本发明涉及用于铜或铜合金的蚀刻溶液。更具体而言，本发明提供了一种用于从微电子装置选择性蚀刻铜或铜合金的溶液，其中所述装置同时包括铜或铜合金和含镍材料，所述溶液是用于铜或铜合金的蚀刻溶液，其包含在分子中具有酸基团的螯合剂、过氧化氢和在分子...

本发明公开了用于等离子体组件的表面涂层，所述表面涂层的益处是针对侵蚀性(例如，基于氟的)等离子体环境中的化学和等离子体物理侵蚀的稳固性。与其他已知的表面处理相比，所述涂层还提供用于活性氧、氮、氟和氢物种的低等离子体表面复合速率。所述涂层...

本实用新型公开了一种可构造的清洁晶片运输装置。容器包括具有开口侧或底部的壳体部、密封关闭开口侧或底部的门。门和容器部分中的一个包括形成在壳体中以提供从晶片运输装置的内部到外部区域的流体通路的开口。开口可以包括限定流体通路的模块容纳结构。...

描述了一种设备，包括反应区，用于反应物气体与反应性固体在有效形成中间产物的条件下接触，和开口，用于使气体试剂未反应部分和中间产物离开反应区。本设备可有利地用于形成作为中间产物与反应物气体的反应产物的最终产物。反应物气体与反应性固体的反应...

生成和包装磷化氢气体的系统和方法，其中所述方法包括：使水与磷化铝反应以生成磷化氢，并使磷化氢以低于爆炸下限的磷化氢浓度提供在气体混合物中；从气体混合物中吸附移出磷化氢；以及将移出的磷化氢包装在流体存储和分配容器中。

描述了用于流体的远程传送的流体存储和分配系统及方法，以用于将流体从处于较低电压的源容器提供至处于较高电压的一个或多个流体利用工具，使得流体跨越相关联的电压隙而无电弧、放电、过早离子化或其他异常行为，并且使得当由远程源容器供应多个流体利用...

描述了用于掺杂物的注入的离子注入组合物、系统和方法。描述了具体的硒掺杂源组合物，以及并流气体用以实现在注入系统特征方面的优势的用途，所述注入系统特征为例如方法转变、束稳定性、源寿命、束均匀性、束流和购置成本。

公开了同位素富集的硅前体组合物，相对于缺乏该同位素富集的硅前体组合物的相应离子注入，其用在离子注入中以提高离子注入系统性能。该硅掺杂组合物包括至少一种硅化合物，并且可包括含有同种气体和稀释气体中至少一种的补充气体，所述至少一种硅化合物以...

本发明描述了用组成气体来填装气体混合物供应容器以得到精确组成的气体混合物的方法，其中所述气体混合物包含至少两种组成气体。可以采用级联填装技术，包括使气体从单个源容器流至多个目标容器，或从多个源容器流至单个目标容器。所述方法可用以形成用于...

用于确定流体供应容器的终点的装置和方法，其中当建立流体流动时采用一个静态流动限制设备和一个选择性可致动阀元件，控制流体流动通过位于所述流体供应容器的内部容积中的流动通道。终点确定可用于终止来自所述流体供应容器的流体供应和/或从一个流体耗...

描述了一种光电检查系统，可用于流体分配阀的质量保证测定，所述流体分配阀如被安装在流体存储和分配容器上，以及描述了相关联的方法和非暂态计算机可读介质，所述非暂态计算机可读介质存储用于这样的质量保证测定的机器可执行指令。所述光电检查适用于流...

本发明的气体净化过滤器单元(10)包含：去除由臭氧产生装置产生的臭氧所含的杂质中的气体成分的杂质的第一去除部(11)、及配置在该第一去除部的后段且自去除了气体成分的杂质中进而去除固体微粒子的杂质的第二去除部(12)。通过自所述气体净化过...

本发明涉及具有加强特征的净化匣。一个实施例涉及一种具有张力部件的净化匣。净化系统可包含界定介质腔的可移除式匣。一组张力部件可跨越在第一侧壁与第二侧壁之间。所述组张力部件可将所述介质腔分为多个腔道。

本发明涉及使用用于净化包含例如用于半导体制造的液体的可移除式净化器匣的模块化净化系统。净化系统可包含可移除式净化器匣，其具有净化器入口端口及净化器出口端口；及歧管组合件。所述歧管组合件可包含多个连接系统以提供歧管端口以提供流体往返于所述...

本发明涉及用于流体连接的连接系统。甚至更特定地说，一些实施例涉及搭配半导体制造流体使用的流体连接。所述连接系统使用连接螺母(110)，通过利用所述螺母(110)中的多头螺纹，连接螺母(110)旋转小于360度即可密封流体接头(112、1...

一种流体供给封装包，包括：一个压力调节流体贮存和分配容器，一个阀头，适于分配来自该容器的流体，以及一个抗压力尖峰组件，适于对抗在流体分配的初期来自所述阀头的流体的流动中的压力尖峰。

一种用于分配超高纯度的化学试剂的供给器皿，包括限定了能封闭的内部容积的金属容器，所述金属容器包括内部表面结构，其中所述内部表面结构被涂覆有超高纯度的有效聚全氟烷氧基乙烯涂层。这样的供给器皿例如可被利用于储存超高纯度的化学试剂，并且用于将...

本发明揭示微孔膜复合体。这些微孔膜复合体经甲醇与水的溶液润湿且在水中经受高压釜处理后具有非去湿性。所述微孔膜复合体包括微孔膜载体，所述微孔膜载体在表面和孔上包括涂层，所述涂层包括具有酸性亲水性基团的非晶形离聚物，所述微孔膜复合体在水中经...

本发明涉及用于过滤液体的模块化过滤卡匣，例如，所述液体包含用于半导体制造中的液体。过滤器壳体可界定滤腔，其包括上游部分及下游部分。所述过滤器可进一步包括设置于所述滤腔中的过滤元件。所述过滤元件可至少部分覆盖所述过滤元件的第一侧上的过滤器...

本发明涉及一种模块化过滤系统，其使用可移除过滤器卡匣来过滤包含(例如)用于半导体制造中的液体的液体。过滤系统可包含：可移除过滤器卡匣，其具有过滤器入口端口及过滤器出口端口；过滤器卡匣固持器，其经配置以接纳及保持所述过滤器卡匣；及主组合件...