背板具有特定形状的通孔的传声器制造技术

一种MEMS传声器，具有：1)背板，背板有背板内表面和多个通孔；以及2)与背板间隔开的膜片。膜片与背板可移动地耦合以构成可变电容器。至少两个通孔(在背板内表面上)的内部立体形状具有多个凸部和多个凹部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术主要涉及MEMS (微机电系统)传声器，并且本专利技术更具体地涉及改善MEMS传声器的信噪比。
技术介绍
为了检测音频信号，MEMS传声器通常具有支撑柔性膜片且与柔性膜片构成电容器的静态背板。音频信号促使膜片振动，由此产生变化的电容。电路接收这种变化的电容并将其转化为能够进行进ー步处理的电信号。为了感测输入的音频信号，膜片应该能够以基本不受阻碍的方式振动。如果背板是实心的，那么背板和膜片之间的空气就会明显地抑制振动。因此，MEMS传声器通常具有延伸穿过背板的多个基本为圆形的孔。在膜片和背板之间的空间内的空气因此能够经这些通孔逸出，由此对输入音频信号提供合理的灵敏度。圆通孔与具有相同面积的其他形状相比通常提供了出色的空气阻カ性质，它们常形成最小的空气阻力。但是，它们的几何形状不合需要地限制了它们穿过背板的总数。
技术实现思路
根据本专利技术的一个实施例，ー种MEMS传声器具有1)背板,背板有背板内表面和多个通孔；以及2)与背板间隔开的膜片。膜片被可移动地与背板耦合以构成可变电容器。至少两个通孔(在背板内表面上)的内部立体形状具有多个凸部和多个凹部。内部立体形状可以采用多种不同的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2009.11.16 US 61/261,4421.一种MEMS传声器,包括 背板，具有背板内表面；以及 与所述背板间隔开的膜片，所述膜片与所述背板可移动地耦合以构成可变电容器， 所述背板具有多个通孔，其中至少两个通孔在所述背板内表面上具有内部立体形状，所述内部立体形状具有多个凸部和多个凹部。2.如权利要求I所述的传声器，其中所述内部立体形状基本为十字形。3.如权利要求I所述的传声器，其中所述内部立体形状具有轴心和从所述轴心伸出的多个凸耳。4.如权利要求3所述的传声器，其中所述多个凸耳中的至少一个凸耳具有基本为直的部分。5.如权利要求I所述的传声器，其中所述内部立体形状基本对称。6.如权利要求I所述的传声器，其中所述内部立体形状基本不对称。7.如权利要求I所述的传声器，其中所述多个通孔包括基本为圆形的通孔。8.如权利要求I所述的传声器，其中所述内部立体形状包括至少三个凹部。9.如权利要求I所述的MEMS传声器，其中所述背板具有确定背板面积的外周边，所述至少两个通孔具有大于或等于所述背板面积的约60%的总面积。10.一种MEMS传声器，包括 背板，具有背板内表面；以及 与所述背板间隔开的膜片，所述膜片与所述背板可移动地耦合以构成可变电容器， 所述背板具有多个通孔，其中至少两个通孔在所述背板内表面上具有内部立体形状，所述内部立体形状具有轴心和从所述轴心伸出的多个凸耳。11.如权利要求10所述的ME...

【专利技术属性】
技术研发人员：张欣，
申请(专利权)人：美国亚德诺半导体公司，
类型：发明
国别省市：