【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种硅材料无盲点化学清洗机构,其特征在于,包括至少一对静横梁和动横梁、至少一对可交替接触硅材料的静支架和动支架以及位于动横梁两侧的驱动装置,所述的静支架、动支架分别固定于静横梁、动横梁上,所述的静支架、动支架上均设有数个用于支撑硅材料的V型槽,所述的驱动装置与动横梁传动连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:倪党生,王亦天,
申请(专利权)人:上海思恩电子技术有限公司,
类型:实用新型
国别省市:31[中国|上海]
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