本技术公开了一种防震型射频传输装置，包括安装板，所述安装板的顶部固定连接有保护壳，所述保护壳的内部一侧固定连接有射频收发模块，所述保护壳的内壁另一侧固定连接有震动传感器，所述震动传感器的下方设置有控制单元，所述震动传感器与控制单元电连接...

本技术公开了一种用于晶圆气相沉积的装置，包括抓取机构、三个沉积机构以及三个连接机构；三个沉积机构沿抓取机构周向设置，并分别通过连接机构连接在抓取机构的外侧；抓取机构包括具有操作腔的外壳和设于外壳内的机械手；沉积机构包括具有沉积腔的壳体和...

本技术公开了一种应用在PECVD上的多支路分配装置，包括第一高频汇流板、低频输入板和多个分配支路，每个分配支路设有顺序相连的低频滤波机构、谐振组合机构和输出机构；所述低频输入板位于第一高频汇流板上方，所述第一高频汇流板与高频输入端子相连...

本技术公开了一种晶圆起升结构，与机械手配合完成晶圆在反应腔内的工位上的取放，起升结构包括：顶针部件和驱动部件；顶针部件位于反应腔内，驱动部件带动顶针部件升降；驱动部件包括：安装壳体、伺服电机、联轴器、螺母、丝杠及推杆组件；安装壳体为竖直...

本技术公开了一种具有起升结构的双工位，用于晶圆的搬运，双工位包括：壳体、工位、起升结构、机械手及末端执行器组件；工位为两个，两个工位沿水平方向并排固设在壳体内；末端执行器组件包括：连接板和两个叉式末端执行器；两个叉式末端执行器水平固定在...

本发明涉及FFU控制系统技术领域，具体提供了一种新的FFU独立控制系统，该系统集成了自主学习、安全监控和多通道控制，通过自主学习技术，系统能够根据环境和设备工作表现，自动调整参数和优化控制策略，提高控制性能，安全监控功能模块能够实时监测...

本技术公开了一种旋转定位装置，其包括：包括法兰座、弹簧销定位组件、旋转体、所述旋转体能够相对于所述法兰座转动；所述弹簧销定位组件设在所述旋转体上，所述弹簧销定位组件包括定位销和弹性体，所述定位销固定连接于所述弹性体上部，所述定位销的端部...

本技术公开了一种气相沉积设备使用的主轴升降旋转装置，其包括主轴、主轴连接件、顶升块、丝杠、丝母、旋转体、气动旋转卡盘和电机；所述气动旋转卡盘包括卡爪部，所述电机与所述卡爪部转动连接，所述卡爪部包括卡爪，所述卡爪之间形成夹持空间，所述丝杆...

本发明公开了一种薄膜气相沉积加热装置，包括沉积腔和旋转装置；旋转装置包括：设在沉积腔下方的基座

本发明公开了具有四通道射频电源分配器，包括四个支路，每个支路具有高频汇流单元

本实用新型涉及一种用于半导体设备的搬运架，属于沉积覆膜设备技术领域

本发明公开了一种大气机械臂

本发明公开了工艺腔室独立调度方法，包括：将晶圆盒进行地图扫描，得到晶圆盒内存在的晶圆片数

本发明公开了不依赖于任务传递的晶圆传输方法，包括：将晶圆盒进行地图扫描，得到晶圆盒内存在的晶圆片数

本发明公开了一种晶圆工艺位置校正系统及方法，其系统包括设置在cassette传输腔体入口处的第一对对射传感器、第二对对射传感器和第三对对射传感器，每对对射传感器均包括位于cassette传输腔体顶部的上对射传感器和位于cassette传...

本发明公开了一种

本实用新型公开了一种晶圆载板升降旋转装置，包括密封组件、旋转机构和Z向升降机构，所述密封组件包括用于实现Z向密封的波纹管组件和用于实现旋转密封的磁流体真空密封空心轴，所述磁流体真空密封空心轴套接在主轴上部且位于波纹管组件与主轴之间，所述...

本发明公开了一种智能传送腔取放片调度系统与方法，其系统包括多个Loadlock、第一真空机械臂、第二真空机械臂、Transfer存储平台、大气机械臂，所述大气机械臂一侧为多个晶圆盒，另一侧两端设有交互位置，每个交互位置上罗列有多个独立设...

本发明公开了一种对晶圆位置进行校准的装置及方法，涉及半导体制造技术领域；其装置包括设置在PM工艺腔体入口处的第一对对射传感器，所述第一对对射传感器包括位于PM工艺腔体顶部的上对射传感器和位于PM工艺腔体底部的下对射传感器，所述上对射传感...

本发明公开了一种具有清洁能力的晶圆传输装置及多站式沉积腔的清洁方法，其中一种具有清洁能力的晶圆传输装置，包括旋转装置和吹扫结构，旋转装置包括晶圆载具、主轴和升降旋转装置，晶圆载具固设于主轴的端部，晶圆载具用于承载多个晶圆，升降旋转装置能...