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一种MEMS传声器，具有：1)背板，背板有背板内表面和多个通孔；以及2)与背板间隔开的膜片。膜片与背板可移动地耦合以构成可变电容器。至少两个通孔(在背板内表面上)的内部立体形状具有多个凸部和多个凹部。...
该专利属于美国亚德诺半导体公司所有，仅供学习研究参考，未经过美国亚德诺半导体公司授权不得商用。

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