用于真空泵的定子制造技术

用于真空泵

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于真空泵的定子


[0001]本专利技术涉及用于真空泵的定子及其部件
。

技术介绍

[0002]真空泵用于各种技术工艺中以将气体泵出处理腔室，从而为相应的工艺产生低压条件
。

技术实现思路

[0003]本专利技术人已经认识到，在使用中，真空泵的泵送腔室内的压差可能达到或超过可能损坏真空泵的部件的水平
。
例如，泵送腔室的吸入侧和排出侧之间的转子两侧的压差可能高到足以损坏泵的转子
、
轴和
/
或轴承
。
因此，需要一种包括用于泵送腔室的减压阀的减压系统
。
本专利技术人已经认识到，将减压阀定位在泵的相对较冷的部分
(
例如，头板
)
中会让减压遭受被来自所泵送的流体的冷凝物污染或损害的风险
。
本专利技术人已经认识到，通过将减压阀定位在泵的相对较热的部分
(
例如，定子的壁
)
中，可以减少冷凝物的量
。
[0004]在一个方面，提供了用于真空泵的定子的至少一部分，定子的至少一部分具有包括减压阀的整体或集成的减压系统
。
[0005]在一个方面，提供了用于真空泵的定子的至少一部分，其包括：多个壁，所述多个壁在其间限定泵送腔室的至少一部分；通道，所述通道形成在所述多个壁中的一个或多个壁内，所述通道包括在所述通道的第一端处的第一开口和在所述通道的第二端处的第二开口，所述第一开口是在所述一个或多个壁的内表面中的开口并且与所述泵送腔室流体连通；以及减压阀，所述减压阀设置在所述通道内
。
[0006]第一开口可以位于泵送腔室的排出侧处
。
[0007]第二开口可以是一个或多个壁的内表面中的开口并且与泵送腔室流体连通
。
第二开口可以位于泵送腔室的吸入侧处
。
[0008]减压阀可位于壳体中，该壳体能够经由定子的至少一部分的外表面中的孔口从定子的至少一部分移除
。
[0009]多个壁可包括端壁以及从端壁延伸的一个或多个侧壁
。
端壁和一个或多个侧壁可以限定内腔
。
通道可以形成在端壁中
。
第一开口可以形成在端壁的内表面中
。
第二开口可以形成在端壁的内表面中
。
端壁和一个或多个侧壁可以是整体的物品
。
端壁可包括一个或多个通孔，一个或多个通孔中的每个用于接收相应的转子轴
。
用于真空泵的定子的至少一部分还可包括入口通道，该入口通道穿过一个或多个侧壁中的侧壁形成，用于允许流体从定子的至少一部分的外部流入内腔中
。
端壁可以包括外表面，端壁的外表面包括一个或多个凹部
。
所述一个或多个凹部可以选自包括如下的凹部的组：用于接收
O
形环的环形凹槽以及被构造成接收热绝缘间隔件的凹部
。
定子的至少一部分还可以包括：设置在所述一个或多个凹部中的
O
形环和
/
或一个或多个热绝缘间隔件；以及用于支撑一个或多个转子轴的头板，该头板被设置成面向端壁的外表面并且抵靠
O
形环和
/
或一个或多个热绝缘隔离件，使
得头板与端壁的外表面间隔开
。
[0010]在另一方面，提供了一种真空泵，其包括：定子，所述定子包括根据任一前述方面的定子的至少一部分；一个或多个转子轴，所述一个或多个转子轴延伸穿过所述定子的泵送腔室；以及一个或多个转子，每个转子被安装在所述转子轴中的相应一个上
。
附图说明
[0011]图1是真空泵的侧视截面的示意图
(
未按比例绘制
)
；
[0012]图2是真空泵的正视截面的示意图
(
未按比例绘制
)
；
[0013]图3是示出真空泵的定子的透视图的示意图
(
未按比例绘制
)
；
[0014]图4是示出定子的透视截面图的示意图
(
未按比例绘制
)
；
[0015]图5是定子的第一部分的透视图的示意图
(
未按比例绘制
)
；
[0016]图6是定子的第二部分的透视图的示意图
(
未按比例绘制
)
；以及
[0017]图7是定子的第二部分的透视图的示意图
(
未按比例绘制
)。
具体实施方式
[0018]应当理解，在本文使用的诸如上方和下方
、
水平和竖直
、
顶部和底部
、
前部和后部等的相对术语仅仅是为了便于参考附图，并且这些术语不是这样限制性的，并且可以实现任何两个不同的方向或位置等，而不是真正的上方和下方
、
水平和竖直
、
顶部和底部等
。
[0019]图1是真空泵
100
的实施例的侧视截面的示意图
(
未按比例绘制
)。
[0020]图2是真空泵
100
的正视截面的示意图
(
未按比例绘制
)。
[0021]真空泵
100
是竖直定向的罗茨型真空泵
。
[0022]真空泵
100
包括定子
102、
被安装到第一转子轴
106
的第一转子
104、
被安装到第二转子轴
110
的第二转子
108、
第一头板
112
和第二头板
114。
[0023]定子
102
包括两个部分，即第一定子部分
116
和第二定子部分
118。
图3和图4提供了定子
102
的另外的视图
。
图3是示出定子
102
的透视图的示意图
(
未按比例绘制
)。
图4是示出定子
102
的透视截面图的示意图
(
未按比例绘制
)。
[0024]第一定子部分
116
和第二定子部分
118
可以被认为是桶定子，其被附接在一起以形成定子
102。
[0025]第一定子部分
116
包括第一壁
120
和从第一壁
120
延伸的一个或多个第一侧壁
122。
第一壁
120
可被认为是定子
102
的底壁或第一端壁
。
一个或多个第一侧壁
122...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
用于真空泵的定子的至少一部分，包括：多个壁，所述多个壁在其间限定泵送腔室的至少一部分；通道，所述通道形成在所述多个壁中的一个或多个壁内，所述通道包括在所述通道的第一端处的第一开口和在所述通道的第二端处的第二开口，所述第一开口是在所述一个或多个壁的内表面中的开口，所述第一开口与所述泵送腔室流体连通；以及减压阀，所述减压阀设置在所述通道内
。2.
根据权利要求1所述的用于真空泵的定子的至少一部分，其中，所述第一开口位于所述泵送腔室的排出侧处
。3.
根据权利要求1或2所述的用于真空泵的定子的至少一部分，其中，所述第二开口是在所述一个或多个壁的内表面中的开口并且与所述泵送腔室流体连通
。4.
根据权利要求3所述的用于真空泵的定子的至少一部分，其中，所述第二开口位于所述泵送腔室的吸入侧处
。5.
根据权利要求1至4中任一项所述的用于真空泵的定子的至少一部分，其中，所述减压阀位于壳体中，其能够经由所述定子的至少一部分的外表面中的孔口从所述定子的至少一部分移除
。6.
根据权利要求1至5中任一项所述的用于真空泵的定子的至少一部分，其中：所述多个壁包括：端壁；和从所述端壁延伸的一个或多个侧壁，其中，所述端壁和所述一个或多个侧壁限定内腔
。7.
根据权利要求6所述的用于真空泵的定子的至少一部分，其中，所述通道形成在所述端壁中
。8.
根据权利要求6或7所述的用于真空泵的定子的至少一部分，其中，所述第一开口形成在所述端壁的内表面中和
/
或所述第二开口形成在所述端壁的内表面中
。9.
根据权利要求6至8中任一项所述的用于真空泵的定子的至少一部分，其中，所述端壁和所述一个或多个侧壁是整体的物品
。10.
根据权利要求6至9中任一项所述的用于真空泵的...

【专利技术属性】
技术研发人员：M，
申请(专利权)人：埃地沃兹有限公司，
类型：发明
国别省市：