【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术的领域涉及一种用于减排设备的入口头部组件。
技术介绍
1、减排设备是已知的，并且通常用于处理来自例如半导体或平板显示器制造行业中使用的制造加工工具的流出气体流。在这种制造期间，从加工工具泵出的流出气体流中存在残留的全氟化合物(pfc)和其他化合物。pfc很难从流出气体中去除，并且不希望将它们释放到环境中，因为已知它们具有相对高的温室活动。
2、已知的减排设备使用燃烧来从流出气体流中去除pfc和其他化合物。通常，流出气体流是含有pfc和其他化合物的氮气流。燃料气体与流出气体流混合，并且使用入口组件将该气体流混合物输送到减排室中以在其中进行减排。
3、尽管存在用于处理流出气体流的技术，但它们各自具有其自身的缺点。因此，希望提供一种用于处理流出气体流的改进技术。
技术实现思路
1、根据第一方面，提供了一种用于减排设备的入口头部组件，该减排设备用于对来自半导体加工工具的流出流(effluent stream)进行减排，该入口头部组件包括：入口头部；轴向取向的先导喷嘴，其在入口头部内延伸并被构造成向减排设备的下游减排室供应至少一个先导燃烧试剂流；以及多个入口喷嘴，每个入口喷嘴在所述入口头部内延伸、相对于所述先导喷嘴的轴向取向以介于5°和60°之间、优选地介于5°和45°之间且更优选地5°和20°之间的角度成角度，并且被构造成在所述减排室内供应相关联的流出流以进行减排，所述多个入口喷嘴围绕先导喷嘴定位。
2、第一方面认识到，现有布置的问题是：为达到
3、所述多个入口喷嘴可各自被构造成在减排室内供应不同的相关联的流出流以进行减排。因此，入口喷嘴可向减排室供应不同的、潜在地化学上不相容的流出流。这有助于确保那些不相容的流出流在减排室的外部保持分离，从而最小化在减排室上游的任何不受欢迎的且潜在地危险的化学反应。
4、所述多个入口喷嘴可各自被构造成将流出流与至少内燃烧试剂流一起供应以提供内氧化焰，并且包括外环形喷嘴，该外环形喷嘴被构造成供应外燃烧试剂流以提供同轴焰来稳定内氧化焰。因此，入口喷嘴可产生利用同轴扩散焰来稳定的内氧化焰。通常，这些扩散焰较冷，其中燃料气体的核心扩散到富含氧化剂的周围环境中，这些焰具有容易锚定到表面上的益处。将那些入口喷嘴中的每个围绕先导聚拢有助于在流出流之间共享热量并减少热量损失，这使得能够以较少的量供应外燃烧试剂以提供同轴焰，同时仍保持所需的dre。
5、所述多个入口喷嘴可定位成至少部分地包围先导喷嘴。
6、所述多个入口喷嘴可定位成周向地围绕先导喷嘴。
7、所述多个入口喷嘴可围绕先导喷嘴周向地等距间隔。
8、所述多个入口喷嘴可围绕先导喷嘴定位在节距圆上。
9、所述多个入口喷嘴和先导喷嘴可定位成彼此邻接，以流量稳定性和燃烧试剂供应距离中的至少一者间隔开。因此，喷嘴可定位成彼此相邻或接近，其之间具有微小的间隙或间距。
10、先导喷嘴可被构造成起始所述至少一个先导燃烧试剂流的燃烧，所述多个入口喷嘴被构造成供应至少一个燃烧试剂流与流出流并定位成从所述至少一个先导燃烧试剂流传播由每个入口喷嘴供应的燃烧试剂流的燃烧。换句话说，由入口喷嘴中的每个供应的流出流可各自从由先导喷嘴提供的点燃流直接点燃。
11、先导喷嘴可包括：内喷嘴，其被构造成供应第一燃烧试剂流；以及外喷嘴，其被构造成将第二燃烧试剂流作为环形帘幕供应，该环形帘幕至少部分地包围第一燃烧试剂流。因此，先导喷嘴可具有内流和同轴的环形外流。
12、入口头部组件可包括进一步的燃烧试剂喷嘴，该进一步的燃烧试剂喷嘴在入口头部内延伸并被构造成向减排设备的下游减排室供应至少一个进一步的燃烧试剂流。因此，可提供供应进一步的燃烧试剂的至少一个进一步的或附加的燃烧试剂喷嘴。
13、根据第二方面，提供了一种用于减排设备的入口头部组件，该减排设备用于对来自半导体加工工具的流出流进行减排，所述入口头部组件包括：入口头部；先导喷嘴，其在所述入口头部内延伸并被构造成向所述减排设备的下游减排室供应至少一个先导燃烧试剂流；以及
14、多个入口喷嘴，每个入口喷嘴在所述入口头部内延伸并被构造成在所述减排室内供应相关联的流出流以进行减排，所述多个入口喷嘴围绕所述先导喷嘴定位；所述入口头部组件包括进一步的燃烧试剂喷嘴，该进一步的燃烧试剂喷嘴在所述入口头部内延伸并被构造成向所述减排设备的下游减排室供应至少一个进一步的燃烧试剂流，其中，所述多个入口喷嘴和所述进一步的燃烧试剂喷嘴中的至少一者取向成相对于所述先导喷嘴成角度，并且优选地其中，所述多个入口喷嘴和所述进一步的燃烧试剂喷嘴中的至少一者取向成供应相对于所述先导燃烧试剂流成角度的所述流出流和所述进一步的燃烧试剂流中的至少一者。
15、除非另有陈述，否则对下文所描述的燃烧试剂喷嘴的提及指代本专利技术的第一方面和第二方面两者。
16、燃烧试剂喷嘴可被构造成供应所述至少一个进一步的燃烧试剂流以至少部分地包围由所述多个入口喷嘴向减排室供应的那些多个流出流。因此，可围绕所述多个流出流提供进一步的燃烧试剂。这有助于保持流出流在减排室内的温度以改进dre，同时减少热量损失并减少燃烧试剂用量。
17、进一步的燃烧试剂喷嘴可被构造成将所述至少一个进一步的燃烧试剂流作为环形帘幕供应，该环形帘幕至少部分地包围由所述多个入口喷嘴向减排室供应的那些多个流出流。
18、进一步的燃烧试剂喷嘴可定位成从由每个入口喷嘴供应的燃烧试剂流传播所述至少一个进一步的燃烧试剂流的燃烧。换句话说，进一步的燃烧试剂可通过由入口喷嘴提供的流出流而直接点燃，流出流可进而从由先导喷嘴提供的燃烧试剂流直接点燃。
19、进一步的燃烧试剂喷嘴可包括：第一燃烧试剂喷嘴，其被构造成供应第一燃烧试剂流；以及第二燃烧试剂喷嘴，其被构造成供应第二燃烧试剂流。
20、第一燃烧试剂喷嘴可包括第一环形喷嘴，该第一环形喷嘴被构造成将第一燃烧试剂流作为第一环形帘幕供本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于减排设备的入口头部组件，所述减排设备用于对来自半导体加工工具的流出流进行减排，所述入口头部组件包括：
2.根据权利要求1所述的入口头部组件，其中，所述多个入口喷嘴符合以下中的至少一者：
3.根据权利要求1或2所述的入口头部组件，其中，所述多个入口喷嘴和所述先导喷嘴定位成彼此邻接，以流量稳定性和燃烧试剂供应距离中的至少一者间隔开。
4.根据任一前述权利要求所述的入口头部组件，其中，所述先导喷嘴被构造成起始所述至少一个先导燃烧试剂流的燃烧，并且所述多个入口喷嘴被构造成供应至少一个燃烧试剂流与所述流出流并定位成从所述至少一个先导燃烧试剂流传播由每个入口喷嘴供应的所述燃烧试剂流的燃烧。
5.根据任一前述权利要求所述的入口头部组件，其中，所述先导喷嘴包括：内喷嘴，所述内喷嘴被构造成供应第一燃烧试剂流；以及外喷嘴，所述外喷嘴被构造成将第二燃烧试剂流作为环形帘幕供应，所述环形帘幕至少部分地包围所述第一燃烧试剂流。
6.根据任一前述权利要求所述的入口头部组件，所述入口头部组件包括进一步的燃烧试剂喷嘴，所述进一步的燃烧试剂喷嘴
7.一种用于减排设备的入口头部组件，所述减排设备用于对来自半导体加工工具的流出流进行减排，所述入口头部组件包括：
8.根据权利要求6或7所述的入口头部组件，其中，所述进一步的燃烧试剂喷嘴符合以下中的至少一者：
9.根据权利要求6至8中任一项所述的入口头部组件，其中，所述进一步的燃烧试剂喷嘴定位成从由每个入口喷嘴供应的所述燃烧试剂流传播所述至少一个进一步的燃烧试剂流的燃烧。
10.根据权利要求6至9中任一项所述的入口头部组件，其中，所述进一步的燃烧试剂喷嘴包括以下中的至少一者：
11.根据权利要求6至10中任一项所述的入口头部组件，其中，所述进一步的燃烧试剂喷嘴至少部分地包围所述多个入口喷嘴，和/或其中，所述进一步的燃烧试剂喷嘴与所述先导喷嘴同心地定位；和/或其中，所述第一燃烧试剂流包括燃料，并且所述第二燃烧试剂流包括氧化剂。
12.根据权利要求6至11中任一项所述的入口头部组件，其中，所述多个入口喷嘴和所述进一步的燃烧试剂喷嘴中的至少一者取向成与所述先导喷嘴平行，并且优选地其中，所述多个入口喷嘴和所述进一步的燃烧试剂喷嘴中的至少一者取向成供应与所述先导燃烧试剂流平行的所述流出流和所述进一步的燃烧试剂流中的至少一者。
13.根据权利要求6至12中任一项所述的入口头部组件，其中，所述多个入口喷嘴和所述进一步的燃烧试剂喷嘴中的至少一者取向成相对于沿轴向方向取向的所述先导喷嘴成角度，并且优选地其中，所述多个入口喷嘴和所述进一步的燃烧试剂喷嘴中的至少一者取向成供应相对于所述先导燃烧试剂流的所述轴向方向成角度的所述流出流和所述进一步的燃烧试剂流中的至少一者。
14.根据权利要求6至13中任一项所述的入口头部组件，其中，所述多个入口喷嘴和所述进一步的燃烧试剂喷嘴中的至少一者朝向所述先导喷嘴取向，并且优选地其中，所述多个入口喷嘴和所述进一步的燃烧试剂喷嘴中的至少一者取向成供应所述流出流和所述进一步的燃烧试剂流中的至少一者以与所述先导燃烧试剂流会聚。
15.根据权利要求6至14中任一项所述的入口头部组件，其中，所述多个入口喷嘴和所述进一步的燃烧试剂喷嘴中的至少一者远离所述先导喷嘴取向，并且优选地其中，所述多个入口喷嘴和所述进一步的燃烧试剂喷嘴中的至少一者取向成供应所述流出流和所述进一步的燃烧试剂流中的至少一者以从所述先导燃烧试剂流发散。
16.根据权利要求6至15中任一项所述的入口头部组件，其中，
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于减排设备的入口头部组件，所述减排设备用于对来自半导体加工工具的流出流进行减排，所述入口头部组件包括：
2.根据权利要求1所述的入口头部组件，其中，所述多个入口喷嘴符合以下中的至少一者：
3.根据权利要求1或2所述的入口头部组件，其中，所述多个入口喷嘴和所述先导喷嘴定位成彼此邻接，以流量稳定性和燃烧试剂供应距离中的至少一者间隔开。
4.根据任一前述权利要求所述的入口头部组件，其中，所述先导喷嘴被构造成起始所述至少一个先导燃烧试剂流的燃烧，并且所述多个入口喷嘴被构造成供应至少一个燃烧试剂流与所述流出流并定位成从所述至少一个先导燃烧试剂流传播由每个入口喷嘴供应的所述燃烧试剂流的燃烧。
5.根据任一前述权利要求所述的入口头部组件，其中，所述先导喷嘴包括：内喷嘴，所述内喷嘴被构造成供应第一燃烧试剂流；以及外喷嘴，所述外喷嘴被构造成将第二燃烧试剂流作为环形帘幕供应，所述环形帘幕至少部分地包围所述第一燃烧试剂流。
6.根据任一前述权利要求所述的入口头部组件，所述入口头部组件包括进一步的燃烧试剂喷嘴，所述进一步的燃烧试剂喷嘴在所述入口头部内延伸并被构造成向所述减排设备的下游减排室供应至少一个进一步的燃烧试剂流。
7.一种用于减排设备的入口头部组件，所述减排设备用于对来自半导体加工工具的流出流进行减排，所述入口头部组件包括：
8.根据权利要求6或7所述的入口头部组件，其中，所述进一步的燃烧试剂喷嘴符合以下中的至少一者：
9.根据权利要求6至8中任一项所述的入口头部组件，其中，所述进一步的燃烧试剂喷嘴定位成从由每个入口喷嘴供应的所述燃烧试剂流传播所述至少一个进一步的燃烧试剂流的燃烧。
10.根据权利要求6至9中任一项所述的入口头部组件，其中，所述进一步的燃烧试剂喷嘴包括以下中的至少一者...
【专利技术属性】
技术研发人员：G·H·琼斯，N·A·马多克，G·D·斯坦顿，A·R·B·拉迪亚，
申请(专利权)人：埃地沃兹有限公司，
类型：发明
国别省市：
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