一种刻蚀机上料结构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种刻蚀机上料结构，属于硅片加工设备技术领域。该刻蚀机上料结构包括上料组件和驱动组件。所述上料组件包括底座、第一气缸、支撑架和存料盒，所述支撑架为U型架，所述支撑架固定连接于所述第一气缸活动端，所述存料盒设置于所述支撑架顶部，所述存料盒内水平间隔设置有若干硅片，所述驱动组件包括支撑座、第二气缸、槽架、转动件和传送带，所述转动件包括第一转动辊、第二转动辊和皮带，通过底座、第一气缸和支撑架的配合使用，将存料盒内硅片通过底面接触方式移动至皮带上方，再通过传送带传送至刻蚀加工工位，过程中避免了接触硅片加工面，从而有效地保证了产品质量。

【技术实现步骤摘要】
一种刻蚀机上料结构
本技术涉及硅片加工设备领域，具体而言，涉及一种刻蚀机上料结构。
技术介绍
刻蚀工艺是把未被抗蚀剂掩蔽的薄膜层除去，从而在薄膜上得到与抗蚀剂膜上完全相同图形的工艺。在集成电路制造过程中，经过掩模套准、曝光和显影，在抗蚀剂膜上复印出所需的图形，或者用电子束直接描绘在抗蚀剂膜上产生图形，然后把此图形精确地转移到抗蚀剂下面的氧化硅上去，制造出所需的薄层图案。而在硅片进行刻蚀加工之前需要上料。目前常规上料机在上料过程中通常用吸盘将硅片吸附住，然后转移至皮带上，导致容易在加工面上遗留痕迹，从而影响后续产品的质量。
技术实现思路
为了弥补以上不足，本技术提供了一种刻蚀机上料结构，旨在改善一些上料在上料过程中，容易在加工面上遗留吸附的痕迹，影响产品质量的问题。本技术是这样实现的：本技术提供一种刻蚀机上料结构包括上料组件和驱动组件。所述上料组件包括底座、第一气缸、支撑架和存料盒，所述第一气缸安装于所述底座顶部，所述支撑架为U型架，所述支撑架固定连接于所述第一气缸活动端，所述存料盒设置于所述支撑架顶部，所述存料盒内水平间隔设置有若干硅片。所述驱动组件包括支撑座、第二气缸、槽架、转动件和传送带，所述第二气缸设置于所述支撑座顶部，所述槽架固定连接于所述所述第二气缸活动端，所述槽架一端延伸至所述支撑架内，所述转动件包括第一转动辊、第二转动辊和皮带，所述第一转动辊设置有若干个，若干个所述第一转动辊对应转动设置于所述槽架内，所述第二转动辊设置有若干个，所述第二转动辊对应转动设置于所述槽架内，所述皮带套接于所述第一转动辊和所述第二转动辊表面，所述传送带设置于所述槽架一侧，所述槽架一侧设置有吹污件。在本技术的一种实施例中，所述槽架包括底板、侧板和连接板，所述底板固定连接于所述第二气缸活动端，所述侧板设置有两个，两个所述侧板对应设置于所述底板两侧，所述连接板设置于所述侧板顶部一端，所述连接板延伸至所述支撑架内。在本技术的一种实施例中，两个所述连接板远离所述侧板一端设置有所述第一转动辊，且所述存料盒位于皮带正上方。在本技术的一种实施例中，所述侧板一侧开设有凹槽，所述凹槽两侧设置有所述第一转动辊，所述凹槽底部设置有所述第二转动辊，所述传送带位于所述凹槽内。在本技术的一种实施例中，所述凹槽一侧设置有挡板，所述挡板一侧设置有橡胶垫。在本技术的一种实施例中，所述存料盒包括盒体和放置板，所述盒体底部镂空，所述放置板设置有若干个，所述放置板对应设置于所述盒体内部，所述硅片设置于两个所述放置板之间。在本技术的一种实施例中，所述盒体两侧设置有凸起，所述放置板两侧设置有挡料板。在本技术的一种实施例中，所述支撑架顶部设置有限位板，所述存料盒设置于所述限位板内。在本技术的一种实施例中，所述吹污件包括固定板、框体和吹风机，所述固定板固定连接于所述槽架一侧，所述框体固定连接于所述固定板，所述皮带穿过所述框体，所述吹风机固定连接于所述框体顶部，所述框体内设置有喷气嘴，所述喷气嘴连通所述吹风机出风口。在本技术的一种实施例中，所述框体内设置有导气管，所述喷气嘴通过所述导气管连通所述吹风机。本技术的有益效果是：本技术通过上述设计得到的一种刻蚀机上料结构，使用时，将装有硅片的存料盒放置到支撑架上，启动第一气缸，第一气缸收缩运动，第一气缸活动端带动支撑架下移，存料盒随着支撑架下移，下移硅片使其压在皮带上，然后通过外部驱动电机同时带动第一转动辊和第二转动辊转动，第一转动辊和第二转动辊带动皮带转动，皮带将硅片移动至传送带上方，启动第二气缸，第二气缸收缩带动槽架和转动件下移，从而将硅片架空压在传送带上，传送带将硅片传送至刻蚀加工工位，通过底座、第一气缸和支撑架的配合使用，将存料盒内硅片通过底面接触方式移动至皮带上方，再通过传送带传送至刻蚀加工工位，过程中避免了接触硅片加工面，从而有效地保证了产品质量。附图说明为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1是本技术实施方式提供一种刻蚀机上料结构的结构示意图；图2为本技术实施方式提供支撑架的结构示意图；图3为本技术实施方式提供存料盒的结构示意图；图4为本技术实施方式提供驱动组件的结构示意图；图5为本技术实施方式提供槽架的结构示意图；图6为本技术实施方式提供吹污件的结构示意图。图中：100-上料组件；110-底座；120-第一气缸；130-支撑架；131-限位板；140-存料盒；141-盒体；1411-凸起；142-放置板；150-硅片；200-驱动组件；210-支撑座；220-第二气缸；230-槽架；231-底板；232-侧板；2321-凹槽；2322-挡板；233-连接板；240-转动件；241-第一转动辊；242-第二转动辊；243-皮带；250-传送带；260-吹污件；261-固定板；262-框体；2621-导气管；263-吹风机；264-喷气嘴。具体实施方式为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种刻蚀机上料结构，其特征在于，包括/n上料组件(100)，所述上料组件(100)包括底座(110)、第一气缸(120)、支撑架(130)和存料盒(140)，所述第一气缸(120)安装于所述底座(110)顶部，所述支撑架(130)为U型架，所述支撑架(130)固定连接于所述第一气缸(120)活动端，所述存料盒(140)设置于所述支撑架(130)顶部，所述存料盒(140)内水平间隔设置有若干硅片(150)；/n驱动组件(200)，所述驱动组件(200)包括支撑座(210)、第二气缸(220)、槽架(230)、转动件(240)和传送带(250)，所述第二气缸(220)设置于所述支撑座(210)顶部，所述槽架(230)固定连接于所述第二气缸(220)活动端，所述槽架(230)一端延伸至所述支撑架(130)内，所述转动件(240)包括第一转动辊(241)、第二转动辊(242)和皮带(243)，所述第一转动辊(241)设置有若干个，若干个所述第一转动辊(241)对应转动设置于所述槽架(230)内，所述第二转动辊(242)设置有若干个，所述第二转动辊(242)对应转动设置于所述槽架(230)内，所述皮带(243)套接于所述第一转动辊(241)和所述第二转动辊(242)表面，所述传送带(250)设置于所述槽架(230)一侧，所述槽架(230)一侧设置有吹污件(260)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种刻蚀机上料结构，其特征在于，包括
上料组件(100)，所述上料组件(100)包括底座(110)、第一气缸(120)、支撑架(130)和存料盒(140)，所述第一气缸(120)安装于所述底座(110)顶部，所述支撑架(130)为U型架，所述支撑架(130)固定连接于所述第一气缸(120)活动端，所述存料盒(140)设置于所述支撑架(130)顶部，所述存料盒(140)内水平间隔设置有若干硅片(150)；
驱动组件(200)，所述驱动组件(200)包括支撑座(210)、第二气缸(220)、槽架(230)、转动件(240)和传送带(250)，所述第二气缸(220)设置于所述支撑座(210)顶部，所述槽架(230)固定连接于所述第二气缸(220)活动端，所述槽架(230)一端延伸至所述支撑架(130)内，所述转动件(240)包括第一转动辊(241)、第二转动辊(242)和皮带(243)，所述第一转动辊(241)设置有若干个，若干个所述第一转动辊(241)对应转动设置于所述槽架(230)内，所述第二转动辊(242)设置有若干个，所述第二转动辊(242)对应转动设置于所述槽架(230)内，所述皮带(243)套接于所述第一转动辊(241)和所述第二转动辊(242)表面，所述传送带(250)设置于所述槽架(230)一侧，所述槽架(230)一侧设置有吹污件(260)。


2.根据权利要求1所述的一种刻蚀机上料结构，其特征在于，所述槽架(230)包括底板(231)、侧板(232)和连接板(233)，所述底板(231)固定连接于所述第二气缸(220)活动端，所述侧板(232)设置有两个，两个所述侧板(232)对应设置于所述底板(231)两侧，所述连接板(233)设置于所述侧板(232)顶部一端，所述连接板(233)延伸至所述支撑架(130)内。


3.根据权利要求2所述的一种刻蚀机上料结构，其特征在于，两个所述连接板(233)远离所述侧板(232)一端设置有所述第一转动辊(241)，且所述存料盒(140)位于...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄友林，
申请(专利权)人：杭州帕兹电子有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33