【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体芯片制造设备，尤其涉及一种具有起升结构的双工位。
技术介绍
1、在半导体领域，晶圆作为最常用的基材被广泛应用在芯片、集成电路和电子器件的制造上，晶圆整个加工过程中经常需要将晶圆在各个工位之间进行传送，现有的晶圆传送方式多采用机械手抓取。
2、现有的机械手将晶圆水平取出，并通过转动改变方向，最后通过升降以及直线运动，将圆晶放置在一个工位的位置处；完成在一个工位取放晶圆后，需回转继续拿取晶圆后再回转将圆晶放置到另一工位，机械手一次只能实现一个工位的晶圆搬运，机械手的取放动作多，搬运效率低。
技术实现思路
1、本技术提供一种具有起升结构的双工位，以减少机械手取放动作，提高机械手搬运效率。
2、为了实现上述目的，本技术的技术方案是：
3、一种具有起升结构的双工位，用于晶圆的搬运，包括：壳体、工位、起升结构、机械手及末端执行器组件；工位为两个，两个工位沿水平方向并排固设在壳体内；末端执行器组件包括：连接板和两个叉式末端执行器；两个叉式末端执行器水平固定在连接板上，两个叉式末端执行器伸出连接板且分别对应两个工位；机械手固设在壳体水平方向的一侧，机械手与连接板转动连接，机械手通过连接板控制两个叉式末端执行器搬运晶圆；起升结构设置在壳体上，起升结构与工位相离；壳体的侧壁具有让位，当两个叉式末端执行器穿过壳体将晶圆送至对应的工位的上方后，起升结构将晶圆抬升；当两个叉式末端执行器退出壳体后，起升结构将晶圆放置在对应的工位。
4、进一步的，
5、进一步的，推杆组件包括：推杆座和推杆；推杆座为下端开口的中空腔体，推杆座的下端与螺母固定连接，丝杠伸入推杆座的腔体中，推杆座随螺母竖向移动；推杆与丝杠同轴设置，推杆的一端与推杆座的上端固定连接、另一端穿过壳体后与顶针部件固定连接。
6、进一步的，驱动部件还包括导向组件；导向组件设置在推杆座与安装壳体的内壁之间，导向组件对推杆组件进行竖向的导向和径向的限位。
7、进一步的，导向组件包括：导轨和滑块；导轨固设在安装壳体的内壁上，导轨的长度方向沿竖直设置；滑块设置在导轨上并沿导轨滑动，滑块与推杆座固定连接。
8、进一步的，顶针部件包括：顶针组件和安装环；顶针组件为三组，三组顶针组件设置在安装环上，三组顶针组件沿安装环的同一圆周方向间隔设置；安装环与推杆组件固定连接，三组顶针组件与推杆组件相离；推杆组件带动安装环竖向移动，安装环带动三组顶针组件竖向移动，使三组顶针组件能够抬升和放下晶圆。
9、进一步的，顶针组件包括：顶针、顶针安装座及连接座；连接座竖直设置在安装环上，连接座与安装环可拆卸连接；连接座为竖直方向的两端开口的中空腔体，顶针安装座的一端位于连接座的腔体内、另一端从连接座的上端口穿出；顶针为细长杆状，顶针竖直设置在顶针安装座上，顶针与顶针安装座可拆卸连接。
10、进一步的，机械手包括：本体、第一大臂及第一小臂；本体与壳体并排设置且固定连接；第一大臂的一端转动连接本体、另一端与第一小臂的端部转动连接；本体能够驱动第一大臂转动，第一小臂能够绕第一大臂转动；第一小臂与连接板固定连接。
11、进一步的，机械手还包括：第二大臂和第二小臂；第二大臂的一端转动连接本体、另一端与第二小臂的端部转动连接；第二大臂和第一大臂共同连接于本体的同一位置；本体能够驱动第二大臂转动，第二小臂能够绕第二大臂转动；第一大臂、第二大臂、第一小臂及第二小臂在竖直方向错开布置，由下至上依次为：第一大臂、第二大臂、第一小臂及第二小臂；末端执行器组件为两组，一组连接第一小臂、另一组连接第二小臂，两组末端执行器组件在竖直方向错开布置。
12、进一步的，叉式末端执行器通过安装组件与连接板固定连接；安装组件包括：安装座、固定板及固定螺钉；安装座的一端通过螺钉可拆卸连接在连接板上、另一端与叉式末端执行器连接，叉式末端执行器设有通孔，安装座设有通孔，固定板设有螺纹孔，叉式末端执行器的通孔、安装座的通孔及固定板的螺纹孔相对应，安装座与固定板夹住叉式末端执行器，将固定螺钉依次穿过安装座和叉式末端执行器的通孔后拧入固定板的螺纹孔，将叉式末端执行器固定。
13、有益效果：
14、本申请设置机械手和两个叉式末端执行器，并设置有双工位承接晶圆，使机械手一次动作可搬运两片晶圆；本申请设置起升结构将叉式末端执行器搬运的晶圆抬升，实现晶圆与叉式末端执行器的脱离，机械手控制叉式末端执行器退出壳体，起升结构将晶圆放置在对应的工位上。实现机械手一次搬运两片晶圆送到双工位上方，通过起升结构将两片晶圆放置在双工位上，使机械手一次搬运的晶圆数量翻倍，减少了机械手的搬运动作，提高了机械手搬运效率。
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1.一种具有起升结构的双工位，用于晶圆的搬运，其特征在于，包括：壳体(1)、工位(2)、起升结构(3)、机械手(4)及末端执行器组件(5)；所述工位(2)为两个，两个所述工位(2)沿水平方向并排固设在所述壳体(1)内；所述末端执行器组件(5)包括：两个叉式末端执行器(51)和连接板(52)；两个所述叉式末端执行器(51)水平固定在所述连接板(52)上，两个所述叉式末端执行器(51)伸出所述连接板(52)且分别对应两个所述工位(2)；所述机械手(4)固设在所述壳体(1)水平方向的一侧，所述机械手(4)与所述连接板(52)转动连接，所述机械手(4)通过所述连接板(52)控制两个所述叉式末端执行器(51)搬运所述晶圆；所述起升结构(3)设置在所述壳体(1)上，所述起升结构(3)与所述工位(2)相离；所述壳体(1)的侧壁具有让位，当两个所述叉式末端执行器(51)穿过所述壳体(1)将所述晶圆送至对应的所述工位(2)的上方后，所述起升结构(3)将所述晶圆抬升；当两个所述叉式末端执行器(51)退出所述壳体(1)后，所述起升结构(3)将所述晶圆放置在对应的所述工位(2)。
2.根据权
3.根据权利要求2所述的一种具有起升结构的双工位，其特征在于，所述推杆组件(326)包括：推杆座(3261)和推杆(3262)；所述推杆座(3261)为下端开口的中空腔体，所述推杆座(3261)的下端与所述螺母(324)固定连接，所述丝杠(325)伸入所述推杆座(3261)的腔体中，所述推杆座(3261)随所述螺母(324)竖向移动；所述推杆(3262)与所述丝杠(325)同轴设置，所述推杆(3262)的一端与所述推杆座(3261)的上端固定连接、另一端穿过所述壳体(1)后与所述顶针部件(31)固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种具有起升结构的双工位，其特征在于，所述驱动部件(32)还包括导向组件(327)；所述导向组件(327)设置在所述推杆座(3261)与所述安装壳体(321)的内壁之间，所述导向组件(327)对所述推杆组件(326)进行竖向的导向和径向的限位。
5.根据权利要求4所述的一种具有起升结构的双工位，其特征在于，所述导向组件(327)包括：滑块(3271)和导轨(3272)；所述导轨(3272)固设在所述安装壳体(321)的内壁上，所述导轨(3272)的长度方向沿竖直设置；所述滑块(3271)设置在所述导轨(3272)上并沿所述导轨(3272)滑动，所述滑块(3271)与所述推杆座(3261)固定连接。
6.根据权利要求4所述的一种具有起升结构的双工位，其特征在于，所述顶针部件(31)包括：顶针组件(311)和安装环(312)；所述顶针组件(311)为三组，三组所述顶针组件(311)设置在所述安装环(312)上，三组所述顶针组件(311)沿所述安装环(312)的同一圆周方向间隔设置；所述安装环(312)与所述推杆组件(326)固定连接，三组所述顶针组件(311)与所述推杆组件(326)相离；所述推杆组件(326)带动所述安装环(312)竖向移动，所述安装环(312)带动三组所述顶针组件(311)竖向移动，使三组所述顶针组件(311)能够抬升和放下所述晶圆。
7.根据权利要求6所述的一种具有起升结构的双工位，其特征在于，所述顶针组件(311)包括：顶针(3111)、顶针安装座(3112)...
【技术特征摘要】
1.一种具有起升结构的双工位，用于晶圆的搬运，其特征在于，包括：壳体(1)、工位(2)、起升结构(3)、机械手(4)及末端执行器组件(5)；所述工位(2)为两个，两个所述工位(2)沿水平方向并排固设在所述壳体(1)内；所述末端执行器组件(5)包括：两个叉式末端执行器(51)和连接板(52)；两个所述叉式末端执行器(51)水平固定在所述连接板(52)上，两个所述叉式末端执行器(51)伸出所述连接板(52)且分别对应两个所述工位(2)；所述机械手(4)固设在所述壳体(1)水平方向的一侧，所述机械手(4)与所述连接板(52)转动连接，所述机械手(4)通过所述连接板(52)控制两个所述叉式末端执行器(51)搬运所述晶圆；所述起升结构(3)设置在所述壳体(1)上，所述起升结构(3)与所述工位(2)相离；所述壳体(1)的侧壁具有让位，当两个所述叉式末端执行器(51)穿过所述壳体(1)将所述晶圆送至对应的所述工位(2)的上方后，所述起升结构(3)将所述晶圆抬升；当两个所述叉式末端执行器(51)退出所述壳体(1)后，所述起升结构(3)将所述晶圆放置在对应的所述工位(2)。
2.根据权利要求1所述的一种具有起升结构的双工位，其特征在于，所述起升结构(3)包括：顶针部件(31)和驱动部件(32)；所述顶针部件(31)位于所述壳体(1)内，所述驱动部件(32)从所述壳体(1)下方穿入后与所述顶针部件(31)连接，所述驱动部件(32)能够带动所述顶针部件(31)升降；所述驱动部件(32)包括：安装壳体(321)、伺服电机(322)、联轴器(323)、螺母(324)、丝杠(325)及推杆组件(326)；所述安装壳体(321)为竖直两端开口的中空腔体，所述安装壳体(321)竖直固设在所述壳体(1)的下方；所述伺服电机(322)竖直固设在所述安装壳体(321)的下端，所述联轴器(323)、所述丝杠(325)及所述螺母(324)均设在所述安装壳体(321)内，所述伺服电机(322)通过所述联轴器(323)带动所述丝杠(325)同步转动，所述丝杠(325)竖直设置在所述安装壳体(321)的轴线位置，所述丝杠(325)与所述螺母(324)螺旋传动；所述螺母(324)与所述推杆组件(326)连接，所述推杆组件(326)从所述壳体(1)的下方穿入其内后与所述顶针部件(31)相连，所述螺母(324)带动所述推杆组件(326)竖向移动，所述推杆组件(326)带动所述顶针部件(31)竖向移动。
3.根据权利要求2所述的一种具有起升结构的双工位，其特征在于，所述推杆组件(326)包括：推杆座(3261)和推杆(3262)；所述推杆座(3261)为下端开口的中空腔体，所述推杆座(3261)的下端与所述螺母(324)固定连接，所述丝杠(325)伸入所述推杆座(3261)的腔体中，所述推杆座(3261)随所述螺母(324)竖向移动；所述推杆(3262)与所述丝杠(325)同轴设置，所述推杆(3262)的一端与所述推杆座(3261)的上端固定连接、另一端穿过所述壳体(1)后与所述顶针部件(31)固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种具有起升结构的双工位，其特征在于，所述驱动部件(32)还包括导向组件(327)；所述导向组件(327)设置在所述推杆座(3261)与所述安装壳体(321)的内壁之间，所述导向组件(327)对所述推杆组件(326)进行竖向的导向和径向的限位。
5.根据权利要求4所述的一种具有起升结构的双工位，其特征在于，所述导向组件(327)包括：滑块(3271)和导轨(3272)；所述导轨(3272)固设在所述安装壳体(321)的内壁上，所述导轨(3272)的长度方向沿竖直设置；所述滑块(3271)设置在所述导轨(3272)上并沿...
【专利技术属性】
技术研发人员：包驷璋，付佳明，徐家庆，唐丽娜，
申请(专利权)人：大连皓宇电子科技有限公司，
类型：新型
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