海宁集成电路与先进制造研究院专利技术

海宁集成电路与先进制造研究院共有37项专利

  • 本申请提供一种芯片外观检测装置、芯片。检测装置包括:芯片装夹部件和第一光学检测器,第一光学检测器设置在芯片装夹部件的一侧,用于在第一位置对芯片装夹部件上的芯片进行外观检测;芯片装夹部件包括:旋转盘、定位齿和固定架;旋转盘用于传输芯片至与...
  • 本申请设计了一种光学镜片用二维角度微调机构。该微调机构包括:第二镜框嵌套于第一镜框内,第一固定件沿第一方向贯穿第一镜框远离地面的一侧面,与第二镜框靠近第一镜框的上表面的一面可拆卸式连接;外框的截面形状为凵字形,外框相对的两侧面分别通过第...
  • 本申请提供一种直线光源自由度调整装置及方法,所述装置包括:用于容纳直线光源的安装结构、连接于所述安装结构的X轴第一移动机构、Y轴第一移动机构、第一平面旋转机构、X轴第二移动机构以及Y轴第二移动机构,所述X轴第一移动机构和所述Y轴第一移动...
  • 本申请提供一种机械手固定调整台,包括:固定台主体;固定板,设置在所述固定台主体顶部,远离所述固定台主体的一侧固定连接有机械手,所述固定板的第一侧和第二侧均设有第一固定结构,用于限制所述固定板相对于所述固定台主体在水平方向的位移;固定盒,...
  • 本申请提供了芯片外观检测装置,通过图像采集机构对待检测芯片的外观进行检测,避免人工检测导致的检测结果波动,提高检测结果的准确性。并且,通过转盘机构进行旋转,切换图像采集机构朝向的夹持机构,对待检测芯片进行连续检测,提高检测效率。
  • 本申请提供了芯片外观检测装置及方法,通过图像采集机构对待检测芯片的外观进行检测,避免人工检测导致的检测结果波动,提高检测结果的准确性
  • 本申请提供一种角度测量系统,与旋转轴配合使用,其包括:光斑位置检测器件
  • 本申请提供一种芯片外观检测装置
  • 本申请提供一种激光跟踪仪标定装置,包括:沿第一方向滑动连接的第一安装台和第二安装台,第一安装台和第二安装台沿第一方向滑动连接;第一安装台上沿所述第一方向依次设有激光跟踪仪、干涉仪、第一安装架和第二安装架,第一安装架和第二安装架均与第一安...
  • 本申请提供一种布匹瑕疵检测设备,包括:基座,基座的第一端和第二端均相对设有支架,第一端的支架之间转动设有传输布匹的第一辊,第二端的支架之间转动设有用于收卷布匹的第二辊;限位板,分别可调节设置在第一辊和第二辊上,用于限制布匹在第一辊和第二...
  • 本申请提供一种机械手固定调整台,包括:固定台主体;固定板,设置在所述固定台主体顶部,远离所述固定台主体的一侧固定连接有机械手,所述固定板的第一侧和第二侧均设有第一固定结构,用于限制所述固定板相对于所述固定台主体在水平方向的位移;固定盒,...
  • 本申请提供一种半导体晶圆翻转装置及系统,装置包括主体;旋转夹持机构,与主体滑动连接,能够沿第一方向往复移动;旋转夹持机构包括能够绕第一轴线旋转的翻转块,第一轴线沿与第一方向相互垂直的第二方向延伸;翻转块沿第二方向的一端安装有夹爪,夹爪包...
  • 本申请提供一种激光跟踪仪坐标定位辅助装置,用以辅助激光跟踪仪在打点区域内确定打点点位,包括:壳体,位于所述打点区域的上方,其底部设有朝向所述打点区域的开口;伸缩机构,位于所述壳体内,包括多个一一对应连接设置的伸缩结构和座瓣,多个所述座瓣...
  • 本申请提供了一种定位台,通过夹持机构将待定位电路板推动至机械手臂进行拾取的位置,机械手臂不需要再根据电路板的位置进行微调,减少通过机械手臂进行转移耗费的时间。并且,对于不同类型的电路板,只需要调节夹持机构的推动距离,即可将不同的电路板推...
  • 本申请提供一种激光跟踪仪标定装置及方法,包括:沿第一方向滑动连接的第一安装台和第二安装台,第一安装台和第二安装台沿第一方向滑动连接;第一安装台上沿所述第一方向依次设有激光跟踪仪、干涉仪、第一安装架和第二安装架,第一安装架和第二安装架均与...
  • 本申请提供一种半导体器件的表面缺陷检测装置,包括:底座;检测组件,安装在底座上;光源组件,安装在底座上,位于半导体器件与检测组件之间,包括朝向半导体器件设置的第一发光板,第一发光板上设有与半导体器件相对的第一通孔;第一发光板远离半导体器...
  • 本实用新型提供一种光电器件的测试装置,用于对光电器件进行测试,包括安装板和固定在安装板上用于测试光电器件的检测机构;检测机构包括与安装板连接的正极端和负极端;负极端连接有用于插接光电器件的插座和发光元器件,插座和发光元器件固定在安装板上...
  • 本申请提供一种布匹瑕疵检测设备,包括:基座,基座的第一端和第二端均相对设有支架,第一端的支架之间转动设有传输布匹的第一辊,第二端的支架之间转动设有用于收卷布匹的第二辊;限位板,分别可调节设置在第一辊和第二辊上,用于限制布匹在第一辊和第二...
  • 本实用新型提供了一种布匹瑕疵识别装置,该装置包括:第一传输辊组,包括第一传输辊和第二传输辊,用于沿第一传输辊向第二传输辊传输布匹;压板装置,被配置为给传输的布匹不同的压力以增加布匹的张力;弹性体,设置在传输的布匹的下方,用于对布匹进行承...
  • 本申请提供了一种定位台,通过夹持机构将待定位电路板推动至机械手臂进行拾取的位置,机械手臂不需要再根据电路板的位置进行微调,减少通过机械手臂进行转移耗费的时间。并且,对于不同类型的电路板,只需要调节夹持机构的推动距离,即可将不同的电路板推...