温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

公开了一种用于减排设备的入口头部组件。该入口头部组件用于减排设备，该减排设备用于对来自半导体加工工具的流出流进行减排，该入口头部组件包括：入口头部；先导喷嘴，其在入口头部内延伸并被构造成向减排设备的下游减排室供应至少一个先导燃烧试剂流；以及...
该专利属于埃地沃兹有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃地沃兹有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。