一种电极杆及管式PECVD反应室制造技术

本实用新型专利技术公开了一种电极杆及管式PECVD反应室，电极杆包括：安装杆、连接杆和接触杆，所述连接杆的两端分别与安装杆和接触杆可拆卸连接，所述安装杆用于实现电极杆固定安装在管式PECVD反应室中，所述接触杆包括引电块，所述引电块与管式PECVD反应室中的石墨舟接触，用于实现石墨舟引电；旋转安装杆，用于调整引电块与石墨舟的接触角度。本实用新型专利技术还公开了包含上述电极杆的管式PECVD反应室。本实用新型专利技术具有结构紧凑、拆装便捷、自适应能力强、引电良好等优点，解决了由于电极杆频繁撞舟而造成的卡桨问题，提高了管式PECVD设备的运行稳定性，降低了设备的维护成本。降低了设备的维护成本。降低了设备的维护成本。

【技术实现步骤摘要】
一种电极杆及管式PECVD反应室


[0001]本技术属于半导体设备
，具体涉及一种电极杆及管式PECVD反应室。

技术介绍

[0002]现有管式PECVD设备的引电方式包括插电极和座电极两种。座电极形式维护周期短，且维护不便利。插电极形式电极头与石墨舟接触良好，使用维护周期长，维护方便。但是石墨舟在进反应室时，位置容易偏移，使得电极头不能准确插入电极孔而碰撞到其余位置，存在插电极频繁撞舟的问题。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构紧凑、拆装便捷、自适应能力强、引电良好的电极杆及管式PECVD反应室。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0005]一种电极杆，包括：安装杆、连接杆和接触杆，所述连接杆的两端分别与安装杆和接触杆可拆卸连接，所述安装杆用于实现电极杆固定安装在管式PECVD反应室中，所述接触杆包括引电块，所述引电块与管式PECVD反应室中的石墨舟接触，用于实现石墨舟引电；旋转安装杆，用于调整引电块与石墨舟的接触角度。
[0006]作为本技术的进一步改进，所述接触杆还包括调节座、多个第一连接件和多个第二连接件，所述调节座底部通过多个第一连接件与连接杆端部可拆卸连接，所述引电块侧部通过多个第二连接件与调节座上部连接。
[0007]作为本技术的进一步改进，多个所述第一连接件在连接杆上的安装高度均相同，用于实现调节座与连接杆相互平行；或者，多个所述第一连接件在连接杆上的安装高度均不相同，用于实现调节座倾斜安装在连接杆上。
[0008]作为本技术的进一步改进，所述接触杆还包括弹性调节件，所述弹性调节件设置在引电块与调节座之间，用于实现引电块与石墨舟柔性接触。
[0009]作为本技术的进一步改进，所述弹性调节件为弹簧。
[0010]作为本技术的进一步改进，所述第一连接件和第二连接件均为螺钉。
[0011]作为本技术的进一步改进，所述引电块顶部呈圆弧形结构。
[0012]作为本技术的进一步改进，所述安装杆端部设有外螺纹，所述连接杆端部设有内螺纹，安装杆与连接杆通过螺纹连接。
[0013]作为一个总的技术构思，本技术还提供了一种管式PECVD反应室，包括：反应腔体、分别设置在反应腔体两端的炉口法兰和炉尾法兰、以及设置在反应腔体内部的陶瓷杆；所述陶瓷杆的两端分别连接炉口法兰和炉尾法兰，陶瓷杆用于承载石墨舟，所述陶瓷杆上设有座电极，且座电极位于石墨舟的尾端，所述炉尾法兰上设有上述的电极杆，所述电极杆与石墨舟的尾端接触，且电极杆和座电极均与外置的射频组件连接；所述炉口法兰上设有进气口，所述进气口用于输送工艺气体至反应腔体内，在电极杆和座电极的激发下，反应
腔体内的工艺气体被电离分解，以完成相应的镀膜工艺；所述炉尾法兰上设有抽气口，所述抽气口与真空泵连接，用于实现废气从反应腔体内抽除。
[0014]作为本技术的进一步改进，所述石墨舟端部设有凹槽，所述凹槽与引电块相匹配。
[0015]与现有技术相比，本技术的优点在于：
[0016]1、本技术的电极杆，通过将电极杆采用分段形式，并且连接杆两端分别与安装杆和接触杆进行可拆卸连接，通过旋转安装杆即可改变接触杆与石墨舟之间的接触角度，提高了电极杆与石墨舟之间的匹配度；接触杆包括了引电块、弹簧、调节座、第一连接件和第二连接件，调节各个第一连接件在连接杆上的安装高度，可以改变调节座在连接杆上的前后倾斜角度，以满足电极杆与石墨舟之间的连接需求；弹簧可以在石墨舟与引电块接触时产生预压力，实现了石墨舟与电极杆之间进行柔性连接，提高了石墨舟与电极杆之间的连接可靠性；通过第二连接件可以防止引电块从调节座中弹出，提高了引电块的安装稳固性。
[0017]2、本技术的管式PECVD反应室，通过在炉尾采用座电极和电极杆的设置方式，并且在石墨舟200尾端的上部和下部均设有圆弧形的凹槽201，将电极杆100上的引电块31也设置成相匹配的圆弧形，接触面采用弧形，可以允许一定的偏差，接触时能自适应，使得石墨舟200在进入反应室腔后，降低了校对电极杆的操作难度，降低了对推舟的定位精度和重复性要求，提高了设备的稳定性；与此同时，也避免了石墨舟对炉尾法兰的频繁撞击作用力，在一定程度上减少了由于炉尾法兰的位移而造成反应室腔损坏，即提高了石英管的使用寿命。
附图说明
[0018]图1为本技术电极杆的结构原理示意图。
[0019]图2为本技术电极杆另一视角的结构原理示意图。
[0020]图3为本技术管式PECVD反应室的结构原理示意图。
[0021]图例说明：1、安装杆；11、外螺纹；2、连接杆；3、接触杆；31、引电块；32、弹性调节件；33、调节座；34、第一连接件；35、第二连接件；100、电极杆；200、石墨舟；201、凹槽；300、炉口法兰；400、炉尾法兰；401、电极安装口；402、观察窗；403、抽气口；500、陶瓷杆；600、座电极。
具体实施方式
[0022]以下结合说明书附图和具体优选的实施例对本技术作进一步描述，但并不因此而限制本技术的保护范围。
[0023]实施例
[0024]如图1和图2所示，本技术的管式PECVD电极杆，包括：安装杆1、连接杆2和接触杆3，连接杆2的两端分别与安装杆1和接触杆3可拆卸连接，安装杆1用于实现电极杆固定安装在管式PECVD反应室中，接触杆3包括引电块31，引电块31与管式PECVD反应室中的石墨舟接触，用于实现石墨舟引电；旋转安装杆1，用于调整引电块31与石墨舟的接触角度。
[0025]进一步地，如图1所示，安装杆1端部设有外螺纹11，连接杆2端部设有内螺纹(图中
未示出)，安装杆1与连接杆2通过螺纹连接。
[0026]本实施例中，通过将电极杆100采用分段形式，并且连接杆2两端分别与安装杆1和接触杆3进行可拆卸连接，通过旋转安装杆1即可改变接触杆3与石墨舟之间的接触角度，提高了电极杆100与石墨舟之间的匹配度。
[0027]如图2所示，本实施例中，接触杆3还包括调节座33、多个第一连接件34和多个第二连接件35，调节座33底部通过多个第一连接件34与连接杆2端部可拆卸连接。引电块31顶部呈圆弧形结构，引电块31底部设有安装槽，引电块31的安装槽侧部通过多个第二连接件35与调节座33上部连接。
[0028]进一步地，多个第一连接件34在连接杆2上的安装高度均相同，用于实现调节座33与连接杆2相互平行。或者，多个第一连接件34在连接杆2上的安装高度均不相同，用于实现调节座33倾斜安装在连接杆2上。
[0029]如图2所示，本实施例中，接触杆3还包括弹性调节件32，弹性调节件32设置在引电块31与调节座33之间，用于实现引电块31与石墨舟柔性接触。具体地，弹性调节件32设置在引电块31的安装槽与调本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电极杆，其特征在于，包括：安装杆(1)、连接杆(2)和接触杆(3)，所述连接杆(2)的两端分别与安装杆(1)和接触杆(3)可拆卸连接，所述安装杆(1)用于实现电极杆固定安装在管式PECVD反应室中，所述接触杆(3)包括引电块(31)，所述引电块(31)与管式PECVD反应室中的石墨舟接触，用于实现石墨舟引电；旋转安装杆(1)，用于调整引电块(31)与石墨舟的接触角度。2.根据权利要求1所述的电极杆，其特征在于，所述接触杆(3)还包括调节座(33)、多个第一连接件(34)和多个第二连接件(35)，所述调节座(33)底部通过多个第一连接件(34)与连接杆(2)端部可拆卸连接，所述引电块(31)侧部通过多个第二连接件(35)与调节座(33)上部连接。3.根据权利要求2所述的电极杆，其特征在于，多个所述第一连接件(34)在连接杆(2)上的安装高度均相同，用于实现调节座(33)与连接杆(2)相互平行；或者，多个所述第一连接件(34)在连接杆(2)上的安装高度均不相同，用于实现调节座(33)倾斜安装在连接杆(2)上。4.根据权利要求2所述的电极杆，其特征在于，所述接触杆(3)还包括弹性调节件(32)，所述弹性调节件(32)设置在引电块(31)与调节座(33)之间，用于实现引电块(31)与石墨舟柔性接触。5.根据权利要求4所述的电极杆，其特征在于，所述弹性调节件(32)为弹簧。6.根据权利要求2所述的电极杆，其特征在于，所述第一连接件(34)和第二连接件(3...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢卓敏，肖洁，周佑丞，张春成，李翠，
申请(专利权)人：湖南红太阳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：