具有立体振膜结构的微机电麦克风晶片及其制造方法技术

技术编号:7901852 阅读:239 留言:0更新日期:2012-10-23 14:04
本发明专利技术是有关于一种具有立体振膜结构的微机电麦克风晶片及其制造方法,该具有立体振膜结构的微机电麦克风晶片,其包括有一基底具有一腔室,一振膜设置腔室上,且振膜具有纵向落差的阶级,一背板设置振膜上方,并与振膜之间形成一空间,且背板具有多个音孔连通于此空间。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种具有立体振膜结构的微机电麦克风晶片,其特征在于其包括:一基底,具有一腔室;一振膜,设置该腔室上,该振膜具有纵向落差的阶级;以及一背板,邻近于该振膜,并与其保持一距离,且该背板具有多个音孔。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈弘仁邱冠勋许明莉廖显根
申请(专利权)人:美律实业股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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