用于真空泵的定子制造技术

本申请涉及一种用于真空泵

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于真空泵的定子


[0001]本专利技术涉及用于真空泵的定子及其各部分
。

技术介绍

[0002]真空泵用在各种技术工艺中以将气体泵送出工艺腔室，由此为相应的工艺创造低压条件
。
[0003]已知将真空泵竖直地定向
。
与将真空泵水平地定向相比，这样做往往减少了真空泵的占地面积
。

技术实现思路

[0004]本专利技术人已意识到，液体和颗粒物质
、
例如灰尘可存在于由真空泵泵送的流体
(
例如气体
)
中
。
对于一些工艺而言，这种液体和
/
或颗粒物质可能是易燃的
、
腐蚀性的或在其他方面有危险的
。
而且，这种液体和
/
或颗粒物质可能会例如通过妨碍泵转子的旋转来妨碍泵的正确操作
。
因而，不期望的是这种液体和颗粒物质在泵内积聚
。
[0005]因此，提供了一种自排放或被动式排放的真空泵定子
。
有利地，聚集在泵定子内的液体和其他碎片往往从泵定子排放，而不需要集液槽或主动式液体去除器件来收集和去除液体
。
[0006]在一个方面，提供了一种用于真空泵的定子的至少一部分，所述至少一部分包括：第一壁；一个或多个侧壁，其从所述第一壁向上延伸，其中，所述第一壁和所述一个或多个侧壁限定内部空腔；以及出口通道，其形成为穿过所述一个或多个侧壁中的侧壁，该出口通道在所述一个或多个侧壁中的所述侧壁的内表面处具有开口，该出口通道用于允许流体从所述内部空腔流到定子的所述至少一部分的外部
。
第一壁的内表面与出口通道的开口毗连
。
换句话说，出口通道的所述开口与第一壁的内表面的水平面齐平或在第一壁的内表面的水平面下方
。
因此，定子的所述至少一部分内的液体携带着任何颗粒物质将往往由于重力而经由所述出口通道流出定子
。
[0007]第一壁的内表面的最低点可与出口通道的开口毗连
。
出口通道可从出口通道的开口沿着具有向下定向的分量的方向延伸
。
第一壁的内表面可朝向开口倾斜或者是基本上平坦的
。
换句话说，第一壁的内表面可沿开口的方向向下倾斜
。
[0008]第一壁可包括一个或多个通孔，所述一个或多个通孔中的每一个通孔用于接收相应的转子轴
。
[0009]第一壁可包括与内表面相对的外表面，第一壁的外表面包括一个或多个凹部
。
第一壁的外表面中的所述一个或多个凹部可包括一个或多个选自由以下各者组成的凹部集合的凹部：用于接收
O
形环的环形的凹槽和被配置成接收隔热间隔件的凹部
(
其可为基本上圆柱形
)。
[0010]在另一方面，提供了一种用于真空泵的定子，该定子包括：第一定子部分，该第一定子部分是根据任一前述方面所述的定子的一部分；以及第二定子部分
。
第二定子部分包
括：第二壁以及从第二壁向下延伸的一个或多个另外的侧壁
。
第一定子部分的所述一个或多个侧壁附接到第二定子部分的所述一个或多个另外的侧壁，使得所述第一壁
、
所述一个或多个侧壁
、
所述第二壁和所述一个或多个另外的侧壁限定内部腔室
。
定子进一步包括形成为穿过所述一个或多个侧壁或所述一个或多个另外的侧壁中的侧壁的入口通道，该入口通道用于允许流体从定子的外部流入内部腔室中
。
[0011]第二壁可包括一个或多个通孔，所述一个或多个通孔中的每一个通孔用于接收相应的转子轴
。
[0012]第二壁可包括外表面，第二壁的外表面包括一个或多个凹部
。
第二壁的外表面中的所述一个或多个凹部可包括一个或多个选自由以下各者组成的凹部集合的凹部：用于接收
O
形环的环形的凹槽以及被配置成接收隔热间隔件的凹部
(
其可为基本上圆柱形
)。
[0013]定子可进一步包括设置在第一壁或第二壁内的压力释放阀
。
定子可进一步包括形成在第一壁或第二壁内的通道
。
该通道可包括位于通道的第一端处的第一开口和位于通道的第二端处的第二开口
。
通道的第一开口或第二开口中的至少一个开口可形成在第一壁或第二壁的内表面中
。
压力释放阀可设置在通道内
。
[0014]在另一方面，提供了一种真空泵，其包括：根据任一前述方面所述的定子；一个或多个转子轴，其在第一壁和第二壁之间延伸穿过定子的内部腔室；以及一个或多个转子，每个转子安装在转子轴中的相应一个转子轴上
。
[0015]所述一个或多个转子可限定内部腔室的吸气侧和内部腔室的排气侧
。
定子可进一步包括形成在第一壁或第二壁内的通道
。
该通道可包括位于通道的第一端处的第一开口和位于通道的第二端处的第二开口
。
通道的第一开口可在内部腔室的排气侧处形成在第一壁或第二壁的内表面中
。
通道的第二开口可在内部腔室的吸气侧处形成在第一壁或第二壁的内表面中
。
真空泵可进一步包括设置在通道内的压力释放阀
。
[0016]第一壁可包括外表面，第一壁的外表面包括形成在其中的一个或多个凹部
。
真空泵可进一步包括：第一
O
形环和
/
或第一隔热间隔件，其设置在形成于第一壁的外表面中的所述一个或多个凹部内；以及用于支撑所述一个或多个转子轴的第一顶板，该第一顶板设置成面向第一壁的外表面并且抵靠第一
O
形环和
/
或第一隔热间隔件，使得第一顶板与第一壁的外表面间隔开
。
[0017]第二壁可包括外表面，第二壁的外表面包括形成在其中的一个或多个凹部
。
真空泵可进一步包括：第二
O
形环和
/
或第二隔热间隔件，其设置在形成于第二壁的外表面中的所述一个或多个凹部内；以及用于支撑所述一个或多个转子轴的第二顶板，该第二顶板设置成面向第二壁的外表面并且抵靠第二
O
形环和
/
或第二隔热间隔件，使得第二顶板与第二壁的外表面间隔开
。
附图说明
[0018]图1是真空泵的侧视图截面的示意性示图
(
未按比例
)
；
[0019]图2是真空泵的前视图截面的示意性示图
(
未按比例
)
；
[0020]图3是示出真空泵的定子的透视图的示意性示图
(
未按比例
)
；
[0021]图4是示出定子的透视截面图的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种用于真空泵的定子的至少一部分，所述至少一部分包括：第一壁；一个或多个侧壁，其从所述第一壁向上延伸，其中，所述第一壁和所述一个或多个侧壁限定内部空腔；以及出口通道，其形成为穿过所述一个或多个侧壁中的侧壁，所述出口通道在所述一个或多个侧壁中的所述侧壁的内表面处具有开口，所述出口通道用于允许流体从所述内部空腔流到所述定子的所述至少一部分的外部；其中，所述第一壁的内表面与所述出口通道的所述开口毗连
。2.
根据权利要求1所述的用于真空泵的定子的至少一部分，其中，所述第一壁的所述内表面的最低点与所述出口通道的所述开口毗连
。3.
根据权利要求1或2所述的用于真空泵的定子的至少一部分，其中，所述出口通道从所述出口通道的所述开口沿着具有向下定向的分量的方向延伸
。4.
根据权利要求1至3中任一项所述的用于真空泵的定子的至少一部分，其中，所述第一壁的所述内表面朝向所述开口倾斜或者是基本上平坦的
。5.
根据权利要求1至4中任一项所述的用于真空泵的定子的至少一部分，其中，所述第一壁包括一个或多个通孔，所述一个或多个通孔中的每一个通孔用于接收相应的转子轴
。6.
根据权利要求1至5中任一项所述的用于真空泵的定子的至少一部分，其中，所述第一壁包括与所述内表面相对的外表面，所述第一壁的所述外表面包括一个或多个凹部
。7.
根据权利要求6所述的用于真空泵的定子的至少一部分，其中，所述第一壁的所述外表面中的所述一个或多个凹部包括一个或多个选自由以下各者组成的凹部集合的凹部：用于接收
O
形环的环形的凹槽和被配置成接收隔热间隔件的凹部
。8.
一种用于真空泵的定子，所述定子包括：第一定子部分，所述第一定子部分是根据权利要求1至7中任一项所述的定子的一部分；以及第二定子部分，其包括：第二壁；和一个或多个另外的侧壁，其从所述第二壁向下延伸；其中，所述第一定子部分的所述一个或多个侧壁附接到所述第二定子部分的所述一个或多个另外的侧壁，使得所述第一壁
、
所述一个或多个侧壁
、
所述第二壁和所述一个或多个另外的侧壁限定内部腔室；并且所述定子进一步包括形成为穿过所述一个或多个侧壁或所述一个或多个另外的侧壁中的侧壁的入口通道，所述入口通道用于允许流体从所述定子的外部流入所述内部腔室中
。9.
根据权利要求8所述的定子，其中，所述第二壁包括一个或多个通孔，所述一个或多个通孔中的每一个通孔用于接收相应的转子轴
。10.
根据权利要求8或9所述的定子，其中，所述第二壁包括外表面，所述第二壁的所述外表面包括一个或多个凹部
。11.
根据权利要求
10
所述的定子，其中，所述第二壁的所述外表面中的所述一个或多个凹部包括一个或多个选自由以下各者组成的凹部集合的凹部：用于接收
O
形环的环形的凹

【专利技术属性】
技术研发人员：M，
申请(专利权)人：埃地沃兹有限公司，
类型：发明
国别省市：