【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体芯片制造设备，尤其涉及一种晶圆起升结构。
技术介绍
1、在半导体领域，晶圆作为最常用的基材被广泛应用在芯片、集成电路和电子器件的制造上，晶圆整个加工过程中经常需要将晶圆在各个工位之间进行传送，通常会采用机械手输送晶圆，起升结构配合机械手完成晶圆的上下取放，实现自动上下片的功能。
2、由于颗粒落到晶圆表面，会影响晶圆质量，因而半导体加工的整个生产过程对净室内颗粒含量要求十分严格，相应的搬运设备的洁净度要求也很高；设备的体积增大会增加洁净度的控制难度，增加生产成本，因此本领域亟需一种紧凑型的晶圆起升结构，满足搬运设备对于控制设备体积要求的。
技术实现思路
1、本技术提供一种晶圆起升结构，能够满足搬运设备对于控制设备体积要求。
2、为了实现上述目的，本技术的技术方案是：
3、一种晶圆起升结构，与机械手配合完成晶圆在反应腔内的工位上的取放，起升结构包括：顶针部件和驱动部件；顶针部件位于反应腔内，驱动部件能够带动顶针部件升降；驱动部件包括：安装壳体、伺服电机、联轴器、螺母、丝杠及推杆组件；安装壳体为竖直的两端开口的中空腔体，安装壳体竖直固设在反应腔的下方；伺服电机竖直固设在安装壳体的下端，联轴器、丝杠及螺母均设在安装壳体内，伺服电机通过联轴器带动丝杠同步转动，丝杠竖直设置在安装壳体的轴线位置，丝杠与螺母螺旋传动；螺母与推杆组件连接，推杆组件从反应腔的下方穿入其内后与顶针部件相连，螺母带动推杆组件竖向移动，推杆组件带动顶针部件竖向移动。>
4、进一步的，推杆组件包括：推杆座和推杆；推杆座为下端开口的中空腔体，推杆座的下端与螺母固定连接，丝杠伸入推杆座的腔体中，推杆座随螺母竖向移动；推杆与丝杠同轴设置，推杆的一端与推杆座的上端固定连接、另一端穿过反应腔后与顶针部件固定连接。
5、进一步的，驱动部件还包括导向组件；导向组件设置在推杆座与安装壳体的内壁之间，导向组件对推杆组件进行竖向的导向和径向的限位。
6、进一步的，导向组件包括：导轨和滑块；导轨固设在安装壳体的内壁上，导轨的长度方向沿竖直设置；滑块设置在导轨上并沿导轨滑动，滑块与推杆座固定连接。
7、进一步的，顶针部件包括：顶针组件和安装环；顶针组件为三组，三组顶针组件设置在安装环上，三组顶针组件沿安装环的同一圆周方向间隔设置；安装环与推杆组件固定连接，三组顶针组件与推杆组件相离；推杆组件带动安装环竖向移动，安装环带动三组顶针组件竖向移动，使三组顶针组件能够抬升和放下晶圆。
8、进一步的，顶针组件包括：顶针、顶针安装座及连接座；连接座竖直设置在安装环上，连接座与安装环可拆卸连接；连接座为竖直方向的两端开口的中空腔体，顶针安装座的一端位于连接座的腔体内、另一端从连接座的上端口穿出；顶针为细长杆状，顶针竖直设置在顶针安装座上，顶针与顶针安装座可拆卸连接。
9、有益效果：
10、第一、本申请通过将联轴器、螺母及丝杠设置在安装壳体内，并使推杆组件与螺母在安装壳体内连接，充分利用安装壳体内的空间，加强了驱动部件的紧凑性，减少驱动部件占用的空间，实现缩小起升结构的体积，能够满足搬运设备对于控制设备体积要求。
11、第二、本申请通过将伺服电机、丝杠及推杆同轴设置，使力沿轴向传递，有利于提高顶针竖向移动的精度。
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1.一种晶圆起升结构，与机械手配合完成晶圆在反应腔内的工位上的取放，其特征在于，起升结构包括：顶针部件(1)和驱动部件(2)；所述顶针部件(1)位于所述反应腔内，所述驱动部件(2)能够带动所述顶针部件(1)升降；所述驱动部件(2)包括：安装壳体(21)、伺服电机(22)、联轴器(23)、螺母(24)、丝杠(25)及推杆组件(26)；所述安装壳体(21)为竖直的两端开口的中空腔体，所述安装壳体(21)竖直固设在所述反应腔的下方；所述伺服电机(22)竖直固设在所述安装壳体(21)的下端，所述联轴器(23)、所述丝杠(25)及所述螺母(24)均设在所述安装壳体(21)内，所述伺服电机(22)通过所述联轴器(23)带动所述丝杠(25)同步转动，所述丝杠(25)竖直设置在所述安装壳体(21)的轴线位置，所述丝杠(25)与所述螺母(24)螺旋传动；所述螺母(24)与所述推杆组件(26)连接，所述推杆组件(26)从所述反应腔的下方穿入其内后与所述顶针部件(1)相连，所述螺母(24)带动所述推杆组件(26)竖向移动，所述推杆组件(26)带动所述顶针部件(1)竖向移动。
2.根据权利要
3.根据权利要求2所述的一种晶圆起升结构，其特征在于，所述驱动部件(2)还包括导向组件(27)；所述导向组件(27)设置在所述推杆座(261)与所述安装壳体(21)的内壁之间，所述导向组件(27)对所述推杆组件(26)进行竖向的导向和径向的限位。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆起升结构，其特征在于，所述导向组件(27)包括：滑块(271)和导轨(272)；所述导轨(272)固设在所述安装壳体(21)的内壁上，所述导轨(272)的长度方向沿竖直设置；所述滑块(271)设置在所述导轨(272)上并沿所述导轨(272)滑动，所述滑块(271)与所述推杆座(261)固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆起升结构，其特征在于，所述顶针部件(1)包括：顶针组件(11)和安装环(12)；所述顶针组件(11)为三组，三组所述顶针组件(11)设置在所述安装环(12)上，三组所述顶针组件(11)沿所述安装环(12)的同一圆周方向间隔设置；所述安装环(12)与所述推杆组件(26)固定连接，三组所述顶针组件(11)与所述推杆组件(26)相离；所述推杆组件(26)带动所述安装环(12)竖向移动，所述安装环(12)带动三组所述顶针组件(11)竖向移动，使三组所述顶针组件(11)能够抬升和放下所述晶圆。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆起升结构，其特征在于，所述顶针组件(11)包括：顶针(111)、顶针安装座(112)及连接座(113)；所述连接座(113)竖直设置在所述安装环(12)上，所述连接座(113)与所述安装环(12)可拆卸连接；所述连接座(113)为竖直方向的两端开口的中空腔体，所述顶针安装座(112)的一端位于所述连接座(113)的腔体内、另一端从所述连接座(113)的上端口穿出；所述顶针(111)为细长杆状，所述顶针(111)竖直设置在所述顶针安装座(112)上，所述顶针(111)与所述顶针安装座(112)可拆卸连接。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆起升结构，与机械手配合完成晶圆在反应腔内的工位上的取放，其特征在于，起升结构包括：顶针部件(1)和驱动部件(2)；所述顶针部件(1)位于所述反应腔内，所述驱动部件(2)能够带动所述顶针部件(1)升降；所述驱动部件(2)包括：安装壳体(21)、伺服电机(22)、联轴器(23)、螺母(24)、丝杠(25)及推杆组件(26)；所述安装壳体(21)为竖直的两端开口的中空腔体，所述安装壳体(21)竖直固设在所述反应腔的下方；所述伺服电机(22)竖直固设在所述安装壳体(21)的下端，所述联轴器(23)、所述丝杠(25)及所述螺母(24)均设在所述安装壳体(21)内，所述伺服电机(22)通过所述联轴器(23)带动所述丝杠(25)同步转动，所述丝杠(25)竖直设置在所述安装壳体(21)的轴线位置，所述丝杠(25)与所述螺母(24)螺旋传动；所述螺母(24)与所述推杆组件(26)连接，所述推杆组件(26)从所述反应腔的下方穿入其内后与所述顶针部件(1)相连，所述螺母(24)带动所述推杆组件(26)竖向移动，所述推杆组件(26)带动所述顶针部件(1)竖向移动。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆起升结构，其特征在于，所述推杆组件(26)包括：推杆座(261)和推杆(262)；所述推杆座(261)为下端开口的中空腔体，所述推杆座(261)的下端与所述螺母(24)固定连接，所述丝杠(25)伸入所述推杆座(261)的腔体中，所述推杆座(261)随所述螺母(24)竖向移动；所述推杆(262)与所述丝杠(25)同轴设置，所述推杆(262)的一端与所述推杆座(261)的上端固定连接、另一端穿过所述反应腔后与所述顶针部件(1)固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆起升结构，其特征在于，所述驱动部件(2)还包括导向组件(27)；所述导向组件...
【专利技术属性】
技术研发人员：包驷璋，付佳明，徐家庆，唐丽娜，
申请(专利权)人：大连皓宇电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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