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本发明涉及一种用于测量真空系统中的气体压力的真空计组件100。该组件包括压力传感器元件130、能够确定压力感测元件130的取向传感器160、以及被配置成使用从压力感测元件130和取向传感器160两者接收的数据来确定气体压力的微控制器155。...
该专利属于埃地沃兹有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃地沃兹有限公司授权不得商用。

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