【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及一种真空计组件。本公开还涉及一种包括该组件的真空计和一种校正该组件中的气体压力输出值的方法。
技术介绍
1、真空计通常用于测量真空系统中的压力。压力测量结果可被用来检查系统是否具有用于其预期目的的足够低压的真空。如果测量结果指示出系统中的真空压力不够低，则这就可被用于指示和检测系统中的泄漏或缺陷和/或提供反馈以帮助控制抽空系统的真空泵。
2、真空计通常使用压力感测元件，其可以检测真空计中气体的热或电特性的变化，并将此与气体的压力相关联。
3、用于该目的一种类型的真空计是热导式真空计。
4、热导式真空计利用气体的热导率来测量压力，并且也可以称为热损失真空计。通常，这些真空计利用了气体的热导率与其压力之间的关系以得到压力测量结果。
5、一种这样的热导式真空计是皮拉尼真空计。
6、在皮拉尼真空计中，压力感测元件是加热器元件(通常是灯丝或导线)形式的，其被放置成与真空系统中的工作气体接触，并且被连接到可以使用电能对其进行加热的电路上。当气体分子与加热器元件碰撞时，它们将从其传...
【技术保护点】
1.一种用于测量真空系统中的气体压力的真空计组件，所述组件包括：
2.根据权利要求1所述的真空计组件，其中，所述微控制器被配置成使用从所述取向传感器接收的数据来确定要应用在从所述压力感测元件接收的数据上的校正，并且将所述校正应用在从所述压力感测元件接收的数据上以确定所述气体压力。
3.根据权利要求2所述的真空计组件，其中，所述微控制器被配置成对从所述压力感测元件上接收的数据进行归一化，并以校正因子的形式将校正应用在归一化数据上。
4.根据权利要求3所述的真空计组件，其中，所述微控制器包括存储器和与所述存储器电通信的处理器，其中，所述...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于测量真空系统中的气体压力的真空计组件，所述组件包括：
2.根据权利要求1所述的真空计组件，其中，所述微控制器被配置成使用从所述取向传感器接收的数据来确定要应用在从所述压力感测元件接收的数据上的校正，并且将所述校正应用在从所述压力感测元件接收的数据上以确定所述气体压力。
3.根据权利要求2所述的真空计组件，其中，所述微控制器被配置成对从所述压力感测元件上接收的数据进行归一化，并以校正因子的形式将校正应用在归一化数据上。
4.根据权利要求3所述的真空计组件，其中，所述微控制器包括存储器和与所述存储器电通信的处理器，其中，所述存储器存储参考数据和校正因子的查找表，并且指示所述处理器在向从所述压力感测元件接收的数据应用传递函数和校正因子之前对所述数据进行归一化。
5.根据权利要求2、3或4所述的真空计组件，其中，所述取向传感器被配置成确定所述压力感测元件是处于第一取向还是第二取向中的一个取向，并且所述微控制器根据所述第二取向存储校正因子，并且被配置成根据所述第一取向还是所述第二取向是由所述取向传感器确定的来选择性地应用校正因子。
6.根据权利要求5所述的真空计组件，其中，所述第一取向对应于所述压力感测元件的垂直取向，并且所述第二取向对应于所述压力感测元件的水平取向，或者反之亦然。
7.根据权利要求5或6所述的真空计组件，其中，所述校正因子...
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