本技术公开了一种用于立式镀膜设备的旋转进气装置，包括：载物组件、支撑组件、炉门组件、支撑板和传动组件；支撑组件的顶部与载物组件连接，支撑组件的底部与炉门组件连接，载物组件用于承载待镀膜的基材；炉门组件的底部与支撑板连接，传动组件固定在支撑板上，且传动组件的输出端依次穿过支撑板、炉门组件和支撑组件后与载物组件连接，以驱动载物组件旋转；炉门组件与立式镀膜设备的反应室密封连接，且炉门组件上设有进气部件，以实现立式镀膜设备内侧环形进气。本技术具有结构紧凑、原理简单、密封性高且进气均匀性高等优点，实现了待镀膜基材在立式镀膜设备内边旋转边进行镀膜工艺，显著提高了基材的镀膜质量。
【技术实现步骤摘要】
本技术属于立式镀膜设备，具体涉及一种用于立式镀膜设备的旋转进气装置。
技术介绍
1、目前，镀膜工艺设备要求较高的产能，随着产能的增大，反应室管径也随之增加。因此，常规的卧式镀膜设备温场和气场十字交叉现象更为明显，反应室顶部(12点钟方向)与底部(6点钟方向)的温场存在显著差别；工艺气体在受热膨胀后，会聚集在反应室顶部。虽然传统的环形进气法兰能够改善部分气场，但运行一段时间后，进气孔会被成膜物质堵塞，且不易清理。为了解决产能与温场之间的问题，立式镀膜设备应运而生，工艺气体从反应室底部进入，废气从顶部排出，但是如何提高立式镀膜设备的进气均匀性，仍是本领域内亟需解决的技术问题。
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构紧凑、原理简单、密封性高、进气均匀性高的用于立式镀膜设备的旋转进气装置。
2、为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
3、一种用于立式镀膜设备的旋转进气装置，包括：载物组件、支撑组件、炉门组件、支撑板和传动组件；所述支撑组件的顶部与载物组件连接，支撑组件的底部与炉门组件连接，所述载物组件用于承载待镀膜的基材；所述炉门组件的底部与支撑板连接，所述传动组件固定在支撑板上，且传动组件的输出端依次穿过支撑板、炉门组件和支撑组件后与载物组件连接，以驱动载物组件旋转；所述炉门组件与立式镀膜设备的反应室密封连接，且炉门组件上设有进气部件，以实现立式镀膜设备内侧环形进气。
4、作为本技术的进一步改进，所述载物组件包括载物板、旋转盘和多根第一支撑杆，所述第一支撑杆的顶部与载物板连接，第一支撑杆的底部与旋转盘连接，所述旋转盘与传动组件的输出端连接；在传动组件的驱动下，旋转盘转动，以实现载物板上承载的待镀膜基材旋转。
5、作为本技术的进一步改进，所述支撑组件包括轴承支撑盘和多根第二支撑杆；所述第二支撑杆的顶部与轴承支撑盘连接，第二支撑杆的底部穿过炉门组件与支撑板连接，所述轴承支撑盘内设轴承，轴承支撑盘与旋转盘通过轴承进行连接。
6、作为本技术的进一步改进，所述轴承支撑盘内设推力球轴承，所述旋转盘底部设有环形凹槽；当传动组件驱动旋转盘转动时，所述推力球轴承在环形凹槽滚动，以辅助载物板匀速转动。
7、作为本技术的进一步改进，所述炉门组件包括：炉门板、万向轴承部件、炉门支撑轴、密封部件和进气部件；所述炉门支撑轴的底部与支撑板连接，炉门支撑轴的顶部与万向轴承部件连接，所述万向轴承部件与炉门板连接，用于辅助炉门板盖合到立式镀膜设备的反应室上；所述炉门板上设有密封部件和进气部件，以实现炉门板与立式镀膜设备的反应室密封连接，及立式镀膜设备内侧环形进气。
8、作为本技术的进一步改进，所述密封部件包括主密封槽和副密封槽，所述副密封槽位于主密封槽内侧，主密封槽和副密封槽中均设有环形密封圈。
9、作为本技术的进一步改进，所述进气部件包括进气孔、进气通道和环形出气孔；所述进气孔对称设置在炉门板两侧，环形出气孔位于副密封槽内侧，进气孔与环形出气孔之间通过进气通道进行连接。
10、作为本技术的进一步改进，所述炉门板上设有第二连接孔和第一连接孔；所述第二连接孔位于炉门板中部，用于穿设传动组件的输出端；多个所述第一连接孔均布在炉门板，且第一连接孔位于环形出气孔与副密封槽之间，用于穿设第二支撑杆。
11、作为本技术的进一步改进，所述炉门组件还包括设置在第二支撑杆外侧的波纹管和设置在第二支撑杆底部的盲板；所述波纹管的顶部与炉门板密封连接，波纹管的底部与支撑板密封连接。
12、作为本技术的进一步改进，所述传动组件包括：传动轴、磁流体、减速机和驱动电机；所述减速机和驱动电机固定安装在支撑板底部，所述驱动电机的输出端与减速机连接，磁流体的底部与减速机的输出端密封连接，磁流体的顶部与支撑板密封连接，传动轴的底部穿过支撑板与磁流体密封连接，所述传动轴的顶部依次穿过炉门组件和支撑组件后与载物组件连接。
13、与现有技术相比，本技术的优点在于：
14、本技术的用于立式镀膜设备的旋转进气装置，通过支撑组件分别连接载物组件和炉门组件，利用载物组件承载待镀膜的基材，炉门组件的底部则与支撑板连接，传动组件固定在支撑板上，且传动组件的输出端依次穿过支撑板、炉门组件和支撑组件后与载物组件连接；与此同时，炉门组件与立式镀膜设备的反应室进行密封连接，且炉门组件上设有进气部件；当进行镀膜工艺时，位于反应室内的载物组件由位于反应室外的传动组件驱动旋转，实现了待镀膜的基材旋转；通过炉门组件上设置的进气部件，实现了立式镀膜设备内侧环形进气，基材在反应室内边旋转边进行镀膜工艺，显著提高了镀膜质量，并且工艺气体从反应室底部进入，废气从顶部排出，很好地解决了温场与气场交叉的问题，提高了立式镀膜设备的产能。
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【技术保护点】
1.一种用于立式镀膜设备的旋转进气装置，其特征在于，包括：载物组件(1)、支撑组件(2)、炉门组件(3)、支撑板(4)和传动组件(5)；所述支撑组件(2)的顶部与载物组件(1)连接，支撑组件(2)的底部与炉门组件(3)连接，所述载物组件(1)用于承载待镀膜的基材；所述炉门组件(3)的底部与支撑板(4)连接，所述传动组件(5)固定在支撑板(4)上，且传动组件(5)的输出端依次穿过支撑板(4)、炉门组件(3)和支撑组件(2)后与载物组件(1)连接，以驱动载物组件(1)旋转；所述炉门组件(3)与立式镀膜设备的反应室密封连接，且炉门组件(3)上设有进气部件，以实现立式镀膜设备内侧环形进气。
2.根据权利要求1所述的用于立式镀膜设备的旋转进气装置，其特征在于，所述载物组件(1)包括载物板(11)、旋转盘(13)和多根第一支撑杆(12)，所述第一支撑杆(12)的顶部与载物板(11)连接，第一支撑杆(12)的底部与旋转盘(13)连接，所述旋转盘(13)与传动组件(5)的输出端连接；在传动组件(5)的驱动下，旋转盘(13)转动，以实现载物板(11)上承载的待镀膜基材旋转。
>3.根据权利要求2所述的用于立式镀膜设备的旋转进气装置，其特征在于，所述支撑组件(2)包括轴承支撑盘(21)和多根第二支撑杆(22)；所述第二支撑杆(22)的顶部与轴承支撑盘(21)连接，第二支撑杆(22)的底部穿过炉门组件(3)与支撑板(4)连接，所述轴承支撑盘(21)内设轴承，轴承支撑盘(21)与旋转盘(13)通过轴承进行连接。4.根据权利要求3所述的用于立式镀膜设备的旋转进气装置，其特征在于，所述轴承支撑盘(21)内设推力球轴承，所述旋转盘(13)底部设有环形凹槽(131)；当传动组件(5)驱动旋转盘(13)转动时，所述推力球轴承在环形凹槽(131)滚动，以辅助载物板(11)匀速转动。
5.根据权利要求3所述的用于立式镀膜设备的旋转进气装置，其特征在于，所述炉门组件(3)包括：炉门板(31)、万向轴承部件(33)、炉门支撑轴(34)、密封部件和进气部件；所述炉门支撑轴(34)的底部与支撑板(4)连接，炉门支撑轴(34)的顶部与万向轴承部件(33)连接，所述万向轴承部件(33)与炉门板(31)连接，用于辅助炉门板(31)盖合到立式镀膜设备的反应室上；所述炉门板(31)上设有密封部件和进气部件，以实现炉门板(31)与立式镀膜设备的反应室密封连接，及立式镀膜设备内侧环形进气。
6.根据权利要求5所述的用于立式镀膜设备的旋转进气装置，其特征在于，所述密封部件包括主密封槽(36)和副密封槽(37)，所述副密封槽(37)位于主密封槽(36)内侧，主密封槽(36)和副密封槽(37)中均设有环形密封圈。
7.根据权利要求6所述的用于立式镀膜设备的旋转进气装置，其特征在于，所述进气部件包括进气孔(38)、进气通道(39)和环形出气孔(310)；所述进气孔(38)对称设置在炉门板(31)两侧，环形出气孔(310)位于副密封槽(37)内侧，进气孔(38)与环形出气孔(310)之间通过进气通道(39)进行连接。
8.根据权利要求5所述的用于立式镀膜设备的旋转进气装置，其特征在于，所述炉门板(31)上设有第二连接孔(312)和第一连接孔(311)；所述第二连接孔(312)位于炉门板(31)中部，用于穿设传动组件(5)的输出端；多个所述第一连接孔(311)均布在炉门板(31)，且第一连接孔(311)位于环形出气孔(310)与副密封槽(37)之间，用于穿设第二支撑杆(22)。
9.根据权利要求8所述的用于立式镀膜设备的旋转进气装置，其特征在于，所述炉门组件(3)还包括设置在第二支撑杆(22)外侧的波纹管(32)和设置在第二支撑杆(22)底部的盲板(35)；所述波纹管(32)的顶部与炉门板(31)密封连接，波纹管(32)的底部与支撑板(4)密封连接。
10.根据权利要求1至9中任意一项所述的用于立式镀膜设备的旋转进气装置，其特征在于，所述传动组件(5)包括：传动轴(51)、磁流体(52)、减速机(53)和驱动电机(55)；所述减速机(53)和驱动电机(55)固定安装在支撑板(4)底部，所述驱动电机(55)的输出端与减速机(53)连接，磁流体(52)的底部与减速机(53)的输出端密封连接，磁流体(52)的顶部与支撑板(4)密封连接，传动轴(51)的底部穿过支撑板(4)与磁流体(52)密封连接，所述传动轴(51)的顶部依次穿过炉门组件(3)和支撑组件(2)后与载物组件(1)连接。
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【技术特征摘要】
1.一种用于立式镀膜设备的旋转进气装置，其特征在于，包括：载物组件(1)、支撑组件(2)、炉门组件(3)、支撑板(4)和传动组件(5)；所述支撑组件(2)的顶部与载物组件(1)连接，支撑组件(2)的底部与炉门组件(3)连接，所述载物组件(1)用于承载待镀膜的基材；所述炉门组件(3)的底部与支撑板(4)连接，所述传动组件(5)固定在支撑板(4)上，且传动组件(5)的输出端依次穿过支撑板(4)、炉门组件(3)和支撑组件(2)后与载物组件(1)连接，以驱动载物组件(1)旋转；所述炉门组件(3)与立式镀膜设备的反应室密封连接，且炉门组件(3)上设有进气部件，以实现立式镀膜设备内侧环形进气。
2.根据权利要求1所述的用于立式镀膜设备的旋转进气装置，其特征在于，所述载物组件(1)包括载物板(11)、旋转盘(13)和多根第一支撑杆(12)，所述第一支撑杆(12)的顶部与载物板(11)连接，第一支撑杆(12)的底部与旋转盘(13)连接，所述旋转盘(13)与传动组件(5)的输出端连接；在传动组件(5)的驱动下，旋转盘(13)转动，以实现载物板(11)上承载的待镀膜基材旋转。
3.根据权利要求2所述的用于立式镀膜设备的旋转进气装置，其特征在于，所述支撑组件(2)包括轴承支撑盘(21)和多根第二支撑杆(22)；所述第二支撑杆(22)的顶部与轴承支撑盘(21)连接，第二支撑杆(22)的底部穿过炉门组件(3)与支撑板(4)连接，所述轴承支撑盘(21)内设轴承，轴承支撑盘(21)与旋转盘(13)通过轴承进行连接。
4.根据权利要求3所述的用于立式镀膜设备的旋转进气装置，其特征在于，所述轴承支撑盘(21)内设推力球轴承，所述旋转盘(13)底部设有环形凹槽(131)；当传动组件(5)驱动旋转盘(13)转动时，所述推力球轴承在环形凹槽(131)滚动，以辅助载物板(11)匀速转动。
5.根据权利要求3所述的用于立式镀膜设备的旋转进气装置，其特征在于，所述炉门组件(3)包括：炉门板(31)、万向轴承部件(33)、炉门支撑轴(34)、密封部件和进气部件；所述炉门支撑轴(34)的底部与支撑板(4)连接，炉门支撑轴(34)的顶部与万向轴承部件(33)连接，所述万向轴承部件(33)与炉门板(31)连接，用于...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴云，李明，李晔纯，梁浩，邱波，
申请(专利权)人：湖南红太阳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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