一种用于分配超高纯度的化学试剂的供给器皿，包括限定了能封闭的内部容积的金属容器，所述金属容器包括内部表面结构，其中所述内部表面结构被涂覆有超高纯度的有效聚全氟烷氧基乙烯涂层。这样的供给器皿例如可被利用于储存超高纯度的化学试剂，并且用于将超高纯度的化学试剂分配至半导体制造工具或用于制造平板显示器或太阳能板的工具。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利说明】液体试剂的超高纯度储存和分配相关申请的相互参引根据USC第35篇第119条，本文要求以Donn K.Naito等人的名义于2012年8月9日提交的美国临时专利申请N0.61/681，510“ULTRA-HIGH PURITY STORAGE AND DISPENSINGOF LIQUID REAGENTS”的权益。出于所有目的，美国临时专利申请N0.61/681，510的公开内容在此以全文引用的方式被纳入本文。
本公开内容涉及用于超高纯度的试剂的储存和分配的供给器皿，所述供给器皿例如在半导体产品的制造中使用。
技术介绍
在半导体产品的制造中所使用的超高纯度的试剂的供给中，已经研发了多种源器皿(source vessel)。随着微电子器件的特征和尺寸已经逐步减小至纳米级范围，在这样的器件的制作(例如，在掺杂、气相沉淀、掩模、蚀刻、清洁，以及其他操作)中所使用的试剂已经相应地被要求具有越来越高的纯度。从百万分之一浓度的杂质，到十亿分之几浓度，到兆分之几浓度，化学试剂的纯度要求的这种改变，已经相应地要求源器皿能够被注入这样的化学试剂而不降低化学试剂的超高纯度。
技术实现思路
本公开内容涉及用于储存和分配超高纯度的试剂的供给器皿。一方面，本公开内容涉及用于分配超高纯度的化学试剂的供给器皿，包括:限定了能封闭的内部容积的金属容器，所述金属容器包括内部表面结构，其中该内部表面结构被涂覆有超高纯度的有效聚全氟烧氧基乙稀(polyperfIuoroalkoxyethylene)涂层。从随后的公开内容和所附的权利要求，本专利技术的其他方面、特点和实施方案将会更完全地显现。【附图说明】图1是根据本公开内容的一个实施方案的供给器皿的立体图。图2是图1的供给器皿的立面横截面图，示出了供给器皿的结构的细节。【具体实施方式】本专利技术涉及用于超高纯度的化学试剂的储存和分配的供给器皿，例如用于诸如半导体加工、太阳能电池制作、平板显示器制造、纳米材料合成等应用。如本文所使用的，术语“超高纯度的有效聚全氟烷氧基乙烯涂层”指的是这样一种涂层，该涂层在存在于安瓿的内部金属表面结构上时，有效地将填充所述安瓿且最初包含小于50ppt的金属的去离子水在储存于安瓿中之后，在30°C维持小于50ppt的金属浓度达40小时的时段。图1是根据本公开内容的一个实施方案的供给器皿10的立体图。如所例示，用于分配超高纯度的化学试剂的供给器皿10包括限定了能封闭的内部容积的金属容器12。该容器包括限定了容器的底板的凸缘基底构件14。盖16通过机械紧固件18 (例如，螺栓和螺母组件)而被固定至该容器。该盖包括分隔开的入口端口和出口端口，所述入口端口和出口端口与流动回路相关联，用于将超高纯度的化学试剂引入至器皿，以及用于从器皿分配超高纯度的化学试剂。该入口端口以及相关联的流动回路还可被用于容器中超高纯度的化学试剂流体的压力介导(pressure-mediated)分配，例如，通过引入惰性气体以在器皿内的流体上施加压力，从而影响用于超高纯度的化学试剂的分配操作。图2是图1的供给器皿的立面横截面图，示出了供给器皿的结构的细节。用于图1的相应结构元件的附图标记在图2中相应地示出为由相同的附图标记标识。如图2的横截面立面图所示，供给器皿10包括金属容器12，所述金属容器12具有限定其底板的凸缘基底构件14，以构成通过盖16而被关闭的、能封闭的内部容积，所述盖16通过机械紧固件18而被固定至容器12。所述供给器皿的盖包括入口结构，该入口结构包括与入口端口 22流体流动连通的入口导管20，用于将超高纯度的化学试剂引入至容器的内部容积24，且接下来，可选地，用于引入加压气体以对包含在该内部容积中的进行介导压力分配。供给器皿的盖还包括排放导管26，所述排放导管26在其下部端部处开口以允许来自该器皿的流体通过这样的导管流出。所述排放导管朝上延伸穿过盖16中的排放端口，并且被联接至排放流动回路28，该排放流动回路28通过适当的配件被联接至该排放导管。该排放导管26在其下部部分处可具有与之相关联的液位传感器30，该液位传感器30可被布置用于在内部容积24中的流体注入已降下降至预定的下限时产生指示容器中的空状态的开始的信号。本公开内容考虑了顶部开口容器，以及配备有盖、帽、罩或类似物的容器。根据本公开内容，供给器皿的能封闭的内部容积中的内部表面结构被涂覆有超高纯度的有效聚全氟烷氧基乙烯(PFA)涂层。所述PFA涂层包括界定器皿的内部容积24的侧壁、底板和盖表面上的PFA涂层层32，以及排放导管26和液位传感器30的外侧表面上的PFA涂层层36。以这样的方式，供给器皿的内部表面结构被涂覆有PFA涂层。供给器皿的内部表面结构上的PFA涂层的厚度可以是任何合适的厚度，所述合适的厚度有效地提供并且保存储存在该器皿中的化学试剂以及从该器皿分配的化学试剂的超高纯度特性。在一些实施方案中，器皿的内部表面结构上的PFA涂层能具有从2.5至12密尔(63.5ym到304.8 ym)范围的厚度。在其他实施方案中，可采用更厚的PFA涂层，例如从15至50密尔(381ym到1270 μm)范围。PFA涂层可以任何合适的方式被施加至供给器皿的最终内部表面结构，例如被施加在盖的下侧、容器的侧壁和底板上，以及排放导管、浮子传感器和其他内部表面结构元件的外部表面上。在一个实施方案中，PFA涂层通过对这样的表面结构的粉末涂覆而被施加。用于涂覆的其他施加方法可被采用，前提是施加至器皿的内部表面的PFA涂层是在如上文所提出的“超高纯度有效聚全氟烷氧基乙烯涂层”这样的术语的意义内。尽管先前已有提议将PFA树脂用在挤压成型的容器和管中以用于水和化学约当前第1页1 2 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于分配超高纯度的化学试剂的供给器皿，包括：限定了能封闭的内部容积的金属容器，所述金属容器包括内部表面结构，其中所述内部表面结构被涂覆有超高纯度的有效聚全氟烷氧基乙烯涂层。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：D·K·奈托，A·科瑞尔，M·W·麦克费伦，S·杰克逊，J·罗比森，
申请(专利权)人：恩特格里斯公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。