一种薄膜气相沉积加热装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种薄膜气相沉积加热装置，包括沉积腔和旋转装置；旋转装置包括：设在沉积腔下方的基座

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜气相沉积加热装置


[0001]本专利技术涉及气相沉积
，尤其涉及一种薄膜气相沉积加热装置
。

技术介绍

[0002]化学气相沉积
(Chemical Vapor Deposition
，简称
CVD)、
物理气相沉积
(PhysicalVapor Deposition
，简称
PVD)
是半导体行业中广泛应用于薄膜沉积的技术
。
如
CVD
设备包括反应腔和晶圆加热基座，当将两种或两种以上的气态原材料导入反应腔时，气态原材料相互之间发生化学反应，形成一种新的材料并沉积到加热基座晶圆的表面上，形成一层沉积薄膜
。
[0003]气相沉积镀膜的工艺复杂多样化，同时在镀膜的同时会有各种因素影响镀膜厚度的均匀性，为了达到更高镀膜工艺要求，现有晶圆加热装置采用升降并往复旋转的方式
。
但是这种方式旋转角度有限，导致调整能力不佳
。
但是晶圆加热装置在进行
360
°
水平方向转动时，由于还需要给加热盘等进行供电，会使电线缠绕损坏
。
因此，如何实现加热装置的旋转结构不损坏供电导线是本领域技术人员亟待解决的一个重要问题
。

技术实现思路

[0004]鉴于以上现有技术的缺点，本专利技术提供一种薄膜气相沉积加热装置，以解决现有技术中旋转结构在动态旋转的同时容易使导线缠绕而影响电路的供电的技术问题
。<br/>[0005]为了实现上述目的，本专利技术的技术方案是：
[0006]一种薄膜气相沉积加热装置，包括沉积腔和旋转装置；旋转装置包括：设在沉积腔下方的基座
、
设在基座上的磁流体密封传动装置
、
设在沉积腔内的加热盘
、
与磁流体密封传动装置配合的空心轴以及驱动空心轴转动的驱动装置；空心轴上端穿入沉积腔后固定连接加热盘；基座具有安装腔，空心轴下端穿入安装腔并连接有旋转电连接部件；旋转电连接部件包括：固设在空心轴下端的绝缘轴
、
均设在基座上且分别连接绝缘轴的滑环组件和电刷组件；加热盘内设有加热管和温度传感器，加热管和温度传感器均依次经空心轴内部和绝缘轴分别电连接电刷组件和滑环组件；滑环组件和电刷组件用于旋转时的供电
。
[0007]进一步的，滑环组件包括：设在基座上且与空心轴同轴的定子
、
相对定子转动的转子
、
连接转子和温度传感器的连接电缆及设在定子上的信号电缆
。
[0008]进一步的，转子朝向绝缘轴的一端延伸出定子后套设有绝缘套；绝缘套上固设有沿径向的紧定螺钉，紧定螺钉的头部顶紧转子
、
尾部延伸出绝缘套；绝缘轴上固设有支杆，支杆带动紧定螺钉绕转子轴线转动
。
[0009]进一步的，基座上固设有绝缘板，定子固设在绝缘板上
。
[0010]进一步的，温度传感器为热电偶，绝缘轴开设有螺纹通孔，热电偶的下端螺纹连接在螺纹通孔内，热电偶的下端电连接滑环组件
。
[0011]进一步的，电刷组件包括：分别设在绝缘轴外周面的正极导电带和负极导电带
、
分别与正极导电带和负极导电带电接触的正极电刷和负极电刷
、
设在基座上的绝缘支座组
件；绝缘支座组件用于固定正极电刷和负极电刷
。
[0012]进一步的，绝缘支座组件包括：第一绝缘支座
、
第二绝缘支座
、
第三绝缘支座及固定件；第三绝缘支座为
T
型空心轴状，第三绝缘支座由上方依次贯穿正极电刷
、
第二绝缘支座
、
负极电刷
、
第一绝缘支座；固定件为
T
型轴状，固定件由上方插入第三绝缘支座并与基座固定连接
。
[0013]进一步的，驱动装置包括：设在安装腔内的电机
、
固设在电机转轴上的主动轮
、
从动轮及绕在主动轮和从动轮上的同步带；磁流体密封传动装置包括与空心轴配合并同步转动的空心转轴，空心转轴下端延伸至安装腔，从动轮固设在空心转轴上
。
[0014]进一步的，空心轴与磁流体密封传动装置之间还设有绝缘管
。
[0015]进一步的，磁流体密封传动装置通过水平调节组件连接沉积腔；水平调节组件包括：固设在沉积腔下表面的连接板
、
至少三组长度调节组件及套设在空心轴外的波纹管；波纹管的一端固连连接板
、
另一端固连磁流体密封传动装置；至少三组长度调节组件沿波纹管的圆周方向设置；长度调节组件包括：螺杆
、
第一螺母及第二螺母；磁流体密封传动装置开设有调节通孔，连接板上设有调节螺纹孔，螺杆穿过调节通孔后拧入调节螺纹孔中；第一螺母和第二螺母均旋在螺杆上，第一螺母和第二螺母均位于连接板与磁流体密封传动装置之间
。
[0016]有益效果：
[0017]本申请设置空心轴和绝缘轴方便加热管和温度传感器的布线，避免加热管和温度传感器在旋转过程中扭转纠缠；还设置滑环组件和电刷组件，实现加热管和温度传感器随空心轴转动时外接的接线固定不动，防止了供电导线的扭转纠缠而损坏，并且满足电路的供电
。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0019]图1为本专利技术公开的一种薄膜气相沉积加热装置的结构示意图；
[0020]图2为图1中Ⅰ的局部放大图
。
[0021]1、
沉积腔；
[0022]21、
基座；
22、
磁流体密封传动装置；
221、
空心转轴；
23、
加热盘；
24、
空心轴；
25、
驱动装置；
251、
电机；
252、
主动轮；
253、
从动轮；
254、
同步带；
26、
绝缘管；
[0023]3、
加热管；
4、
温度传感器；
[0024]51、
绝缘轴；
511、
台阶环；
512、
压环；
521、
定子；
522、
转子；
523、
连接电缆；
524、
绝缘套；
525、
紧定螺钉；
526、
支杆；
527、
绝缘本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种薄膜气相沉积加热装置，其特征在于，包括沉积腔
(1)
和旋转装置；所述旋转装置包括：设在所述沉积腔
(1)
下方的基座
(21)、
设在所述基座
(21)
上的磁流体密封传动装置
(22)、
设在所述沉积腔
(1)
内的加热盘
(23)、
与所述磁流体密封传动装置
(22)
配合的空心轴
(24)
以及驱动所述空心轴
(24)
转动的驱动装置
(25)
；所述空心轴
(24)
上端穿入所述沉积腔
(1)
后固定连接所述加热盘
(23)
；所述基座
(21)
具有安装腔，所述空心轴
(24)
下端穿入所述安装腔并连接有旋转电连接部件；所述旋转电连接部件包括：固设在所述空心轴
(24)
下端的绝缘轴
(51)、
均设在所述基座
(21)
上且分别连接所述绝缘轴
(51)
的滑环组件和电刷组件；所述加热盘
(23)
内设有加热管
(3)
和温度传感器
(4)
，所述加热管
(3)
和温度传感器
(4)
均依次经所述空心轴
(24)
内部和所述绝缘轴
(51)
分别电连接所述电刷组件和滑环组件；所述滑环组件和电刷组件用于旋转时的供电
。2.
根据权利要求1所述的一种薄膜气相沉积加热装置，其特征在于，所述滑环组件包括：设在所述基座
(21)
上且与所述空心轴
(24)
同轴的定子
(521)、
相对所述定子
(521)
转动的转子
(522)、
连接所述转子
(522)
和温度传感器
(4)
的连接电缆
(523)
及设在所述定子
(521)
上的信号电缆
。3.
根据权利要求2所述的一种薄膜气相沉积加热装置，其特征在于，所述转子
(522)
朝向所述绝缘轴
(51)
的一端延伸出所述定子
(521)
后套设有绝缘套
(524)
；所述绝缘套
(524)
上固设有沿径向的紧定螺钉
(525)
，所述紧定螺钉
(525)
的头部顶紧所述转子
(522)、
尾部延伸出所述绝缘套
(524)
；所述绝缘轴
(51)
上固设有支杆
(526)
，所述支杆
(526)
带动所述紧定螺钉
(525)
绕所述转子
(522)
轴线转动
。4.
根据权利要求2所述的一种薄膜气相沉积加热装置，其特征在于，所述基座
(21)
上固设有绝缘板
(527)
，所述定子
(521)
固设在所述绝缘板
(527)
上
。5.
根据权利要求1所述的一种薄膜气相沉积加热装置，其特征在于，所述温度传感器
(4)
为热电偶，所述绝缘轴
(51)
开设有螺纹通孔，所述热电偶的下端螺纹连接在所述螺纹通孔内，所述热电偶的下端电连接所述滑环组件
。6.
根据权利要求1所述的一种薄膜气相沉积加热装置，其特征在于，所述电刷组件包括：分别设在所述绝缘轴
(51)
外周面的正极导电带
、
和负极导电带
、
分别与所述正极导电带和负...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓超，徐家庆，唐丽娜，
申请(专利权)人：大连皓宇电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：