东和株式会社专利技术

东和株式会社共有412项专利

  • 本发明的对使用半导体制造装置的制造进行支援的制造支援系统包括:保持部,配置于评估主体,保持用于确定由使用主体使用或预定使用的半导体制造装置的信息、及用于确定由所述半导体制造装置执行的制造工艺的信息;评估部,配置于评估主体,基于用于确定由...
  • 本发明提供一种能够提高通用性的树脂成形装置及树脂成形品的制造方法。树脂成形装置包括:成形模,包括上模及与所述上模相向的下模,对基板进行树脂成形;合模机构,将所述成形模合模;以及无用树脂去除机构,将形成于树脂成形完毕基板的无用树脂去除,所...
  • 本发明提供一种能够实现装置的结构的简化的树脂成形装置及树脂成形品的制造方法。树脂成形装置包括:成形模,包括上模及与所述上模相向的下模,对基板进行树脂成形;合模机构,将所述成形模合模;以及无用树脂去除机构,将形成于树脂成形完毕基板的无用树...
  • 本发明提供一种能够提高通用性的树脂成形装置及树脂成形品的制造方法。所述树脂成形装置包括:树脂收容部,在沿第一方向移动的同时收容多个小片状树脂;树脂落下机构,沿与所述第一方向交叉的第二方向移动,能够通过旋转动作使所收容的多个所述小片状树脂...
  • 本发明不需要使加工工作台移动的移动机构且不需要波纹罩等保护罩,且包括:加工工作台2A、加工工作台2B,对加工对象物W加以保持;加工机构3,一面使用加工液一面利用旋转工具30对加工对象物W进行加工;以及移动机构5,使加工机构3至少分别在水...
  • 本发明不需要波纹罩等保护罩并且提高加工屑的回收率,且包括:加工工作台2A、加工工作台2B,至少固定于水平面上的XY方向上,对加工对象物W加以保持;加工机构3,一面使用加工液一面利用旋转工具30对加工对象物W进行加工;移动机构5,使加工机...
  • 本发明的目的是提供一种即使在将芯片经临时固定片临时固定在载体上的状态下进行树脂成型,也可以降低发生成型不良的树脂成型品的制造方法。本发明的树脂成型品的制造方法是通过传递成型,对将芯片(21)经临时固定片(12)临时固定在载体(11)上的...
  • 本发明提供一种提高了成型精度的成型模、树脂成型装置以及树脂成型品的制造方法。成型模具备成型模主体(M),该成型模主体(M)保持在基板(11)的中央区域配置有芯片(13)的成型对象物(Sa)、具有被供给树脂材料的俯视呈矩形的型腔(MC),...
  • 本发明提供一种树脂供给方法、树脂成形品的制造方法及树脂成形装置,其中树脂供给方法能够通过适当地更换料盒来适当地进行树脂供给。一种树脂供给方法,包括:第一次树脂供给步骤,将余量小于向供给对象供给一次树脂所需的目标供给量的、收容于第一料盒中...
  • 本发明提供一种可适当地吸附保持弯曲的封装基板并进行切断的切断装置及切断品的制造方法。一种切断装置,将经树脂成形的封装基板切断成多个半导体封装,且包括:切断台,包括吸附保持所述封装基板的保持构件;以及切断机构,将吸附保持于所述保持构件的所...
  • 本发明涉及一种树脂成型装置。其包括:第一成型模具,所述第一成型模具设有第一构件和被配置为相对于第一构件移动的第二构件,并且所述第一成型模具被配置为由所述第一构件和所述第二构件形成型腔;第二成型模具,所述第二成型模具被配置为保持基板;掩模...
  • 本申请涉及一种树脂成型装置和树脂成型品的制造方法。树脂成型装置(D)具备:树脂供给机构(2A),包括向供给对象物(F)排出液态树脂(R)的喷嘴(23b);树脂回收单元(2B),具有承接从喷嘴(23b)滴落的液态树脂(R)的树脂承接构件(...
  • 本发明的课题是提供一种不使用脱模膜便可防止树脂泄漏的树脂泄漏防止用部件。解决方法是一种树脂泄漏防止用部件401,是用于压缩成型用的成型模1000的树脂泄漏防止用部件401,其特征在于,成型模1000具有下模200和上模100,下模200...
  • 本发明的树脂成形装置及树脂成形品的制造方法可稳定地回收不需要的树脂并且使传递机构的结构简单,且包括:上模,形成有模腔;下模,与上模相向,并载置成形对象物;合模机构,将上模与下模合模;槽块,设置于下模,形成有收容树脂材料的多个槽,且包括在...
  • 本发明的成形模、树脂成形装置及树脂成形品的制造方法不需要用以剥离不需要的树脂的顶出销以简化成形模的结构,且是包括相互相向地配置的上模(2)与下模(3)的成形模,在上模(2)形成有供树脂材料(J)注入的模腔(2a),在下模(3)设置有向模...
  • 本发明的树脂成形装置及树脂成形品的制造方法高精度地求出槽与柱塞之间的摩擦力,且是利用柱塞(421)将收容于槽(41a)中的树脂材料(J)挤出并注入至模腔(2a)的树脂成形装置(100),且包括运算部(71),所述运算部(71)基于在使柱...
  • 本发明的树脂成形装置及树脂成形品的制造方法稳定地回收槽块上的不需要的树脂。本发明包括:合模机构,将上模与下模合模;槽块,设置于下模,形成有收容树脂材料的槽,且包括在下模的模面上伸出的伸出部;传递机构,包括设置于槽内的柱塞,且在上模与下模...
  • 本发明的树脂成形装置及树脂成形品的制造方法在不会导致成形模的大型化或不需要的树脂的大型化的情况下,可靠地进行树脂成形品与不需要的树脂的分离,且树脂成形装置包括:上模,形成有模腔;下模,与上模相向,且设置有向模腔注入树脂材料的树脂注入部;...
  • 本发明涉及检查装置、树脂成型设备和树脂成型产品的制造方法。一种检查装置包括:第一光源,被配置成通过漫射板发光;第二光源,被配置成通过聚焦光学组件发光;以及相机,被配置成拍摄用来自第一光源和第二光源的光照射的树脂成型基板的图像。树脂成型基...
  • 本发明提供一种能够抑制与树脂填充相关的不良状况的发生的树脂成形装置及树脂成形品的制造方法。本发明包括:成形模,形成模腔;槽,设置于所述成形模,能够收容树脂材料,且形成有相对于所述模腔直接开口的开口部;以及柱塞,设置成能够在所述槽内滑动,...