本实用新型专利技术提供了一种高能注入机恒温超纯水装置，属于高能注入机技术领域。该一种高能注入机恒温超纯水装置包括箱体组件、降温组件和恒温组件，使用时，导入箱体内的高温超纯水在输送水管内经过箱体内部的冷却水冷却，温度下降后的超纯水从输送水管出口落入箱体内，温控器控制加热件对其加热，使超纯水温度产生恒温，加热过程中，超纯水产生水蒸气，水蒸气经过冷凝管，冷凝管经过冷却水降温使冷凝之后的水蒸气以水滴的形式再次落入箱体底部，减少箱体内部压力，该装置中，输送水管配合换热器使进入箱体内的高温超纯水得到有效的降温，恒温过程中产生的蒸汽经过冷凝管收集凝结，减少了恒温装置内的压力，使该恒温效果更加稳定。使该恒温效果更加稳定。使该恒温效果更加稳定。
【技术实现步骤摘要】
一种高能注入机恒温超纯水装置
[0001]本技术涉及高能注入机
，具体而言，涉及一种高能注入机恒温超纯水装置。
技术介绍
[0002]高能注入机的离子注入方式就是把掺杂元素的离子加速，使获得很大动能的杂质离子直接进入晶片中的晶格，离子注入后退火激活，离子束流加速后总电压达到350KV，由于电压高，高压区有发热部件如离子源、分析器线圈等要冷却水，冷却水工作温度需要在一定区间恒定。
[0003]通常冷却水为超纯水，超纯水在完成冷却工作之后回到恒温装置中时会携带高温并产生蒸汽，影响恒温装置内部恒温稳定，存在影响恒温效果的问题。
技术实现思路
[0004]为了弥补以上不足，本技术提供了一种高能注入机恒温超纯水装置，旨在改善影响恒温效果的问题。
[0005]本技术是这样实现的：
[0006]本技术提供一种高能注入机恒温超纯水装置，包括箱体组件、降温组件和恒温组件。
[0007]所述箱体组件包括箱体、隔板、进水管、输送水管和排水管，所述隔板固定连接于所述箱体内部，所述进水管固定连通于所述箱体一侧顶部，所述输送水管一端固定连通于所述进水管，所述输送水管远离所述进水管一端固定连通于所述隔板，所述输送水管远离所述进水管一端贯穿所述隔板，所述排水管固定连通于所述箱体远离所述进水管一侧底部，所述降温组件包括机壳、换热器和冷凝管，所述机壳固定连通于所述箱体远离所述进水管一侧，所述换热器固定连接于所述机壳内部，所述换热器输出端分别贯穿于所述箱体一侧和机壳远离所述箱体一侧，所述冷凝管固定连通于所述隔板顶部，所述恒温组件包括加热件和温控器，所述加热件固定连接于所述箱体底部，所述温控器固定连接于所述箱体一侧，所述温控器电性连接于所述加热件。
[0008]在本技术的一种实施例中，所述桶体一侧设有透明窗，所述箱体顶部设有箱盖，所述箱盖滑动连接于所述箱体顶部，所述箱体于箱盖之间通过固定螺栓固定。
[0009]在本技术的一种实施例中，所述桶体内设有第一支撑块，所述箱体底部设有夹层，所述加热件固定设置于所述夹层内。
[0010]在本技术的一种实施例中，所述隔板内开设有蒸汽入口，所述蒸汽入口固定连通于所述冷凝管。
[0011]在本技术的一种实施例中，所述隔板底部设有挡板，所述挡板一端固定连接于所述隔板底部，所述挡板另一端固定连接于所述输送水管远离所述进水管一端。
[0012]在本技术的一种实施例中，所述输送水管与所述隔板连接处设有密封圈，所
述输送水管与所述挡板连接处上方设有通孔。
[0013]在本技术的一种实施例中，所述排水管上设有阀门。
[0014]在本技术的一种实施例中，所述机壳内设有固定平台，所述固定平台固定连接于所述机壳内部，所述换热器固定连接于所述固定平台顶部。
[0015]在本技术的一种实施例中，所述换热器包括热水进口、热水出口、冷水出口、冷水进口和水泵，所述热水进口和所述冷水出口固定连通于所述箱体一侧，所述热水出口和所述冷水进口固定连通于所述机壳远离所述箱体一侧，所述热水进口与所述热水出口固定连通，所述水泵固定连通与所述热水进口与所述热水出口之间，所述冷水出口和所述冷水进口固定连通。
[0016]在本技术的一种实施例中，所述冷凝管包括蒸汽导管和冷凝盘管，所述蒸汽导管一端固定连通于所述蒸汽入口，所述冷凝盘管一端固定连通于所述蒸汽导管远离所述蒸汽入口一端，所述冷凝盘管另一端固定连通于所述隔板。
[0017]本技术的有益效果是：本技术通过上述设计得到的一种高能注入机恒温超纯水装置，使用时，导入箱体内的高温超纯水在输送水管内经过箱体内部的冷却水冷却，使超纯水水温下降，温度下降后的超纯水从输送水管出口落入箱体内，温控器控制加热件对其加热，使超纯水温度产生恒温，加热过程中，超纯水产生水蒸气，水蒸气经过冷凝管，冷凝管经过冷却水降温使冷凝之后的水蒸气以水滴的形式再次落入箱体底部，减少箱体内部压力，该装置中，输送水管配合换热器使进入箱体内的高温超纯水得到有效的降温，恒温过程中产生的蒸汽经过冷凝管收集凝结，减少了恒温装置内的压力，使该恒温效果更加稳定。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0019]图1是本技术实施方式提供的一种高能注入机恒温超纯水装置第一视角结构示意图；
[0020]图2为本技术实施方式提供的一种高能注入机恒温超纯水装置第一视角结构剖视图；
[0021]图3为本技术实施方式提供的一种高能注入机恒温超纯水装置第二视角结构剖视图；
[0022]图4为本技术实施方式提供的图2中A的放大结构剖视图；
[0023]图5为本技术实施方式提供的冷凝管结构示意图；
[0024]图6为本技术实施方式提供的图2中B的放大结构示意图。
[0025]图中：100
‑
箱体组件；110
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箱体；111
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箱盖；112
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固定螺栓；113
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夹层；120
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隔板；121
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蒸汽入口；122
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挡板；130
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进水管；140
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输送水管；141
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密封圈；150
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排水管；151
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阀门；200
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降温组件；210
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机壳；211
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固定平台；220
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换热器；221
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热水进口；222
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热水出口；223
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冷水出口；224
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冷水进口；225
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水泵；230
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冷凝管；231
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蒸汽导管；232
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冷凝盘管；300
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恒温组件；310
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加热件；320
‑
温控器。
具体实施方式
[0026]为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保温的范围。
[0027]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保温的本技术的范围，而本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高能注入机恒温超纯水装置，其特征在于，包括箱体组件(100)，所述箱体组件(100)包括箱体(110)、隔板(120)、进水管(130)、输送水管(140)和排水管(150)，所述隔板(120)固定连接于所述箱体(110)内部，所述进水管(130)固定连通于所述箱体(110)一侧顶部，所述输送水管(140)一端固定连通于所述进水管(130)，所述输送水管(140)远离所述进水管(130)一端固定连通于所述隔板(120)，所述输送水管(140)远离所述进水管(130)一端贯穿所述隔板(120)，所述排水管(150)固定连通于所述箱体(110)远离所述进水管(130)一侧底部；降温组件(200)，所述降温组件(200)包括机壳(210)、换热器(220)和冷凝管(230)，所述机壳(210)固定连通于所述箱体(110)远离所述进水管(130)一侧，所述换热器(220)固定连接于所述机壳(210)内部，所述换热器(220)输出端分别贯穿于所述箱体(110)一侧和机壳(210)远离所述箱体(110)一侧，所述冷凝管(230)固定连通于所述隔板(120)顶部；恒温组件(300)，所述恒温组件(300)包括加热件(310)和温控器(320)，所述加热件(310)固定连接于所述箱体(110)底部，所述温控器(320)固定连接于所述箱体(110)一侧，所述温控器(320)电性连接于所述加热件(310)。2.根据权利要求1所述的一种高能注入机恒温超纯水装置，其特征在于，所述箱体(110)顶部设有箱盖(111)，所述箱盖(111)滑动连接于所述箱体(110)顶部，所述箱体(110)于箱盖(111)之间通过固定螺栓(112)固定。3.根据权利要求1所述的一种高能注入机恒温超纯水装置，其特征在于，所述箱体(110)底部设有夹层(113)，所述加热件(310)固定设置于所述夹层(113)内。4.根据权利要求1所述的一种高能注入机恒温超纯水装置，其特征在于，所述隔板(120)内开设有蒸汽入口(121)，所述蒸汽入口(121)固...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵建江，
申请(专利权)人：杭州帕兹电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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