具有四通道射频电源分配器制造技术

本发明专利技术公开了具有四通道射频电源分配器，包括四个支路，每个支路具有高频汇流单元

【技术实现步骤摘要】
具有四通道射频电源分配器


[0001]本专利技术涉及等离子体化学气相沉积中射频电源
，具体涉及具有四通道射频电源分配器
。

技术介绍

[0002]在半导体生产过程中，等离子体化学气相沉积设备
PECVD
是一种通过射频电源使一定组份的气态物质发生电离形成等离子体，促进化学反应，沉积成薄膜材料
。
在这个过程中，射频电源的功率大小以及分布均匀度，决定了薄膜材料的质量
。
[0003]在现有的等离子体化学气相沉积设备中，一个高频电源和一个低频电源的输出只能提供给一个喷淋头使用，要满足四片晶圆同时进行化学沉积工艺，则需要四个高频电源和四个低频电源同时工作
。
这种设计方式增加了等离子体化学气相沉积设备
PECVD
的原材料成本，同时也占用了设备内部很多空间，使得设备外观体积巨大
。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于，提供一种具有四通道射频电源分配器，其将一路高频电源和一路低频电源连接在该分配器上，再通过分配器的输出作用到四个喷淋头，故可以同时供四片晶圆进行化学气相沉积工艺
。
[0005]为实现上述目的，本申请的技术方案为：具有四通道射频电源分配器，包括四个支路，每个支路具有高频汇流单元
、
低频滤波单元
、
谐振组合单元和输出单元，所述高频汇流单元与低频滤波单元
、
输出单元相连，所述低频滤波单元的一个支路与低频输入板相连，另一个支路通过电容
C1
与谐振组合单元相连，所述谐振组合单元还与输出单元相连
。
[0006]优选方式下，所述高频汇流单元，包括高频输入端子和第一高频汇流板，所述高频输入端子通过电容
C1
与第一高频汇流板相连
。
[0007]优选方式下，所述低频滤波单元，包括
L1
电感
、
低频汇流板和
L4
磁环电感，所述
L4
磁环电感一端与低频输入板相连，另一端与低频汇流板相连，所述低频汇流板上设有
L1
电感，该
L1
电感与两个电容
C2
并联后与第一高频汇流板相连
。
[0008]优选方式下，所述谐振组合单元包括第二高频汇流板
、
谐振滤波电路和谐振陷波电路，所述第二高频汇流板一端通过电容
C1
与低频汇流板相连，另一端通过谐振滤波电路与谐振陷波电路相连
。
[0009]优选方式下，所述谐振滤波电路包括
L2
电感以及与
L2
电感并联的电容
C2、
电容
C3
；所述谐振陷波电路包括
L2
电感以及与
L2
电感相连多个并联设置的电容
C4。
[0010]优选方式下，所述输出单元包括继电器和
L3
电感，所述继电器的
NC
常闭触点为输出点，该输出点通过
L3
电感连接到输出端子上；继电器的
COM
点与第一高频汇流板相连，继电器的
NO
常开触点与多个并联设置的电容
C4
相连
。
[0011]优选方式下，所述高频输入端子位于防静电底板一侧，第一高频汇流板
、
电容
C1、
低频滤波单元
、
输出单元和谐振组合单元位于防静电底板另一侧
。
[0012]优选方式下，所述低频输入板四周依次通过螺纹柱
、
绝缘柱与第一高频汇流板相连，所述低频输入板
、
第一高频汇流板位于防静电底板中部，为共用件
。
[0013]优选方式下，所述第二高频汇流板分布在防静电底板四个拐角处，
L2
电感一端与第二高频汇流板，另一端与汇流铜排相连，该汇流铜排还与
Z
形件相连，所述
Z
形件上承载有多个并联设置的电容
C4
且与继电器相连，该继电器还与导通底板相连，所述导通底板分别与第一高频汇流板
、
低频汇流板相连
。
[0014]优选方式下，所述防静电底板四边中部位置设有用于固定
L4
磁环电感的绝缘底座，在绝缘底座上面设有绝缘板，该绝缘板与外部的屏蔽罩相连
。
[0015]本专利技术由于采用以上技术方案，能够取得如下的技术效果：
[0016]1)
具有四通道射频电源分配器，可以将一路高频射频电源和一路低频射频电源平均分配给四路输出，能够保证四路输出电源功率均衡稳定；大大节约了生产制造成本
。
[0017]2)
通过分配器中滤波电路，确保只有特定频率范围内的信号被分配给相应的目标喷淋头，从而实现频率选择性分配
。
[0018]3)
在晶圆的化学沉积工艺过程中，滤波电路可以用于抑制干扰信号，确保被分配给目标喷淋头的电源是干净的，从而提升工艺洁净度
。
[0019]4)
四通道射频电源分配器可以用于提高电源质量
、
降低干扰
、
实现频率选择性分配以及保护目标喷淋头，从而确保射频电源的有效分配和传输
。
附图说明
[0020]图1为具有四通道射频电源分配器俯视图；
[0021]图2为具有四通道射频电源分配器结构示意图；
[0022]图3为具有四通道射频电源分配器侧面图；
[0023]图4为具有四通道射频电源分配器端面图；
[0024]图5为具有四通道射频电源分配器电路连接原理图
。
[0025]图中序号说明：
1、
防静电底板；
2、
绝缘柱；
3、
螺纹柱；
4、
低频输入板；
5、
第二高频汇流板；
6、
绝缘板；
7、
绝缘底座；
8、
导通底板；
9、
汇流铜排；
10、
屏蔽罩；
11、L1
电感；
12、L2
电感；
13、L3
电感；
14、
继电器；
15、
高频输入端子；
16、L4
磁环电感；
17、
电容
C4
；
18、Z
形件；
19、
电容
C1
；
20、
第一高频汇流板
。
具体实施方式
[0026]为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
具有四通道射频电源分配器，其特征在于，包括四个支路，每个支路具有高频汇流单元
、
低频滤波单元
、
谐振组合单元和输出单元，所述高频汇流单元与低频滤波单元
、
输出单元相连，所述低频滤波单元的一个支路与低频输入板相连，另一个支路通过电容
C1
与谐振组合单元相连，所述谐振组合单元还与输出单元相连
。2.
根据权利要求1所述具有四通道射频电源分配器，其特征在于，所述高频汇流单元，包括高频输入端子和第一高频汇流板，所述高频输入端子通过电容
C1
与第一高频汇流板相连
。3.
根据权利要求2所述具有四通道射频电源分配器，其特征在于，所述低频滤波单元，包括
L1
电感
、
低频汇流板和
L4
磁环电感，所述
L4
磁环电感一端与低频输入板相连，另一端与低频汇流板相连，所述低频汇流板上设有
L1
电感，该
L1
电感与两个电容
C2
并联后与第一高频汇流板相连
。4.
根据权利要求2所述具有四通道射频电源分配器，其特征在于，所述谐振组合单元包括第二高频汇流板
、
谐振滤波电路和谐振陷波电路，所述第二高频汇流板一端通过电容
C1
与低频汇流板相连，另一端通过谐振滤波电路与谐振陷波电路相连
。5.
根据权利要求2所述具有四通道射频电源分配器，其特征在于，所述谐振滤波电路包括
L2
电感以及与
L2
电感并联的电容
C2、
电容
C3
；所述谐振陷波电路包括
L2
电感以及与
L2
电感...

【专利技术属性】
技术研发人员：范震，史常龙，徐家庆，唐丽娜，
申请(专利权)人：大连皓宇电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：