【技术实现步骤摘要】
本技术涉及气相沉积设备领域，尤其涉及一种旋转定位装置。
技术介绍
1、气相沉积设备是制造微电子器件时被用来沉积出某种薄膜的设备，沉积出的薄膜用来制作介电材料。
2、气相沉积设备的主轴上方设有传送托盘，传送托盘上设有晶圆，晶圆旋转运动到预设位置需稳定定位后进行后续加工。在气相沉积设备的旋转过程中，一般由电机驱动转动，难以保证转动的准确性和转动完成后的稳定性。
技术实现思路
1、本技术提供一种旋转定位装置，以克服气相沉积设备工作中主轴定位的稳定性和准确性较差的问题。
2、为了实现上述目的，本技术的技术方案是：
3、一种旋转定位装置，包括法兰座、弹簧销定位组件、旋转体、所述旋转体能够相对于所述法兰座转动；
4、所述弹簧销定位组件设在所述旋转体上，所述弹簧销定位组件包括定位销和弹性体，所述定位销固定连接于所述弹性体上部，所述定位销的端部抵接于所述法兰座；
5、所述法兰座的下部边缘设有定位结构，所述定位结构包括依次设置的渐变段、圆弧段、突变段和平滑凸起段；
6、当所述旋转体相对所述法兰座转动时，所述定位销的端部依次经过所述渐变段、圆弧段、突变段和平滑凸起段，且当所述定位销经过所述渐变段和圆弧段后，能够卡入所述突变段和平滑凸起段之间。
7、进一步的，所述渐变段包括渐变斜面，所述渐变斜面沿所述旋转体转动方向朝所述弹性体倾斜；所述圆弧段包括弧面，所述弧面向所述弹性体凸出；所述突变段包括垂直面，所述定位销与所述定位结
8、进一步的，所述弹簧销定位组件还包括螺栓和筒体，所述弹性体设于所述螺栓上侧，所述螺栓设置于所述筒体内。
9、进一步的，所述旋转体包括第一孔洞、顶板和底板，所述第一孔洞设于所述底板上，所述弹簧销定位组件设于所述顶板的外壁。
10、进一步的，还包括气动旋转卡盘，所述气动旋转卡盘包括卡爪部，所述卡爪部包括卡爪，所述卡爪设于所述第一孔洞内，所述卡爪抵接于所述旋转体。
11、进一步的，还包括电机，所述气动旋转卡盘随所述电机的旋转而旋转，所述卡爪部随所述气动旋转卡盘的旋转而旋转。
12、有益效果：本申请公开的一种旋转定位装置，弹簧销定位组件沿定位结构做旋转运动，当定位销运动至突变段和平滑凸起段之间时，与定位结构卡合，避免主轴持续旋转，实现主轴定位，提高了气相沉积设备旋转过程中定位的准确性和稳定性。
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1.一种旋转定位装置，其特征在于：包括法兰座(1)、弹簧销定位组件(3)、旋转体(4)、所述旋转体(4)能够相对于所述法兰座(1)转动；
2.根据权利要求1所述的一种旋转定位装置，其特征在于：所述渐变段(21)包括渐变斜面(211)，所述渐变斜面(211)沿所述旋转体(4)转动方向朝所述弹性体(32)倾斜；所述圆弧段(22)包括弧面(221)，所述弧面(221)向所述弹性体(32)凸出；所述突变段(23)包括垂直面(231)，所述定位销(31)与所述定位结构(2)卡合时，所述定位销(31)的右侧与所述垂直面(231)抵接；所述平滑凸起段(24)包括凸起面(241)，所述凸起面(241)向所述弹性体(32)凸起。
3.根据权利要求1所述的一种旋转定位装置，其特征在于：所述弹簧销定位组件(3)还包括螺栓(33)和筒体(34)，所述弹性体(32)设于所述螺栓(33)上侧，所述螺栓(33)设置于所述筒体(34)内。
4.根据权利要求1所述的一种旋转定位装置，其特征在于：所述旋转体(4)包括第一孔洞(41)、顶板(42)和底板(43)，所述第一孔洞(41
5.根据权利要求4所述的一种旋转定位装置，其特征在于：还包括气动旋转卡盘(5)，所述气动旋转卡盘(5)包括卡爪部(51)，所述卡爪部(51)包括卡爪(511)，所述卡爪(511)设于所述第一孔洞(41)内，所述卡爪(511)抵接于所述旋转体(4)。
6.根据权利要求5所述的一种旋转定位装置，其特征在于：还包括电机(6)，所述气动旋转卡盘(5)随所述电机(6)的旋转而旋转，所述卡爪部(51)随所述气动旋转卡盘(5)的旋转而旋转。
...【技术特征摘要】
1.一种旋转定位装置，其特征在于：包括法兰座(1)、弹簧销定位组件(3)、旋转体(4)、所述旋转体(4)能够相对于所述法兰座(1)转动；
2.根据权利要求1所述的一种旋转定位装置，其特征在于：所述渐变段(21)包括渐变斜面(211)，所述渐变斜面(211)沿所述旋转体(4)转动方向朝所述弹性体(32)倾斜；所述圆弧段(22)包括弧面(221)，所述弧面(221)向所述弹性体(32)凸出；所述突变段(23)包括垂直面(231)，所述定位销(31)与所述定位结构(2)卡合时，所述定位销(31)的右侧与所述垂直面(231)抵接；所述平滑凸起段(24)包括凸起面(241)，所述凸起面(241)向所述弹性体(32)凸起。
3.根据权利要求1所述的一种旋转定位装置，其特征在于：所述弹簧销定位组件(3)还包括螺栓(33)和筒体(34)，所述弹性...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓超，徐家庆，唐丽娜，
申请(专利权)人：大连皓宇电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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