本发明提供一种霍尔维克拖曳泵，其包括用于输送气体介质的非铁磁螺旋开槽表面，所述表面由该霍尔维克拖曳泵的马达定子的面向转子轴的表面或转子轴的外表面提供，优选地由该霍尔维克拖曳泵的马达定子的面向转子轴的表面或转子轴的面向马达定子的外表面提供...

公开了一种入口组件、减排装置和方法。入口组件用于减排装置，减排装置用于处理来自半导体加工工具的排出流，入口组件包括：入口喷嘴，其被配置成将排出流输送到减排装置的燃烧室中；以及试剂喷嘴，其被配置成将试剂输送到减排装置的燃烧室中，试剂喷嘴相...

本发明涉及一种用于测量真空系统中的气体压力的真空计组件100。该组件包括压力传感器元件130、能够确定压力感测元件130的取向传感器160、以及被配置成使用从压力感测元件130和取向传感器160两者接收的数据来确定气体压力的微控制器15...

公开了入口喷嘴组件、消减设备和方法。所述入口喷嘴组件用于用来处理来自半导体加工工具的流出物流的消减设备，所述入口喷嘴组件包括：入口喷嘴，其被构造成将流出物流输送到消减室；头部，其限定用于接收入口喷嘴的孔口；以及绝缘安装件，其被构造成将入...

公开了一种用于减排设备的入口头部组件。该入口头部组件用于减排设备，该减排设备用于对来自半导体加工工具的流出流进行减排，该入口头部组件包括：入口头部；先导喷嘴，其在入口头部内延伸并被构造成向减排设备的下游减排室供应至少一个先导燃烧试剂流；...

本发明的各方面涉及一种用于识别真空泵(3)中的故障状况的泵监测系统(1)。该泵监测系统(1)包括控制器(23)和用于检测声波的麦克风(37)。该控制器(23)被配置成从麦克风(37)接收表示由真空泵(3)产生的声波的音频信号(SAUD‑...

公开了一种模块化消减设备和方法。该模块化消减设备用于消减来自半导体加工工具的流出物流，并且包括：壳体，其限定公共壳体腔室；多个燃烧腔室模块，其可定位在公共壳体腔室内，用于处置流出物流，每个燃烧腔室模块包含多孔套筒，多孔套筒在其内限定燃烧...

公开了一种入口组件、一种减排设备和一种方法。该入口组件用于减排设备，该减排设备用于处理来自半导体加工工具的排出流，并且该入口组件包括：燃烧室模块，所述燃烧室模块限定气室，所述气室被构造成将燃烧剂供应到其燃烧室，所述燃烧室模块具有安装件，...

公开了减排设备和方法。减排设备用于减排来自半导体加工工具的废气流，且包括：燃烧室，由有孔套筒和与有孔套筒流体地联接的润湿套筒形成，有孔套筒限定燃烧室的上游部分，用于处理废气流，燃烧室的上游部分具有用于接收废气流的入口，润湿套筒限定燃烧室...

公开了入口喷嘴组件、消减设备和方法。该入口喷嘴组件用于用来处理来自半导体加工工具的流出物流的消减设备，该入口喷嘴组件包括：输送喷嘴，其被构造成将流出物流输送到消减室中；以及安装件，其被构造成与限定消减室的外壳联接，该安装件还被构造成接收...

各方面和实施例提供湿式静电除尘器，包括辅助部件清洁装置，清洁装置包括：可移动地支撑在静电除尘器内的清洁组件；清洁组件包括刮擦器；刮擦器能配置成邻接静电除尘器的辅助部件，使得清洁组件在静电除尘器内的移动引起刮擦器相对于辅助部件的移动，并且...

一种螺杆式真空泵(100)包括：包括泵送室(126)的壳体(102)；具有正好两个第一螺旋突齿(300)的第一转子(104)；以及具有正好三个第二螺旋突齿(304)的第二转子(108)；其中，第一螺旋突齿(300)和第二螺旋突齿(304...

一种用于真空泵送系统的流体路由模块(112)，所述流体路由模块(112)包括：第一流体入口(110a)；第二流体入口(110b)；流体出口(114)；第一流体管线(200)，所述第一流体管线联接在所述第一流体入口(110a)与所述流体出...

一种系统，包括：半导体处理工具(102)，其包括处理腔室(108)；阀模块(104)，其被构造成从所述处理腔室(108)接收流体并且选择性地引导所述流体的流动；以及冷却设备(402)，其被构造成向所述处理腔室(108)供应冷却流体流；其...

用于真空泵送系统的阀模块(104)，包括：用于接收流体的多个入口(110)；多个压力传感器(122)，每个压力传感器配置为测量与相应的入口(110)相关联的流体压力；第一流体管线歧管(114)；第二流体管线歧管(116)；多个多分叉导管...

本申请涉及一种用于真空泵

用于真空泵

公开了一种减排设备和一种方法