一种刻蚀机的下电极载片台制造技术

本实用新型专利技术提供了一种刻蚀机的下电极载片台，属于载片台技术领域。该刻蚀机的下电极载片台包括基座箱和升降清扫机构。所述升降清扫机构包括减速电机、垂直丝杆、滑块、支杆、载片台体、电动推杆和刷子，所述减速电机固定连接于所述基座箱内底部一侧，所述垂直丝杆转动连接于所述基座箱内部，所述减速电机输出端与所述垂直丝杆底部传动连接，所述滑块与所述垂直丝杆传动连接，所述支杆底部与所述滑块顶面两侧固定连接，所述支杆滑动贯穿于所述基座箱内顶部，所述支杆顶部与所述载片台体底部固定连接。本实用新型专利技术方便对载片台的高度进行调节以及方便对载片台清理，从而提高载片台适用于以及保障了载片台清洁型。

【技术实现步骤摘要】
一种刻蚀机的下电极载片台
本技术涉及载片台
，具体而言，涉及一种刻蚀机的下电极载片台。
技术介绍
在等离子体刻蚀工艺中所使用的下电极载片台是一种固定待刻蚀晶圆的结构，合适的固定结构，对于等离子体刻蚀工艺的可靠性、稳定性和重复性有重要的作用。在选择晶圆固定结构时，需要考虑刻蚀晶圆的尺寸，刻蚀工艺的气体及流量分布，该固定结构使用材料对于刻蚀工艺过程的物理和化学影响。目前，刻蚀机的下电极载片台不方便对载片台的高度进行调节以及不便对载片台清理，从而不能提高载片台适用性以及不能保障载片台清洁型。
技术实现思路
为了弥补以上不足，本技术提供了一种刻蚀机的下电极载片台，旨在改善刻蚀机的下电极载片台不方便对载片台的高度进行调节以及不便对载片台清理的问题。本技术是这样实现的：本技术提供一种刻蚀机的下电极载片台，包括基座箱和升降清扫机构。所述升降清扫机构包括减速电机、垂直丝杆、滑块、支杆、载片台体、电动推杆和刷子，所述减速电机固定连接于所述基座箱内底部一侧，所述垂直丝杆转动连接于所述基座箱内部，所述减速电机输出端与所述垂直丝杆底部传动连接，所述滑块与所述垂直丝杆传动连接，所述支杆底部与所述滑块顶面两侧固定连接，所述支杆滑动贯穿于所述基座箱内顶部，所述支杆顶部与所述载片台体底部固定连接，所述电动推杆固定连接于所述基座箱内顶部两侧，所述电动推杆输出端与所述刷子一端固定连接，所述刷子与所述载片台体顶面对应设置。在本技术的一种实施例中，所述基座箱底部设置有支腿，所述支腿顶部与所述基座箱底部固定连接。在本技术的一种实施例中，所述基座箱内部设置有支撑板，所述垂直丝杆上下两端分别于转动贯穿于所述支撑板。在本技术的一种实施例中，所述减速电机输出端固定连接有第一齿轮，所述垂直丝杆底端设置有第二齿轮，所述第一齿轮与所述第二齿轮传动连接。在本技术的一种实施例中，所述垂直丝杆通过轴承与支撑板转动连接。在本技术的一种实施例中，所述垂直丝杆上下两端设置有限位杆，所述限位杆与所述滑块对应设置。在本技术的一种实施例中，所述滑块周侧设置有限位桶，所述滑块与所述限位桶滑动连接。在本技术的一种实施例中，所述滑块两侧设置有限位块，所述限位块滑动贯穿于所述限位桶内。在本技术的一种实施例中，所述载片台体顶部间隔设置有缓冲垫，所述缓冲垫覆盖在载片台体顶部。在本技术的一种实施例中，所述基座箱外侧设置有检修门，所述检修门上设置有把手。本技术的有益效果是：本技术通过上述设计得到的一种刻蚀机的下电极载片台，使用时，根据产品高度需求，打开减速电机带动垂直丝杆转动，进而带动滑块上下移动，从而使得载片台体上下移动，达到调节高度的目的，当需要清理时，打开减速电机使得载片台体移动至基座箱内，然后打开电动推杆带动刷子对来回移动对载片台体进行清扫。本技术方便对载片台的高度进行调节以及方便对载片台清理，从而提高载片台适用于以及保障了载片台清洁型。附图说明为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1是本技术实施方式提供的一种刻蚀机的下电极载片台结构示意图；图2为本技术实施方式提供的一种刻蚀机的下电极载片台剖面结构示意图；图3为本技术实施方式提供的图2中A处结构示意图；图4为本技术实施方式提供的一种刻蚀机的下电极载片台俯视结构示意图。图中：100-基座箱；110-支腿；120-支撑板；130-检修门；140-把手；200-升降清扫机构；210-减速电机；211-第一齿轮；220-垂直丝杆；221-第二齿轮；222-轴承；223-限位杆；230-滑块；231-限位桶；232-限位块；240-支杆；250-载片台体；251-缓冲垫；260-电动推杆；270-刷子。具体实施方式为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。实施例请参阅图1-4，本技术提供一种技术方案：一种刻蚀机的下电极载片台包括基座箱100和升降清扫机构200。请本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种刻蚀机的下电极载片台，其特征在于，包括/n基座箱(100)；/n升降清扫机构(200)，所述升降清扫机构(200)包括减速电机(210)、垂直丝杆(220)、滑块(230)、支杆(240)、载片台体(250)、电动推杆(260)和刷子(270)，所述减速电机(210)固定连接于所述基座箱(100)内底部一侧，所述垂直丝杆(220)转动连接于所述基座箱(100)内部，所述减速电机(210)输出端与所述垂直丝杆(220)底部传动连接，所述滑块(230)与所述垂直丝杆(220)传动连接，所述支杆(240)底部与所述滑块(230)顶面两侧固定连接，所述支杆(240)滑动贯穿于所述基座箱(100)内顶部，所述支杆(240)顶部与所述载片台体(250)底部固定连接，所述电动推杆(260)固定连接于所述基座箱(100)内顶部两侧，所述电动推杆(260)输出端与所述刷子(270)一端固定连接，所述刷子(270)与所述载片台体(250)顶面对应设置。/n

【技术特征摘要】
1.一种刻蚀机的下电极载片台，其特征在于，包括
基座箱(100)；
升降清扫机构(200)，所述升降清扫机构(200)包括减速电机(210)、垂直丝杆(220)、滑块(230)、支杆(240)、载片台体(250)、电动推杆(260)和刷子(270)，所述减速电机(210)固定连接于所述基座箱(100)内底部一侧，所述垂直丝杆(220)转动连接于所述基座箱(100)内部，所述减速电机(210)输出端与所述垂直丝杆(220)底部传动连接，所述滑块(230)与所述垂直丝杆(220)传动连接，所述支杆(240)底部与所述滑块(230)顶面两侧固定连接，所述支杆(240)滑动贯穿于所述基座箱(100)内顶部，所述支杆(240)顶部与所述载片台体(250)底部固定连接，所述电动推杆(260)固定连接于所述基座箱(100)内顶部两侧，所述电动推杆(260)输出端与所述刷子(270)一端固定连接，所述刷子(270)与所述载片台体(250)顶面对应设置。


2.根据权利要求1所述的一种刻蚀机的下电极载片台，其特征在于，所述基座箱(100)底部设置有支腿(110)，所述支腿(110)顶部与所述基座箱(100)底部固定连接。


3.根据权利要求1所述的一种刻蚀机的下电极载片台，其特征在于，所述基座箱(100)内部设置有支撑板(120)，所述垂直丝杆(220)上下两端分别于转动贯穿于所述支撑板(120)。


4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：王亚骏，
申请(专利权)人：杭州帕兹电子有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33