工艺腔室独立调度方法技术

本发明专利技术公开了工艺腔室独立调度方法，包括：将晶圆盒进行地图扫描，得到晶圆盒内存在的晶圆片数

【技术实现步骤摘要】
工艺腔室独立调度方法


[0001]本专利技术涉及晶圆传输
，具体涉及工艺腔室独立调度方法
。

技术介绍

[0002]现有晶圆调度逻辑都是在打开晶圆盒时做一次地图搜索匹配的操作，可以获知晶圆盒中有多少片晶圆，以及每一片晶圆传输路线和工艺；故当大气机械臂从晶圆盒取出晶圆后根据晶圆传输路线和工艺确定放入上层
LoadLock
或是下层
LoadLock
，然后真空机械臂从上层
LoadLock
或下层
LoadLock
拿取晶圆时，先读取晶圆上所携带的信息，判断传输至哪个工艺腔室，当进入对应工艺腔室读取晶圆信息才获知具体工艺，因此该工艺腔室对晶圆所携带的信息获知滞后，无法核实当前的晶圆是否为本次工艺要运行的晶圆，也不能提前准备对应工艺的相关执行条件，工作效率低下
。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于，提出一种工艺腔室独立调度方法，其工艺腔室能够提前获知当前晶圆执行的工艺，可以提前准备该工艺的相关执行条件，并且如果当前晶圆与对应的执行工艺不符，能立即进行退片操作，具有校验功能
。
[0004]为实现上述目的，本申请提出的工艺腔室独立调度方法，包括：
[0005]将晶圆盒进行地图扫描，得到晶圆盒内存在的晶圆片数
、
每个晶圆传输路线和工艺任务；
[0006]根据晶圆传输路线和工艺任务得到每个晶圆要进入的工艺腔室，然后将晶圆
ID
及工艺任务依次发送给相应工艺腔室的调度中；
[0007]通过工艺腔室的调度形成一任务池，基于该任务池获知工艺腔室的工艺任务；
[0008]每个工艺腔室根据工艺任务提前准备相应的执行条件；
[0009]将当前晶圆携带的工艺任务与工艺腔室任务池的当前工艺任务进行对比，如果相同，则允许当前晶圆进入工艺腔室；如果不同，则进行报警；
[0010]进入工艺腔室的多个晶圆执行完相同工艺任务后，从任务池中删除该项工艺任务，工艺腔室为下一项任务提前准备相应的执行条件
。
[0011]优选方式下，所述工艺腔室设有4个
station
，工艺任务为2×
2station
运转模式或4×
1station
运转模式
。
[0012]优选方式下，所述执行条件为起升结构能正常升降
、
升降旋转托运器能正常工作，如果起升结构或升降旋转托运器出现故障则直接进行报警；如果起升结构或升降旋转托运器均无故障，则工艺腔室进行预热，并在预热即将完成时，准备接收进入工艺腔室的晶圆，此时起升结构是落下状态，腔室压力是能够传片的
。
[0013]优选方式下，提前准备相应的执行条件同时，大气机械臂从晶圆盒中拿取晶圆送入
LoadLock
内，然后真空机械臂从
LoadLock
中拿取晶圆，准备送入对应的工艺腔室；在送入前将当前晶圆携带的工艺任务与工艺腔室任务池的当前工艺任务进行对比
。
[0014]优选方式下，如果当前晶圆携带的工艺任务与工艺腔室任务池的当前工艺任务相同，则真空机械臂通过工艺腔室的一个仓门或双个仓门结构进入，此时起升结构升起用于支撑晶圆，然后真空机械臂退出起升结构落下，使晶圆位于加热器上，关闭仓门
。
[0015]优选方式下，如果工艺任务为2×
2station
运转模式，则具体实现方式为：1号晶圆
、2
号晶圆坐落在加热器上后直接进行第一次沉积，第一次沉积完成后升降旋转托运器上升，托起晶圆顺时针旋转
180
°
后下降，1号晶圆
、2
号晶圆位于新的加热器上；真空机械臂将3号晶圆
、4
号晶圆送进工艺腔室内，坐落在原加热器上，此时1号晶圆
、2
号晶圆进行第二次沉积，3号晶圆
、4
号晶圆进行第一次沉积，沉积后升降旋转托运器上升，托起晶圆顺时针旋转
180
°
后下降，然后真空机械臂将1号晶圆
、2
号晶圆取出，放入5号晶圆
、6
号晶圆进行沉积，如此循环
。
[0016]优选方式下，如果工艺任务为4×
1station
运转模式，则具体实现方式为：1号晶圆
、2
号晶圆坐落在加热器上
,
升降旋转托运器上升，托起晶圆顺时针旋转
180
°
后下降，1号晶圆
、2
号晶圆位于新的加热器上；真空机械臂将3号晶圆
、4
号晶圆送进工艺腔室内，坐落在原加热器上，此时4个晶圆均进行第一次沉积，第一次沉积完成后真空机械臂将3号晶圆
、4
号晶圆取出，放入5号晶圆
、6
号晶圆后，升降旋转托运器上升托起晶圆顺时针旋转
180
°
后下降，真空机械臂将1号晶圆
、2
号晶圆取出，放入7号晶圆
、8
号晶圆，如此循环
。
[0017]优选方式下，所述起升结构包括：顶针部件和驱动部件；顶针部件位于反应腔内，驱动部件能够带动顶针部件升降；驱动部件包括：安装壳体
、
伺服电机
、
联轴器
、
螺母
、
丝杠及推杆组件；安装壳体为竖直的两端开口的中空腔体，安装壳体竖直固设在反应腔的下方；伺服电机竖直固设在安装壳体的下端，联轴器
、
丝杠及螺母均设在安装壳体内，伺服电机通过联轴器带动丝杠同步转动，丝杠竖直设置在安装壳体的轴线位置，丝杠与螺母螺旋传动；螺母与推杆组件连接，推杆组件从反应腔的下方穿入其内后与顶针部件相连，螺母带动推杆组件竖向移动，推杆组件带动顶针部件竖向移动
。
[0018]优选方式下，推杆组件包括：推杆座和推杆；推杆座为下端开口的中空腔体，推杆座的下端与螺母固定连接，丝杠伸入推杆座的腔体中，推杆座随螺母竖向移动；推杆与丝杠同轴设置，推杆的一端与推杆座的上端固定连接
、
另一端穿过反应腔后与顶针部件固定连接
。
[0019]优选方式下，驱动部件还包括导向组件；导向组件设置在推杆座与安装壳体的内壁之间，导向组件对推杆组件进行竖向的导向和径向的限位
。
[0020]优选方式下，导向组件包括：导轨和滑块；导轨固设在安装壳体的内壁上，导轨的长度方向沿竖直设置；滑块设置在导轨上并沿导轨滑动，滑块与推杆座固定连接
。
[0021]本专利技术采用的以上技术方案，与现有技术相比，具有的优点是：
[0022]1.
工艺腔室可以提前预知下一工艺任务，进而提前准备相应的执行条件，不需要等晶圆进入工艺腔室后再去准备执行条件，大大提高了工作效率，节省时间；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
工艺腔室独立调度方法，其特征在于，包括：将晶元盒进行地图扫描，得到晶元盒内存在的晶圆片数
、
每个晶圆传输路线和工艺任务；根据晶圆传输路线和工艺任务得到每个晶圆要进入的工艺腔室，然后将晶圆
ID
及工艺任务依次发送给相应工艺腔室的调度中；通过工艺腔室的调度形成一任务池，基于该任务池获知工艺腔室的工艺任务；每个工艺腔室根据工艺任务提前准备相应的执行条件；将当前晶圆携带的工艺任务与工艺腔室任务池的当前工艺任务进行对比，如果相同，则允许当前晶圆进入工艺腔室；如果不同，则进行报警；进入工艺腔室的多个晶圆执行完相同工艺任务后，从任务池中删除该项工艺任务，工艺腔室为下一项任务提前准备相应的执行条件
。2.
根据权利要求1所述工艺腔室独立调度方法，其特征在于，所述工艺腔室设有4个
station
，工艺任务为2×
2station
运转模式或4×
1station
运转模式
。3.
根据权利要求1所述工艺腔室独立调度方法，其特征在于，所述执行条件为起升结构能正常升降
、
升降旋转托运器能正常工作，如果起升结构或升降旋转托运器出现故障则直接进行报警；如果起升结构或升降旋转托运器均无故障，则工艺腔室进行预热，并在预热即将完成时，准备接收进入工艺腔室的晶圆，此时起升结构是落下状态，腔室压力是能够传片的
。4.
根据权利要求1或3所述工艺腔室独立调度方法，其特征在于，提前准备相应的执行条件同时，大气机械臂从晶圆盒中拿取晶圆送入
LoadLock
内，然后真空机械臂从
LoadLock
中拿取晶圆，准备送入对应的工艺腔室；在送入前将当前晶圆携带的工艺任务与工艺腔室任务池的当前工艺任务进行对比
。5.
根据权利要求4所述工艺腔室独立调度方法，其特征在于，如果当前晶圆携带的工艺任务与工艺腔室任务池的当前工艺任务相同，则真空机械臂通过工艺腔室的一个仓门或双个仓门结构进入，此时起升结构升起用于支撑晶圆，然后真空机械臂退出起升结构落下，使晶圆位于加热器上，关闭仓门
。6.
根据权利要求2所述工艺腔室独立调度方法，其特征在于，如果工艺任务为2×
2station
运转模式，则具体实现方式为：1号晶圆
、2
号晶圆坐落在加热器上后直接进行第一次沉积，第一次沉积完成后升降旋转托运器上升，托起晶圆顺时针旋转
180
°
后下降，1号晶圆
、2
号晶圆位于新的加热器上；真空机械臂将3号晶圆
、4
号晶圆送进工艺腔室内，坐落在原加热器上，此时1号晶圆
、2
号晶圆进行第二次沉积，3号晶圆
、4
...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙昊强，史常龙，徐家庆，唐丽娜，
申请(专利权)人：大连皓宇电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：