本实用新型专利技术涉及一种喷雾器，包括：储存有待雾化的液体的储液腔体，内部设置有储液腔体加热管；通过输液组件与储液腔体连通的雾化腔体，具有底壁，输液组件包括吸液管和调节杆，调节杆固定于底壁，其顶部具有中空的混合区域，待雾化的液体通过吸液管进入混合区域；底壁具有气体通道，气体通过气体通道进入混合区域；在混合区域中，待雾化的液体在气体的作用下发生雾化后进入雾化腔体。本实用新型专利技术还涉及一种基片处理系统，包括至少一个上述的喷雾器。本实用新型专利技术中的气体通过气体通道进入调节杆顶部的混合区域，产生局部真空，迫使待雾化的液体顺利地通过吸液管进入混合区域中，使得液体和气体进行剧烈碰撞形成雾状液体，提高喷雾器的雾化量。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及基片，更具体地涉及一种喷雾器及其基片处理系统。
技术介绍
对于基片，例如半导体硅片，太阳能电池片及平板显示器，通常通过湿处理技术进行清洗，即将基片浸入化学液槽体内进行。现有技术中已知可以通过雾化液体来对基片进行处理，但是雾化量往往比较低，如此导致效率低下。
技术实现思路
为了解决上述现有技术存在的雾化量低的问题，本技术旨在提供一种喷雾器及其基片处理系统。本技术所述的喷雾器，包括:储存有待雾化的液体的储液腔体，所述储液腔体的内部设置有储液腔体加热管；通过输液组件与所述储液腔体连通的雾化腔体，所述雾化腔体具有底壁，所述输液组件包括吸液管和调节杆，所述调节杆固定于所述底壁，所述调节杆的顶部具有中空的混合区域，所述待雾化的液体通过所述吸液管进入所述混合区域；所述底壁具有气体通道，气体通过所述气体通道进入所述混合区域；在所述混合区域中，所述待雾化的液体在所述气体的作用下发生雾化后进入所述雾化腔体。所述输液组件还包括有支撑件，所述调节杆通过所述支撑件固定于所述底壁。所述底壁具有底壁通孔，所述调节杆穿过所述底壁通孔延伸。所述底壁通孔为台阶孔，所述支撑件容置于所述台阶孔中固定。所述底壁具有回流孔，未雾化的液体通过所述回流孔从所述雾化腔体流回所述储液腔体。所述调节杆具有调节杆通孔，所述吸液管的顶端容置于所述调节杆通孔中。所述喷雾器还包括有通过连接管与所述雾化腔体连通的延伸腔体，所述延伸腔体的内部设置有延伸腔体加热管。 所述储液腔体的侧壁上设置有低液位传感器和高液位传感器。本技术所述的基片处理系统，包括至少一个上述的喷雾器。该基片处理系统包括通过阀门连通的密闭处理槽和所述喷雾器，至少一块基片容纳于所述密闭处理槽中。本技术通过设置于储液腔体内部的储液腔体加热管加热待雾化的液体，使得液体分子的碰撞更为激烈，同时降低液体的粘度，便于后续的雾化，同时，气体从外部的储气器通过气体通道进入调节杆顶部的混合区域，产生局部真空，迫使待雾化的液体顺利地通过吸液管进入混合区域中，使得液体和气体进行剧烈碰撞形成雾状液体，从而进一步提高本喷雾器的雾化量。本技术提供的基片处理系统通过喷雾器的不同的气体和液体的选择对基片进行不同的处理，具有极大的灵活性能。【附图说明】图1是根据本技术的一个优选实施例的喷雾器的爆炸图；图2是根据本技术的一个优选实施例的喷雾器的剖视图；图3是图2的区域A的放大图；以及图4是根据本技术的一个优选实施例的基片处理系统的示意图。【具体实施方式】下面结合附图，给出本技术的较佳实施例，并予以详细描述。如图1所示，根据本技术的一个优选实施例的喷雾器10包括储液腔体1、输液组件2、雾化腔体3、连接管4和延伸腔体5。储液腔体I内储存有待雾化的液体11，该待雾化的液体11从外部的储液器通过液体入口接头Ila(例如锥形螺纹接头)进入储液腔体I内部。储液腔体I的内部设置有储液腔体加热管12，该储液腔体加热管12示出为由热氮气进行热传导，氮气通过氮气入口121进入储液腔体加热管12，然后通过氮气出口 122流出，从而通过热氮气将热量传递给待雾化的液体11，使得液体分子的碰撞更为激烈，同时降低液体的粘度，便于后续的雾化，从而提高本喷雾器的雾化量。储液腔体I的侧壁上设置有低液位传感器13和高液位传感器14，当待雾化的液体11的液面低于低液位传感器13时，系统控制从外部的储液器通过液体入口接头Ila向储液腔体I内部补充液体，当待雾化的液体11的液面达到高液位传感器14时，系统控制停止从外部的储液器向储液腔体I内部补充液体的动作。雾化腔体3的底部外壁示出为通过螺纹固定于储液腔体I的顶部内壁，从而将雾化腔体3固定于储液腔体I的上方。输液组件2将储液腔体I和雾化腔体3连通起来。其中，该输液组件2包括吸液管21、调节杆22和支撑件23，该输液组件2固定于雾化腔体3。如图2和图3所示，雾化腔体3具有底壁31，底壁31具有底壁通孔312，调节杆22穿过底壁通孔312延伸，从而通过支撑件23固定于底壁31。其中，该底壁通孔312为台阶孔，支撑件23容置于台阶孔的下段(直径较大的孔段)中固定。在本实施例中，底壁31的台阶孔的直径较大的孔段中具有内螺纹，而支撑件23具有外螺纹，从而通过螺纹配合使得支撑件23固定于底壁31，同时，调节杆22也通过螺纹配合固定于支撑件23，借此，调节杆22固定于雾化腔体3。调节杆22具有调节杆通孔221，吸液管21的顶端容置于调节杆通孔221中，例如该吸液管21的顶端通过螺纹配合固定于调节杆22的调节杆通孔221，实现吸液管21和调节杆22的相对固定。吸液管21的底端浸没在储液腔体I中的液体中，例如吸液管21的底端邻近于储液腔体I的底壁设置。调节杆22的顶部具有中空的混合区域22a，待雾化的液体11通过吸液管21进入该混合区域22a中。另外，底壁31还具有气体通道311，气体32通过气体通道311进入混合区域22a中，从而在该混合区域22a中，待雾化的液体11在气体32的作用下发生雾化后进入雾化腔体3。在本实施例中，该气体32例如为氮气，其从外部的储气器通过气体入口接头32a(例如锥形螺纹接头)进入气体通道311，从而进入雾化腔体3内部。该气体32在进入的过程中，在混合区域22a中产生局部真空，迫使待雾化的液体11顺利地通过吸液管21进入该混合区域22a中，使得液体11和气体32进行剧烈碰撞形当前第1页1 2 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种喷雾器，其特征在于，所述喷雾器包括：储存有待雾化的液体的储液腔体，所述储液腔体的内部设置有储液腔体加热管；通过输液组件与所述储液腔体连通的雾化腔体，所述雾化腔体具有底壁，所述输液组件包括吸液管和调节杆，所述调节杆固定于所述底壁，所述调节杆的顶部具有中空的混合区域，所述待雾化的液体通过所述吸液管进入所述混合区域；所述底壁具有气体通道，气体通过所述气体通道进入所述混合区域；在所述混合区域中，所述待雾化的液体在所述气体的作用下发生雾化后进入所述雾化腔体。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：倪党生，孙义荣，毛明兴，张仪晨，
申请(专利权)人：上海思恩电子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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