模块化过滤系统技术方案

本发明专利技术涉及一种模块化过滤系统，其使用可移除过滤器卡匣来过滤包含(例如)用于半导体制造中的液体的液体。过滤系统可包含：可移除过滤器卡匣，其具有过滤器入口端口及过滤器出口端口；过滤器卡匣固持器，其经配置以接纳及保持所述过滤器卡匣；及主组合件。所述主组合件可进一步包括经配置以接纳所述过滤器入口端口的过滤器入口界面端口及经配置以接纳所述过滤器出口端口的过滤器出口界面端口，且可界定流径以引导进出所述过滤器卡匣的流动。所述过滤器卡匣固持器可移动地耦合到所述主组合件，使得所述过滤器卡匣可相对于所述主组合件从未配接位置移动到配接位置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】本专利技术涉及一种模块化过滤系统，其使用可移除过滤器卡匣来过滤包含(例如)用于半导体制造中的液体的液体。过滤系统可包含：可移除过滤器卡匣，其具有过滤器入口端口及过滤器出口端口；过滤器卡匣固持器，其经配置以接纳及保持所述过滤器卡匣；及主组合件。所述主组合件可进一步包括经配置以接纳所述过滤器入口端口的过滤器入口界面端口及经配置以接纳所述过滤器出口端口的过滤器出口界面端口，且可界定流径以引导进出所述过滤器卡匣的流动。所述过滤器卡匣固持器可移动地耦合到所述主组合件，使得所述过滤器卡匣可相对于所述主组合件从未配接位置移动到配接位置。【专利说明】模块化过滤系统相关申请案本申请案主张2011年10月3日申请的名称为“Modular Filtration System(模块化过滤系统)”的第61/542，645号美国临时专利申请案及2012年3月21日申请的名称为“Modular Filtration System(模块化过滤系统)”的第61/613，886号美国临时专利申请案的权益，兹以引用方式将所述两个申请案全文并入本文。
本专利技术涉及过滤系统。更特定来说，本文所述的实施例涉及模块化过滤系统。甚至更特定来说，本文所述的实施例涉及用于过滤半导体制造流体的模块化过滤系统。
技术介绍
半导体制造过程对污染高度敏感，这是因为即使半导体晶片上沉积细小颗粒，也可导致缺陷。因此，通常采用具有用于移除次微米颗粒的薄膜的超洁净过滤器。虽然已开发不同过滤模块来过滤半导体制造液体，但许多现有过滤器模块呈圆柱形，其具有含单件式圆柱形钵状物或套管(其中驻留过滤薄膜)的壳体。这些过滤器通常含有环绕中空芯体的圆形褶皱过滤薄膜。流体从顶部进入过滤器模块以流动于过滤薄膜与壳体之间、穿过过滤薄膜而到中空芯体且从顶部离开模块。现有圆柱形过滤器模块存在若干缺点。一个缺点在于:圆形褶皱薄膜过度限制流体流动，这是因为薄膜必须朝向中心更紧密地聚拢以实现圆形配置。另一缺点在于:圆柱形壳体模制或挤出为单件从而难以或无法添加垂直于圆柱体的轴而延伸的几何结构。此外，许多现有过滤器模块难以安装及更换。由于用于半导体制造中的许多液体具腐蚀性或毒性，所以工作人员在更换过滤器模块时会有危险。采用圆柱形过滤器的当前过滤系统具有受限可配置性。在许多情况中，过滤器通过多个单元而连接成固定配置从而难以视需要将通过所述过滤器的流动从串行改为并行。另外，许多过滤系统仅使用单一类型的过滤器从而限制不同用途或颗粒尺寸的不同过滤器应用于单一过滤系统中的能力。
技术实现思路
本专利技术涉及过滤系统及过滤器。特定实施例提供用于过滤半导体制造液体的过滤系统及过滤器。根据一个实施例，用于过滤液体的过滤系统可包括:非圆柱形的可移除过滤器卡匣，其具有过滤器入口端口及过滤器出口端口 ；过滤器卡匣固持器，其经配置以接纳及保持所述过滤器卡匣；及主组合件。所述主组合件可进一步包括经配置以接纳所述过滤器入口端口的过滤器入口界面端口及经配置以接纳所述过滤器出口端口的过滤器出口界面端口，且可界定流径以引导进出所述过滤器卡匣的流动。所述过滤器卡匣固持器可移动地耦合到所述主组合件，使得所述过滤器卡匣可相对于所述主组合件而从未配接位置移动到配接位置。过滤系统可进一步包含一组过滤器卡匣接纳区侧壁，其至少部分界定在第一端处敞开以接纳过滤器卡匣的过滤器卡匣接纳区。所述接纳区侧壁可经间隔以邻接及支撑过滤器卡匣侧壁。因此，需要更少材料来制造一次性过滤器。所述过滤器卡匣接纳区及过滤器卡匣可带有键槽，使得过滤器卡匣具有相对于所述卡匣接纳区的适当定向。根据一个实施例，卡匣固持器进一步包括界定所述过滤器卡匣接纳区的护套。所述护套可与过滤器卡匣的大部分重叠且允许过滤器卡匣通过线性运动而插入到所述护套中。所述护套可旋转地耦合到主组合件，使得过滤器卡匣可从未配接位置旋转到配接位置。在未配接位置中，过滤器卡匣可向下倾斜远离过滤器入口端口。根据另一实施例，可由过滤器隔间组合件界定所述过滤器卡匣接纳区。布置于所述过滤器隔间中的过滤器卡匣固持器可耦合到升降机且可使过滤器卡匣通过线性垂直运动而从配接位置移动到未配接位置。根据一个实施例，主组合件进一步包括在过滤器卡匣固持器下方延伸的基座部分，所述基座部分耦合到过滤器入口界面端口。主组合件可进一步包含悬挂于过滤器卡匣固持器上的支撑臂，所述支撑臂耦合到过滤器出口界面端口。主组合件可进一步包括界定第一轨道及第二轨道的引导部件。护套可包括布置于所述第一轨道中的护套引导销且所述支撑臂可包括布置于所述第二轨道中的支撑臂引导销。所述第一及第二轨道可经塑形，使得所述引导部件从第一引导部件位置到第二引导部件位置的旋转导致过滤器入口端口在过滤器出口界面端口与过滤器出口端口配接之前与过滤器入口界面端口配接。另一实施例可包含用于过滤液体的过滤系统，其包括:一组非圆柱形的可移除过滤器卡匣，其具有过滤器入口端口及过滤器出口端口 ；一组过滤器卡匣固持器，其经配置以将所述过滤器卡匣组接纳及保持于一组过滤器卡匣接纳区中；及主组合件，其进一步包括经配置以接纳所述过滤器入口端口的过滤器入口界面端口，及过滤器出口界面端口。所述主组合件可界定流径以将流动物引导到所述过滤器卡匣及从所述过滤器卡匣引导流动物。每一过滤器卡匣固持器可移动地耦合到所述主组合件，使得对应过滤器卡匣可相对于所述主组合件而从未配接位置独立移动到配接位置。根据一个实施例，所述过滤器卡匣固持器可布置成一行。因此，用于过滤液体的过滤系统的一个实施例可例如包括:第一非圆柱形的可移除过滤器卡匣，其具有过滤器入口端口及过滤器出口端口 ；及第二非圆柱形的可移除过滤器卡匣，其具有过滤器入口端口及过滤器出口端口。所述过滤系统可进一步包含:第一过滤器卡匣固持器，其经配置以接纳及保持所述第一过滤器卡匣；及第二过滤器卡匣固持器，其经配置以接纳及保持所述第二过滤器卡匣。所述过滤系统可进一步包含主组合件。所述主组合件可进一步包括:过滤器入口界面端口，其经配置以接纳所述过滤器入口端口 ；及过滤器出口界面端口，其经配置以接纳所述过滤器出口端口。所述主组合件可界定流径以将流动物引导到所述第一过滤器卡匣及第二过滤器卡匣及从所述第一过滤器卡匣及第二过滤器卡匣引导流动物。根据一个实施例，所述第一过滤器卡匣固持器可移动地耦合到所述主组合件，使得所述第一过滤器卡匣可相对于所述主组合件而从未配接位置移动到配接位置。所述第二过滤器卡匣固持器可移动地耦合到所述主组合件，使得所述第二过滤器卡匣可相对于所述主组合件而从未配接位置移动到配接位置。所述第一及第二卡匣固持器可一起或独立地移动。每一过滤器卡匣固持器可进一步包括界定对应过滤器卡匣接纳区的护套。因此，例如，第一过滤器卡匣固持器可为界定第一过滤器卡匣接纳区的第一护套且第二过滤器卡匣固持器可为界定第二过滤器卡匣接纳区的第二护套。根据一个实施例，每一护套可旋转地耦合到主组合件，使得对应过滤器卡匣可从未配接位置旋转到配接位置。当对应过滤器卡匣处于未配接位置时，对应过滤器卡匣可向下倾斜远离过滤器入口端口。在另一实施例中，一组过滤器隔间可界定过滤器卡匣接纳区(例如，第一过滤器隔间组合件可界定第一过滤器卡匣接纳区且第二过滤器隔间组合件可界定第二过滤器卡匣接纳区)。过滤本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于过滤液体的过滤系统，其包括：非圆柱形的可移除过滤器卡匣，其具有过滤器入口端口及过滤器出口端口；过滤器卡匣固持器，其经配置以接纳及保持所述过滤器卡匣；及主组合件，其进一步包括经配置以接纳所述过滤器入口端口的过滤器入口界面端口及经配置以接纳所述过滤器出口端口的过滤器出口界面端口且界定流径以引导进出所述过滤器卡匣的流动；及其中所述过滤器卡匣固持器可移动地耦合到所述主组合件，使得所述过滤器卡匣可相对于所述主组合件从未配接位置移动到配接位置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：约翰·P·普利亚，路易斯·小巴罗斯，克里斯托弗·约翰·洛，本·迈白·李，马克·拉凡迪尔，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：发明
国别省市：美国;US