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本发明涉及离子注入机源腔防护技术领域，公开了一种对离子注入机源腔内部进行防护的装置。本发明包括：外箱，所述外箱内安装有隔仓，所述隔仓内滑动安装有滑架，所述外箱内安装有用于盛放纳米复合陶瓷涂料的料桶，所述外箱内安装有两个伸缩机构，两个伸缩机构...
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