【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及离子注入机源腔防护，尤其涉及一种对离子注入机源腔内部进行防护的装置。
技术介绍
1、离子注入机是高压小型加速器中的一种，主要用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，是集成电路制造前工序中的关键设备，其主要由离子源、离子引出和质量分析器、加速管、扫描系统等部件组成，其中，离子源是离子注入机的主要部位，离子注入机利用离子源中灯丝产生的热电子在电场的作用下轰击气体分子，使之电离，离子源在长期使用后其腔室内腔会附着气体、涂层等附着物，而这些附着物会影响离子源的稳定性，因此，需要定期将离子源拆下并对其内腔进行清理，由于这些附着物在高温高电压的环境下产生，这使得附着在源腔内的附着物存在较大的清理难度，一般都是通过打磨的方式进行去除。
2、但是，打磨式的清理方式会对离子源腔的内壁产生损耗，同时，离子注入机在运行时，离子源腔还会承受高温、高电压，以及等离子的轰击，这也会对源腔造成不可逆的损伤，增加离子源腔的损耗，降低其使用寿命。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本专利技术提供一种对离子注入机源腔内部进行防护的装置。
2、本专利技术采用以下技术方案实现：外箱，外箱内安装有隔仓，隔仓内滑动安装有滑架，外箱内安装有用于盛放纳米复合陶瓷涂料的料桶，外箱内安装有两个伸缩机构，两个伸缩机构上均安装有喷涂机构，两个喷涂机构一个横向一个纵向，两个喷涂机构上均设有漆面厚度检测探头，隔仓以及对应的喷涂机构上均设有涂料防溅机构；
3、喷涂机构包括安装在料桶
4、作为上述方案的进一步改进，隔仓内设有两个抽屉导轨，两个抽屉导轨的外固定轨分别与隔仓的两侧内壁相固定，两个抽屉导轨的内固定轨均与滑架相固定。
5、作为上述方案的进一步改进，滑架由横板以及竖板两个部分组成，横板的顶部开设有定位槽，定位槽与离子注入机源腔的底部相适配。
6、作为上述方案的进一步改进，料桶的一侧固定安装有第一电机，料桶内转动安装有搅拌杆，搅拌杆的轴杆延伸至料桶外并与第一电机的输出轴固定连接。
7、作为上述方案的进一步改进，伸缩机构包括固定安装在外箱内的支撑架，支撑架上固定安装有第二电机，第二电机的输出轴上固定安装有第一锥形齿轮，支撑架以及隔仓上转动安装有螺杆，螺杆的一端固定安装有的第二锥形齿轮，第一锥形齿轮与第二锥形齿轮啮合，螺杆上螺纹套设有移动架，第三电机与移动架的顶部固定连接，喷涂管贯穿移动架并与移动架转动连接。
8、作为上述方案的进一步改进，喷涂管的一端转动套设有连接套头，连接套头上固定安装有固定框，固定框与移动架相固定，连接套头上连接有皮管，皮管的另一端与喷涂泵的出料口相连接。
9、作为上述方案的进一步改进，喷头上固定安装有弧形固定架，弧形固定架上固定安装有微型电动推杆，微型电动推杆的输出杆上固定安装有半圆固定片，半圆固定片上开设有穿孔，漆面厚度检测探头贯穿穿孔并与穿孔固定连接。
10、作为上述方案的进一步改进，第三电机的输出轴上固定安装有第三锥形齿轮，喷涂管上固定套设有第四锥形齿轮，第三锥形齿轮和第四锥形齿轮啮合。
11、作为上述方案的进一步改进，涂料防溅机构包括安装在隔仓内的挡板、堵板以及滑动套设在纵向喷涂管上的挡环，挡板上开设有圆孔，圆孔的直径小于源腔一侧的腔口，隔仓的两侧内壁均固定安装有液压缸，两个堵板分别与两个液压缸的输出杆固定连接，两个堵板与源腔两侧的腔口相适配，挡环与源腔顶部的腔口相对应。
12、相比现有技术，本专利技术的有益效果在于：
13、本专利技术通过外箱、隔仓、滑架、伸缩机构和喷涂机构相配合，组成了一个专门对离子注入机源腔内部进行防护喷涂的装置，其专门针对源腔内部损耗问题，给源腔的内部喷上防护凃层，且采用的喷涂材料为纳米复合陶瓷涂料，该涂料具有耐高温、抗腐蚀性强、耐磨、安全环保且表面疏水，具有不粘特性，可以极大的降低源腔在使用和清理时的磨损，且由于涂层具有不沾的特性，可以降低附着物的清理难度；
14、通过第二电机、螺杆、移动架、第三电机、第三锥形齿轮、第四锥形齿轮等结构相配合，组成了喷涂机构的伸缩机构和转动机构，其不但可以带动喷头机构进入源腔内部并不断移动，同时还可以带动喷涂机构旋转，使得喷涂机构可以全面的对源腔的内部进行喷涂，且在配合上漆面厚度检测探头，还可以针对性的对源腔的内部进行涂层厚度检测，从而只对涂层过度损耗区域进行喷涂，一侧保证源腔内部涂层的厚度可以更均匀；
15、通过挡板、堵板以及挡环等结构组成的涂料防溅机构，可以在源腔内部进行涂层喷涂前将源腔的连接腔口提前进行遮挡保护，避免涂料喷到连接腔口外影响源腔腔口规格，导致其无法正常安装。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种对离子注入机源腔内部进行防护的装置，包括：外箱，所述外箱内安装有隔仓，所述隔仓内滑动安装有滑架，其特征在于，所述外箱内安装有用于盛放纳米复合陶瓷涂料的料桶，所述外箱内安装有两个伸缩机构，两个伸缩机构上均安装有喷涂机构，两个喷涂机构一个横向一个纵向，两个喷涂机构上均设有漆面厚度检测探头，所述隔仓以及对应的喷涂机构上均设有涂料防溅机构；
2.如权利要求1所述的对离子注入机源腔内部进行防护的装置，其特征在于，所述隔仓内设有两个抽屉导轨，两个抽屉导轨的外固定轨分别与隔仓的两侧内壁相固定，两个抽屉导轨的内固定轨均与滑架相固定。
3.如权利要求1所述的对离子注入机源腔内部进行防护的装置，其特征在于，所述滑架由横板以及竖板两个部分组成，所述横板的顶部开设有定位槽，所述定位槽与离子注入机源腔的底部相适配。
4.如权利要求1所述的对离子注入机源腔内部进行防护的装置，其特征在于，所述料桶的一侧固定安装有第一电机，所述料桶内转动安装有搅拌杆，所述搅拌杆的轴杆延伸至料桶外并与第一电机的输出轴固定连接。
5.如权利要求1所述的对离子注入机源腔内部进行
6.如权利要求1所述的对离子注入机源腔内部进行防护的装置，其特征在于，所述喷涂管的一端转动套设有连接套头，所述连接套头上固定安装有固定框，所述固定框与移动架相固定，所述连接套头上连接有皮管，所述皮管的另一端与喷涂泵的出料口相连接。
7.如权利要求1所述的对离子注入机源腔内部进行防护的装置，其特征在于，所述喷头上固定安装有弧形固定架，所述弧形固定架上固定安装有微型电动推杆，所述微型电动推杆的输出杆上固定安装有半圆固定片，所述半圆固定片上开设有穿孔，所述漆面厚度检测探头贯穿穿孔并与穿孔固定连接。
8.如权利要求1所述的对离子注入机源腔内部进行防护的装置，其特征在于，所述第三电机的输出轴上固定安装有第三锥形齿轮，所述喷涂管上固定套设有第四锥形齿轮，所述第三锥形齿轮和第四锥形齿轮啮合。
9.如权利要求1所述的对离子注入机源腔内部进行防护的装置，其特征在于，所述涂料防溅机构包括安装在隔仓内的挡板、堵板以及滑动套设在纵向喷涂管上的挡环，所述挡板上开设有圆孔，所述圆孔的直径小于源腔一侧的腔口，所述隔仓的两侧内壁均固定安装有液压缸，两个堵板分别与两个液压缸的输出杆固定连接，两个堵板与源腔两侧的腔口相适配，所述挡环与源腔顶部的腔口相对应。
...【技术特征摘要】
1.一种对离子注入机源腔内部进行防护的装置，包括：外箱，所述外箱内安装有隔仓，所述隔仓内滑动安装有滑架，其特征在于，所述外箱内安装有用于盛放纳米复合陶瓷涂料的料桶，所述外箱内安装有两个伸缩机构，两个伸缩机构上均安装有喷涂机构，两个喷涂机构一个横向一个纵向，两个喷涂机构上均设有漆面厚度检测探头，所述隔仓以及对应的喷涂机构上均设有涂料防溅机构；
2.如权利要求1所述的对离子注入机源腔内部进行防护的装置，其特征在于，所述隔仓内设有两个抽屉导轨，两个抽屉导轨的外固定轨分别与隔仓的两侧内壁相固定，两个抽屉导轨的内固定轨均与滑架相固定。
3.如权利要求1所述的对离子注入机源腔内部进行防护的装置，其特征在于，所述滑架由横板以及竖板两个部分组成，所述横板的顶部开设有定位槽，所述定位槽与离子注入机源腔的底部相适配。
4.如权利要求1所述的对离子注入机源腔内部进行防护的装置，其特征在于，所述料桶的一侧固定安装有第一电机，所述料桶内转动安装有搅拌杆，所述搅拌杆的轴杆延伸至料桶外并与第一电机的输出轴固定连接。
5.如权利要求1所述的对离子注入机源腔内部进行防护的装置，其特征在于，所述伸缩机构包括固定安装在外箱内的支撑架，所述支撑架上固定安装有第二电机，所述第二电机的输出轴上固定安装有第一锥形齿轮，所述支撑架以及隔仓上转动安装有螺杆，所述螺杆的一端固定安装有的第二锥形齿轮，所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵建江，周涛，刘强，魏宏雨，黄友林，
申请(专利权)人：杭州帕兹电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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