杆和第二支撑杆，所述传动组件包括第三齿轮和第四齿轮，所述第一支撑杆和所述第二支撑杆一端均转动连接于所述第二支板一侧，所述把手安装于所述第一支撑杆一端，所述把手滑动贯穿于所述第一支板，所述第一齿轮连接于所述把手外表面，所述第三齿轮啮合连接于所述第一齿轮，所述第四齿轮啮合连接于所述第三齿轮，所述第二齿轮啮合连接于所述第四齿轮，所述转杆两端与所述第二齿轮和所述第二支撑杆连接，所述转杆滑动贯穿于所述第一支板，所述第一支撑杆和所述第二支撑杆对称分布，所述第一支撑杆一侧开设有第一凹槽，所述第二支撑杆一侧开设有第二凹槽，所述第一凹槽和所述第二凹槽一一对应。在本技术的一种扩散炉用的石英舟实施例中，所述第三齿轮一侧固定连接有第一轴杆，所述第一轴杆转动连接于所述第一支板一侧。在本技术的一种扩散炉用的石英舟实施例中，所述第四齿轮一侧固定连接有第二轴杆，所述第二轴杆转动连接于所述第一支板一侧。在本技术的一种扩散炉用的石英舟实施例中，所述第一齿轮、所述第二齿轮、所述第三齿轮和所述第四齿轮大小均相同。在本技术的一种扩散炉用的石英舟实施例中，所述支撑组件包括第三支撑杆，所述第三支撑杆两端与所述第一支板和所述第二支板连接。在本技术的一种扩散炉用的石英舟实施例中，所述第三支撑杆的形状为等边三角形，所述第三支撑杆、所述第二支撑杆和所述第一支撑杆形成等腰三角形。在本技术的一种扩散炉用的石英舟实施例中，所述第三支撑杆一侧开设有第三凹槽，所述第三凹槽、所述第一凹槽和所述第二凹槽一一对应，所述第三凹槽的形状为三角形。在本技术的一种扩散炉用的石英舟实施例中，所述支架机构还包括支撑腿，所述支撑腿连接于所述第一支板和所述第二支板一侧。在本技术的一种扩散炉用的石英舟实施例中，所述第一支板一侧开设有第一通孔，所述第一通孔与所述把手间隙配合，所述把手为T型。在本技术的一种扩散炉用的石英舟实施例中，所述第一支板一侧开设有第二通孔，所述第二通孔与所述转杆间隙配合。本技术的有益效果是：本技术通过上述设计得到的一种扩散炉用的石英舟，使用时，根据硅片的大小，转动把手，把手会带动第一齿轮和第一支撑杆转动，第一齿轮会带动第三齿轮转动，第三齿轮会带动第四齿轮转动，第四齿轮会带动第二齿轮转动，第二齿轮会带动第二支撑杆转动，第一支撑杆和第二支撑杆相向转动，第一支撑杆和第二支撑杆会分别带动第一凹槽和第二凹槽相向转动，使第一凹槽和第二凹槽同时向内或者同时向外移动，调节好位置后，将硅片插入到第一凹槽和第二凹槽内，最终插入到第三凹槽，根据硅片的大小调节第一凹槽和第二凹槽的角度，从而达到了便于夹持不同大小硅片的目的，可根据硅片的大小，不用更换石英舟即可夹持不同大小的硅片，省时省力，提高了生产效率。附图说明为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1是本技术实施方式提供的扩散炉用的石英舟结构示意图；图2为本技术实施方式提供的支架机构第一视角结构示意图；图3为本技术实施方式提供的支架机构第二视角结构示意图；图4为本技术实施方式提供的支撑组件结构示意图；图5为本技术实施方式提供的调节机构第一视角结构示意图；图6为本技术实施方式提供的调节机构第二视角结构示意图；图7为本技术实施方式提供的传动组件结构示意图。图中：10-支架机构；110-第一支板；120-第二支板；130-支撑组件；131-第三支撑杆；132-第三凹槽；140-支撑腿；150-第一通孔；160-第二通孔；20-调节机构；210-第一支撑杆；220-把手；230-第一齿轮；240-传动组件；241-第三齿轮；242-第四齿轮；243-第一轴杆；244-第二轴杆；250-第二齿轮；260-转杆；270-第二支撑杆；280-第二凹槽；290-第一凹槽。具体实施方式为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本技术中，除非另有明确的规本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扩散炉用的石英舟，其特征在于，包括/n支架机构(10)，所述支架机构(10)包括第一支板(110)、第二支板(120)和支撑组件(130)，所述支撑组件(130)两端与所述第一支板(110)和所述第二支板(120)连接；/n调节机构(20)，所述调节机构(20)包括第一支撑杆(210)、把手(220)、第一齿轮(230)、传动组件(240)、第二齿轮(250)、转杆(260)和第二支撑杆(270)，所述传动组件(240)包括第三齿轮(241)和第四齿轮(242)，所述第一支撑杆(210)和所述第二支撑杆(270)一端均转动连接于所述第二支板(120)一侧，所述把手(220)安装于所述第一支撑杆(210)一端，所述把手(220)滑动贯穿于所述第一支板(110)，所述第一齿轮(230)连接于所述把手(220)外表面，所述第三齿轮(241)啮合连接于所述第一齿轮(230)，所述第四齿轮(242)啮合连接于所述第三齿轮(241)，所述第二齿轮(250)啮合连接于所述第四齿轮(242)，所述转杆(260)两端与所述第二齿轮(250)和所述第二支撑杆(270)连接，所述转杆(260)滑动贯穿于所述第一支板(110)，所述第一支撑杆(210)和所述第二支撑杆(270)对称分布，所述第一支撑杆(210)一侧开设有第一凹槽(290)，所述第二支撑杆(270)一侧开设有第二凹槽(280)，所述第一凹槽(290)和所述第二凹槽(280)一一对应。/n...

【技术特征摘要】
1.一种扩散炉用的石英舟，其特征在于，包括
支架机构(10)，所述支架机构(10)包括第一支板(110)、第二支板(120)和支撑组件(130)，所述支撑组件(130)两端与所述第一支板(110)和所述第二支板(120)连接；
调节机构(20)，所述调节机构(20)包括第一支撑杆(210)、把手(220)、第一齿轮(230)、传动组件(240)、第二齿轮(250)、转杆(260)和第二支撑杆(270)，所述传动组件(240)包括第三齿轮(241)和第四齿轮(242)，所述第一支撑杆(210)和所述第二支撑杆(270)一端均转动连接于所述第二支板(120)一侧，所述把手(220)安装于所述第一支撑杆(210)一端，所述把手(220)滑动贯穿于所述第一支板(110)，所述第一齿轮(230)连接于所述把手(220)外表面，所述第三齿轮(241)啮合连接于所述第一齿轮(230)，所述第四齿轮(242)啮合连接于所述第三齿轮(241)，所述第二齿轮(250)啮合连接于所述第四齿轮(242)，所述转杆(260)两端与所述第二齿轮(250)和所述第二支撑杆(270)连接，所述转杆(260)滑动贯穿于所述第一支板(110)，所述第一支撑杆(210)和所述第二支撑杆(270)对称分布，所述第一支撑杆(210)一侧开设有第一凹槽(290)，所述第二支撑杆(270)一侧开设有第二凹槽(280)，所述第一凹槽(290)和所述第二凹槽(280)一一对应。


2.根据权利要求1所述的一种扩散炉用的石英舟，其特征在于，所述第三齿轮(241)一侧固定连接有第一轴杆(243)，所述第一轴杆(243)转动连接于所述第一支板(110)一侧。


3.根据权利要求1所述的一种扩散炉用的石英舟，其特征在于，所述第四齿轮(242)一侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：俞聪聪，
申请(专利权)人：杭州帕兹电子有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33